Панель засклення, вузол з панелей засклення та багатошарова панель засклення

1. Панель засклення, придатна для проведення термічної обробки, такої як термічне загартування або згинання, яка містить принаймні одне багатошарове покриття, нанесене на лист скла, яке характеризується тим, що в послідовності, починаючи з листа скла, багатошарове покриття містить принаймні: a) перший діелектричний, що містить принаймні один шар, який складається зі змішаного оксиду цинку та олова, що містить принаймні 12 мас. % олова b) перший шар на основі срібла, що здатний відбивати інфрачервоні промені, d) другий діелектричний шар, е) другий шар на основі срібла, що здатний відбивати інфрачервоні промені, g) третій діелектричний шар, що містить принаймні один шар, який складається зі змішаного оксиду цинку та олова, що містить принаймні 12 мас. % олова, h) верхній захисний шар на основі нітриду або оксинітриду Ті, Zr, Hf, V, Nb, Та, Сr, їх сплавів, або на основі нітриду або оксинітриду сплаву одного або кількох цих металів з Аl і/або В. 2. Панель засклення за п. 1, яка відрізняється тим, що перший діелектричний шар, що містить принаймні один шар, який складається зі змішаного оксиду цинку та олова, містить, більш прийнятно, принаймні 20 мас. % олова, та третій діелектричний шар, що містить принаймні один шар, який складається зі змішаного оксиду цинку та олова, 2 (19) 1 3 94700 4 талу або сполуки металу і покритий другою тонкою 20-45 нм ZnSnOx/9-11 нм Ag/перший бар'єрний плівкою сполуки металу, відмінного від першої шар/70-85 нм ZnSnOx/13-15 нм Ag/другий бар'єртонкої плівки, причому ці дві плівки розташовані ний шар/20-40 нм ZnSnOx/2-6 нм TiN. 19. Панель засклення за п. 17, яка відрізняється між шаром, що здатний відбивати інфрачервоні промені, і діелектричним шаром, що розташований тим, що багатошарове покриття по суті має таку далі в послідовності. структуру, починаючи зі скла: 29-37 нм змішаного 11. Панель засклення за п. 10, яка відрізняється оксиду цинку та олова з більше ніж 40 мас. % Sn і тим, що всі бар'єрні шари містять першу тонку плібільше ніж 30 мас. % Zn/5-13 нм змішаного оксиду вку металу або сполуки металу та покриті другою цинку та олова з більше ніж 80 мас. % Zn і більше тонкою плівкою із сполуки металу, відмінного від ніж 2 мас. % Sn/9-11 нм Ag/0,5-2 нм NiCr/2-6 нм першої тонкої плівки, причому ці дві плівки розтаТіО2/65-80 нм змішаного оксиду цинку та олова з шовані між шаром, що здатний відбивати інфрачебільше ніж 40 мас. % Sn і більше ніж 30 мас. % рвоні промені, і діелектричним шаром, що розтаZn/8-15 нм змішаного оксиду цинку та олова з бішований далі в послідовності. льше ніж 80 мас. % Zn і більше ніж 2 мас. % Sn/1312. Панель засклення за будь-яким з пп. 10 або 11, 15 нм Ag/0,5-2 нм NiCr/2-6 нм ТіО2/5-13 нм змішаяка відрізняється тим, що бар'єрний шар або ного оксиду цинку та олова з більше ніж 80 мас. % принаймні один з бар'єрних шарів сформований Zn і більше ніж 2 мас. % Sn/15-30 нм змішаного першою тонкою плівкою NiCr або субоксиду NiCr, оксиду цинку та олова з більше ніж 40 мас. % Sn і розташованою безпосередньо на сріблі, і що він більше ніж 30 мас. % Zn/2-6 нм TiN. покритий другою тонкою плівкою з ТіО2, розташо20. Загартована та/або вигнута панель засклення, ваною на тонкій плівці з NiCr або субоксиду NiCr і яка містить принаймні одне багатошарове покритпід діелектричним шаром, що розташований далі в тя, нанесене на лист скла перед термічним загарпослідовності. туванням і/або обробкою згинанням, яке характе13. Панель засклення за будь-яким з попередніх ризується тим, що в послідовності, починаючи з пунктів, яка відрізняється тим, що багатошарове листа скла, багатошарове покриття містить припокриття є таким, що при нанесенні його на прозонаймні: рий лист натрієво-вапняного флоат-скла завтовшa) перший діелектричний шар, що містить принайки 4 мм, засклення має пропускання світла LT на мні один шар, який складається зі змішаного оксиду цинку та олова, що містить принаймні 12 мас. % основі джерела світла D65/2 принаймні 65 %, і олова, більш прийнятно принаймні 68 %, зовнішнє відбитb) перший шар на основі срібла, що здатний відтя світла LR на основі того ж самого джерела світбивати інфрачервоні промені, ла менше 12 %, більш прийнятно, менше або на c) перший бар'єрний шар, рівні 9 %, і