Жужа Микола Яковлевич

Номер патенту: 14393

Опубліковано: 25.04.1997

Автори: Жужа Микола Яковлевич, Гордієнко Григорій Федорович, КОШЕЛЕВСЬКИЙ Віктор Фадейович, РЯЗАНЦЕВ Сергій Миколайович

МПК: C23C 14/50, C23C 14/24

Мітки: пристрій, нанесення, вакуумі, покриттів, двостороннього

Формула / Реферат:

Устройство для двустороннего нанесения по­крытий в вакууме, содержащее подложкодержатель, в котором на опорах вращения установлены секции для размещения подложек, позицию пово­рота секций с механизмом поворота, отличающе­еся тем, что, с целью повышения производитель­ности, оно снабжено тягой с шарнирами, располо­женными на секциях со смещением относительно опор вращения, упорами, расположенными натяге с возможностью поочередного...