Реакційна камера для нанесення дифузійних покриттів

Реакційна камера для нанесення дифузійних покриттів, що містить корпус та кришку, які виготовлені з жаростійкої сталі, між якими розташоване вакуумне ущільнення, при цьому до кришки камери прикріплена з можливістю перегортання ємність, в яку завантажують насичуючу суміш, всередині камери розміщена вставка для розташування виробів, що підлягають обробці, яка розташована в стакані з графітовим дном, яка відрізняється тим, що вакуумне ущільнення виготовлено з силастику. (19) (21) u200712422 (22) 08.11.2007 (24) 25.02.2008 (72) ЛОСКУТОВА ТЕТЯНА ВОЛОДИМИРІВНА, UA, БОБІНА МАРИНА МИКОЛАЇВНА, UA, ХИЖНЯК ВІКТОР ГАВРИЛОВИЧ, UA, ПОГРЕБОВА ІННА СЕРГІЇВНА, UA, БОБІН АНДРІЙ БОРИСОВИЧ, UA, ДЕГУЛА АНДРІЙ ІВАНОВИЧ, UA, ЗГУРСЬКИЙ ТАРАС МИХАЙЛОВИЧ, UA (73) НАЦІОНАЛЬНИЙ ТЕХНІЧНИЙ УНІВЕРСИТЕТ УКРАЇНИ "КИЇВСЬКИЙ ПОЛІТЕХНІЧНИЙ ІНСТИТУТ", UA 3 В основу корисної моделі поставлено задачу удосконалити реакційну камеру, шляхом заміни матеріалу, з якого виготовлене вакуумне ущільнення, що дає можливість підвищити строк експлуатації та знизити вимоги щодо його використання. Поставлена задача досягається тим, що в реакційній камері для нанесення дифузійних покриттів, що містить корпус та кришку, які виготовлені з жаростійкої сталі, між якими розташоване вакуумне ущільнення, при цьому до кришки камери прикріплена з можливістю перегортання ємність, в яку завантажують насичуючу суміш, в середині камери розміщена вставка, для розташування виробів, що підлягають обробці, яка розташована в стакані з графітовим дном, новим є те, що вакуумне ущільнення виготовлено з силастику. Цей матеріал має високу еластичність до +200°С и досить широко використовується у сучасній техніці в якості прокладок для герметизації. Суть корисної моделі пояснюється кресленням, де зображено реакційну камеру. Реакційна камера містить корпус 1 та кришку 2, якою камера закрита, які виготовлені з жаростійкої сталі 12Х18Н9Т. В камері між корпусом і кришкою розміщено вакуумне ущільнення 3, яке виготовлено з силастику. До корпусу приварена втулка 4 для охолодження вакуумного ущільнення до якої підключен кран (5) який перекриває проточну воду для охолодження верхньої частини камери (втулки). До кришки за допомогою шарнірного кріплення 6 та магнітного замку 7 пристосовується ємність 8 з завантаженим металізатором. Вироби 9, що підлягають обробці, розміщені на вставці 10, яка, в свою чергу, розташована в стакані 11, який виготовлено з інертного жаростійкого матеріалу та дна 12, виготовленого з графіту та вільно вставленого в трубу. Процес насичення в реакційній камері нової конструкції здійснюється наступним чином: знежирені вироби 9 на спеціальній вставці 10 розміщують в стакані 11, який виготовлено з інертного жаростійкого матеріалу, з графітовим дном 12 і завантажують в реакційну камеру. В камері між корпусом і кришкою розміщено вакуумне ущільнення, яке виготовлено з силастику. В ємність 8, яка укріплена до кришки камери 2, завантажують металізатор. Камеру з вмістом вакуумують до тису 10-1мм.рт.ст., відкривають кран який перекриває проточну воду для охолодження верхньої частини камери, нагрівають до температур насичення, ще раз вакуумують до тису 10-1мм.рт.ст. Після цього вводять металізатор, для чого відмикають магнітний замок 7 та перегортають вміст ємкісні 8 в стакан. Далі вводять чотирихлористий вуглець та здійснюють витримку. Після закінчення процесу нанесення покриттів виріб разом з камерою охолоджують до кімнатної температури. Кількість можливих використань вакуумного ущільнення без втрати еластичності та збереженні вакууму в залежності від температури в верхній частині реакційної камери наведені в таблиці 1. 30450 4 Приклади в таблиці 1 - 1-8 відносяться до прототипу, 9-17 з використанням в якості вакуумного ущільнення силастику. Порівняльні випробування ущільнень, зроблених з ваку Температура № п/п. ведення процесу, С 1 9 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 1100 1100 1100 1100 1100 1100 1100 1100 1100 1100 1100 1100 1100 1100 1100 1100 1100 Тиск в реакційній камері на початку проведення процесу, Па 10-1 10-1 10 10. 10 10 10 10 10-1 10-1 10-1 10-1 10-1 10-1 10-1 10-1 10-1 Тиск в реакційній камері під час проведення процесу, Па 104-105 104-105 104-105 103-104 102-103 10-102 10 10 104-10э 104-105 104-105 104-105 104-105 104-105 104-105 104-105 104-105 Таким чином заміна матеріалу з якого виготовлено вакуумне ущільнення дає можливість підвищити строк експлуатації та знизити вимоги щодо його використання. Запропонована камера для нанесення покриттів на основі будь-яких перехідних металів не складна з технологічної точки зору, вибухобезпечна, не вимагає висококваліфікованого обслуговуючого персоналу, екологічно чиста. Тем верх ре ка 5 30450 6