сонячний фактор SF, який оцінюють на d) другий діелектричний шар, стороні скла згідно зі стандартом ISO 9050 (2003), e) другий шар на основі срібла, що здатний відбименший або на рівні 46 %, більш прийнятно, менвати інфрачервоні промені, ший або на рівні 45 %. f) другий бар'єрний шар, 14. Панель засклення за будь-яким з попередніх g) третій діелектричний шар, який містить принайпунктів, яка відрізняється тим, що багатошарове мні один шар, що складається зі змішаного оксиду покриття є таким, що при нанесенні його на прозоцинку та олова, що містить принаймні 12 мас. % рий лист натрієво-вапняного флоат-скла завтовшолова, ки 4 мм, він має відтінок, який розглядають у відh) верхній захисний шар, що містить або базується битому світлі на стороні скла на основі джерела на оксиді Ті, Zr, Hf, V, Nb, Та або Сr, або суміші цих світла D65/10, представлений значенням L* у оксидів, діапазоні між 28 і 37, значенням а* у діапазоні між і в якому принаймні один з бар'єрних шарів містить 2 і +4 і значенням b* у діапазоні між -21 і -3. першу тонку плівку металу або сполуки металу, і 15. Панель засклення за будь-яким з попередніх покритий другою тонкою плівкою сполуки металу, пунктів, яка відрізняється тим, що багатошарове відмінного від першої тонкої плівки, причому ці дві покриття є таким, що при нанесенні його на прозоплівки розташовані між шаром, що здатний відбирий лист листового натрієво-кальцієвого скла завати інфрачервоні промені, і діелектриком, що втовшки 4 мм, він має відтінок, який розглядають у розташований далі в цій послідовності. світлі, що проходить, на основі джерела світла 21. Панель засклення за п. 20, яка відрізняється D65/2, представлений негативним значенням для тим, що перший діелектричний шар, що містить а*, а значення b* становить менше +10, більш принаймні один шар, який складається зі змішаноприйнятно, менше +5. го оксиду цинку та олова, містить більш прийнятно 16. Панель засклення за будь-яким з попередніх принаймні 20 мас. % олова, та третій діелектричпунктів, яка відрізняється тим, що вона має коений шар, що містить принаймні один шар, який фіцієнт випромінювання ε, що дорівнює або менше складається зі змішаного оксиду цинку та олова, 0,035, більш прийнятно, на рівні або менше 0,03. містить більш прийнятно принаймні 20 мас. % 17. Панель засклення за будь-яким з попередніх олова. пунктів, яка відрізняється тим, що лист скла має 22. Панель засклення за п. 20 або 21, яка відрізтовщину в діапазоні між 6 і 14 мм. няється тим, що верхній захисний шар являє со18. Панель засклення за будь-яким з попередніх бою шар на основі оксиду титану. пунктів, яка відрізняється тим, що багатошарове 23. Панель засклення за будь-яким з попередніх покриття по суті має таку структуру, починаючи зі пунктів, яка відрізняється тим, що багатошарове скла: покриття є таким, що при нанесенні на прозорий 5 94700 6 лист натрієво-вапняного флоат-скла завтовшки 4 перебуває в діапазоні між 2 і 7 мм, і панель замм, засклення має пропускання світла LT на осносклення, де товщина листа скла перебуває в діапазоні між 7 і 14 мм, і що ці два листи скла несуть ві джерела світла D65/2 принаймні 73 %, і більш багатошарові покриття, які мають однакову струкприйнятно, принаймні 75 %, зовнішнє відбиття туру у вигляді шарів, включаючи товщини кожного світла LR на основі того самого джерела світла, із шарів або плівок, які ідентичні з різницею применше 12 %, більш прийнятно, менше або на рівні наймні 1 %, причому два елементи засклення ма9 %, і сонячний фактор SF, оцінюваний на стороні ють подібний зовнішній вигляд після термічної скла згідно з стандартом ISO 9050 (2003), менший обробки. 50 %, більш прийнятно, менший 49 %. 31. Багатошарова панель засклення, що містить 24. Панель засклення за будь-яким з попередніх принаймні одну панель засклення за будь-яким з пунктів, яка відрізняється тим, що багатошарове пп. 20-28, яка відрізняється тим, що при формупокриття є таким, що при нанесенні на прозорий ванні з 2 прозорих листів скла завтовшки 4 мм, лист натрієво-вапняного флоат-скла завтовшки 4 вона має пропускання світла LT принаймні 68 мас. мм, засклення має відтінок, який розглядають у %, зовнішнє відбиття світла LR менше ніж 15 %, відбитому світлі на стороні скла на основі джерела сонячний фактор SF менше ніж 45 %, оцінюваний світла D65/10, представлений значенням L* у згідно з стандартом ISO 9050 (2003), і селективдіапазоні між 28 і 37, значенням а* у діапазоні між ність S понад 1,63. 