Пристрій для двостороннього нанесення покриттів у вакуумі

Изобретение относится к нанесению покрытий в вакууме и может быть использовано з линиях вакуумного на* пыления непрерывного и полунепрерывного действия. Цель изобретения повышение производительности нанесения двусторонних покрытий,, Устройство содержит ролики 1 для транспортирования подложкодержателя 2. В подложкодержатєле 2 на опорах вращения 3 , ^ , 5 > 6 , 7 и 8 установлены секции Э, 10, 11, оснащенные элементами 12 для креппения подложек 13. Секции 9, 10, 11 соединены межлу собой тягой 1* с шарнирами 15» ^6 и 17, упорами 18 и 19 и поводком 20, который взаимодействует с вилкой 21 механизма.поворота 22. Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме и может быть использовано в линиях вакуумного напылзния непрерывного и полунепрерывного действия. Цель изобретения ~ повышение производительности „ На фмг. 1 изображено предлагаемое устройство, обший аид; иа Фиг. 2 то же, вид сверху; на фиг. З ~ разрез по А-А. Устройство содержит ролики 1 для транспортирования подложкодержэтеля 2, В подложкодержателе 2 на опорах вращения З и * * , 5 и 6 , 7 и 8 установлены секции 9, 10 и 11, оснащенные элементами 12 для крепления подложек 13. Секции 9 г Ю и 11 соединены между собой тягой їк с шарнирами 15» 16 и 17„ упорами 18 и 19 и поводком 20, который взаимодействует с вилкой 21 механизма поворота 22. Тяга 14 укреплена на секциях 9, 10 и 11 посредством шарниров 15» 16 и 17 таким образом, ито в одном конечном положении из опору 5 опирается упор 18, а в другом - упор 19. В устройстве предусмотрены позиции загрузки - выгрузки, напыления, поворота и другие СО (не показаны), Устройство работ;зет следующим образом. Перед напылением подложкодержатель 2 устанавливают на ролики 1 в позиции загрузки. При этом упор 18 прижат к опоре 5 под действием массы секций 9, 10 и 11. Раскрывают элементы крепления 12 и устанавливают подложки 13 s секции 9, Ю и 11. Фиксируют подложки 13 элементами 12 и перемещают подлойкодержатель 2 по роликам 1 в зону напыления. После нанесения покрытия с одной стороны подложек 13» подложкодержзтель 2 перемещают по роликам I на позицию поворота к механизму поворота 22. При этом по Ф о р м у л а и з о б р е т е н и я водок 20 входит в паз вилки 21 механизма поворота 22. Вилка 21 повораУстройство для двустороннего нанечивается на 180'', воздействуя на посения покрытий в вакууме, содержащее водок 20. Тяга Й с шарнирами 15, 16 подложкодержатель, в котором на опои 17 передает вращение на секции 9, рах вращения установлены секции для 10 и 11, установленные на опорах враразмещения подложек, позицию поворощения 3 и 'і, 5 и 6, 7 и 8. Секции 9, та секций с механизмом поворота, Ю и 11 одновременно поворачиваются о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с 10 на 180°, при этом упор 19 опирается целью повышения производительности, на опору В. Подложкодержатель 2 снооно снабжено тягой с шарнирами, распо" ва перемещается а зону напыления, где ложечными на секциях со смещением осуществляется напыление на вторую относительно- опор вращения, упорами, сторону подложек.'Таким образом можрасположенными на тяге с возможностью но наносить чередующиеся многослойные J5 поочередного контактирования с одной покрытия с двух сторон подложки. из опор вращения и поводком, а мехаПрименение устройства а линии низм поворота снабжен вилкой, устадвусторонней металлизации изделий новленной с возможностью контактироваэлектронной техники типа пластинчания с поводком на позиции поворота 20 секций. тых конденсаторов позволит повысить производительность труда в 1,5*2 раза. шшшшяшж, TzzzzzzzMZZzzm .2 1695706 Редактор А.Хмелинина Составитель И.Фишер Техред М.Дидык Корректор Я.Латай Заказ ^207/ДСП Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, М-35, Раушская иэб., д . Производственно-издательский комбинат "Патент", г.Ужгород, ул.Гагарина, 10t