Зьома Олександр Володимирович

Номер патенту: 66847

Опубліковано: 25.01.2012

Автори: Кляхіна Наталія Панасівна, Зьома Олександр Володимирович, Дзюба В'ячеслав Леонідович

МПК: C23C 16/34

Мітки: одержання, нітридної, спосіб, плівки

Формула / Реферат:

Спосіб одержання нітридної плівки TiN, який полягає у розпиленні мішені, формуванні модифікованого покриття в результаті іонної імплантації у ґратку полікристалічної підкладки іонізованих атомів титанової мішені і реактивного газу азоту, який відрізняється тим, що як полікристалічну підкладку застосовують підкладку з конструкційної сталі 30X13, на яку перед імплантацією подають негативний потенціал, вмикають напругу на анод і катод, де...