2 і +2 і значенням b* у діапазоні між -2 і -10. 32. Багатошарова панель засклення за п. 31, яка 25. Панель засклення за будь-яким з попередніх відрізняється тим, що вона має пропускання свіпунктів, яка відрізняється тим, що багатошарове тла LT принаймні 70 %, і більш прийнятно принайпокриття є таким, що при нанесенні на прозорий мні 72 %, і більш прийнятно принаймні 73 %, зовлист натрієво-вапняного флоат-скла завтовшки 4 нішнє відбиття світла LR менше ніж 14 %, мм, засклення має відтінок, який розглядають у сонячний фактор SF менше ніж 44 % і селективсвітлі, що проходить, на основі джерела світла ність S вище або на рівні 1,68, більш прийнятно, D65/2, представлений негативним значенням для вище або на рівні 1,7. а* і значенням b* менше +5. 33. Багатошарова панель засклення за будь-яким 26. Панель засклення за будь-яким з попередніх з пп. 31-32, яка відрізняється тим, що вона має пунктів, яка відрізняється тим, що воно має коезовнішній вигляд, що є нейтральним у відбитому фіцієнт випромінювання ε засклення, на рівні або світлі із зовнішньої сторони, коли багатошарове менше 0,03, більш прийнятно, на рівні або менше покриття перебуває в положенні 2, із чистотою 0,025. менше 10 і домінуючою довжиною хвилі, на рівні 27. Панель засклення за будь-яким з попередніх або менше 500 нм, на основі джерела світла пунктів, яка відрізняється тим, що багатошарове D65/10. покриття має таку структуру, починаючи зі скла: 34. Багатошарова панель засклення за будь-яким 20-45 нм ZnSnOx/9-11 нм Ag/перший бар'єрний з пп. 31-33, яка відрізняється тим, що при форшар/70-85 нм ZnSnOx/13-15 нм Ag/другий бар'єрмуванні із 2 прозорих листів скла завтовшки 4 мм і ний шар/20-40 нм ZnSnOx/2-6 нм ТіО2. розгляданні у відбитому світлі на основі джерела 28. Панель засклення за п. 27, яка відрізняється світла D65/10 з багатошаровим покриттям, помітим, що багатошарове покриття має таку структущеним у положенні 2, вона має відтінок, представру, починаючи зі скла: 29-37 нм змішаного оксиду лений значенням L* у діапазоні між 40 і 45, знацинку та олова з більше ніж 40 мас. % Sn і більше ченням а* у діапазоні між -5,0 і +1 і значенням b* у ніж 30 мас. % Zn/5-13 нм змішаного оксиду цинку діапазоні між -7,0 і -1,0. та олова з більше ніж 80 мас. % Zn і більше ніж 2 35. Багатошарова панель засклення за будь-яким мас. % Sn/9-11 нм Ag/0,5-2 нм NiCrOx/2-6 нм з пп. 31-34, яка відрізняється тим, що вона має ТiО2/65-80 нм змішаного оксиду цинку та олова з відтінок, який розглядають у світлі, що проходить, більше ніж 40 % Sn і більше ніж 30 мас. % Zn/8-15 нм змішаного оксиду цинку та олова з більше ніж на основі джерела світла D65/2, представлений 80 мас. % Zn і більше ніж 2 мас. % Sn/13-15 нм негативним значенням для а* і значенням b* менAg/0,5-2 нм NiCrOx/2-6 нм ТіО2/5-13 нм змішаного ше +5. оксиду цинку та олова з більше ніж 80 мас. % Zn і 36. Багатошарова панель засклення за будь-яким з пп. 31-35, яка відрізняється тим, що її значення більше ніж 2 мас. % Sn/15-30 нм змішаного оксиду цинку та олова з більше ніж 40 мас. % Sn і більше U згідно зі стандартом ISO 10292 дорівнює або 2 ніж 30 мас. % Zn/2-6 нм ТіО2. менше ніж 1,1 Вт/(м ·К), більш прийнятно, дорів2 29. Вузол з елементів панелі засклення за будьнює або менше ніж 1,08 Вт/(м ·К), і більш прийнят2 яким з пп. 1-19, або за будь-яким з пп. 20-28, який но, дорівнює або менше ніж 1,05 Вт/(м ·К), при відрізняється тим, що він містить принаймні два просторі між листами скла 15 мм, заповненого по елементи засклення, де листи скла мають товщисуті чистим аргоном. ни, які відрізняються на більше ніж 10 % і несуть 37. Багатошарова панель засклення за будь-яким з пп. 31-36, яка відрізняється тим, що її значення багатошарові покриття, які мають ту ж саму структуру шарів, включаючи товщини кожного із шарів U згідно зі стандартом ISO 10292 дорівнює або 2 або плівок, які є ідентичними з різницею принаймні менше ніж 1,42 Вт/(м ·К), більш прийнятно, дорів2 1 %, причому два елементи засклення мають понює або менше ніж 1,4 Вт/(м ·К), і, більш прийнят2 дібний зовнішній вигляд після термічної обробки. но, дорівнює або менше ніж 1,37 Вт/(м ·К), при 30. Вузол з елементів панелі засклення за п. 29, просторі між листами скла 15 мм, заповненого який відрізняється тим, що він містить принаймні сухим повітрям. одну панель засклення, де товщина листа скла 7 Цей винахід стосується засклення, що містить, принаймні, одне багатошарове покриття, нанесене на лист скла, а також багатошарового засклення, що містить, принаймні, один такий елемент засклення. Елементи засклення, на які посилаються в цьому винаході, містять багатошарове покриття, нанесене на лист скла, який звичайно має, принаймні, два шари на основі благородного металу, зокрема, на основі срібла, які відбивають інфрачервоні промені, і наносять катодним розпиленням при зниженому тиску в добре відомому пристрої магнетронного типу. На додаток до їх оптичних функцій, особливо, відносно здатності пропускати світло, ці елементи засклення також мають теплові функції. Зокрема, вони мають сонцезахисну функцію. У зв'язку із цим їх використовують, щоб знижувати ризик надмірного перегрівання закритого простору, який має великі засклені поверхні, у результаті інсоляції, і в такий спосіб знижувати навантаження на кондиціонування повітря, яке потрібно використовувати влітку. Для використання в будинках їх звичайно складають у вигляді подвійного засклення у поєднанні з іншим листом скла, з покриттям або без нього, причому багатошарове покриття розташоване усередині простору між двома листами скла. У разі використання в автомобільному секторі їх звичайно складають ламінуванням з іншим листом скла, з покриттям або без нього, за допомогою плівки з термопластичного матеріалу, такого як полівінілбутираль (PVB), причому багатошарове покриття розташоване між двома листами скла. Елементи засклення, яких стосується цей винахід, також мають іншу теплову функцію, а саме, засклення з низьким коефіцієнтом випромінювання. їх тоді звичайно складають у вигляді подвійного засклення з багатошаровим покриттям у контакті з газом (повітря або інший газ), можливо, при зниженому тиску. Як такі, їх використовують, щоб поліпшити теплоізоляцію великих засклених поверхонь і, таким чином, знизити втрати енергії та витрати на нагрівання в холодні періоди. Багатошарове покриття засклення відповідно до цього винаходу являє собою фактично покриття з низьким коефіцієнтом випромінювання, що знижує теплові втрати через інфрачервоні промені з великою довжиною хвилі. Щоб гарантувати сонцезахисну функцію, засклення, якого стосується цей винахід, повинно дозволяти проходити найменшій можливій кількості із усіх падаючих сонячних променів, тобто воно повинно мати найбільш низький можливий сонячний фактор (solar factor) (SF). Однак досить бажано, щоб воно забезпечувало пропускання світла (LT), що є настільки високим, наскільки можливо, щоб забезпечити достатній рівень освітлення усередині будинку. Ці трохи суперечливі вимоги відображають бажання одержати засклення, що має високу селективність (S), визначену залежністю між пропусканням світла та сонячним фактором. Щоб відповідати цим вимогам, шар, що відбиває 94700 8 інфрачервоні промені, повинен поділятися на, принаймні, два шари, відділені діелектриком, і це ускладнює структуру багатошарового покриття, збільшуючи кількість шарів. Пропускання світла (LT) являє собою відсоток потоку падаючого світла від джерела світла D65, що проходить через засклення. Сонячний фактор (SF або g) являє собою відсоток від енергії падаючого випромінювання, що передається безпосередньо заскленням і також поглинається ним, а потім випромінюється його стороною, зверненою до джерела енергії. Також є бажаним, щоб елементи засклення відповідали певним естетичним критеріям відносно відбиття світла (LR), тобто відсотка потоку падаючого світла - від джерела світла D65, відбитого заскленням, і відносно кольорів у відбитті та у світлі, яке проходить. Поєднання високої селективності та низького відбиття світла іноді приводить до фіолетових відтінків у відбитому світлі, які мають дуже малу естетичну привабливість. У будівельній галузі часто необхідно піддавати засклення механічному зміцненню, такому як термічне загартування, щоб поліпшити його стійкість до механічних напруг. В автомобільному секторі також часто необхідно згинати засклення, щоб забезпечити відповідність особливостям транспортного засобу. У виробництві та процесах формування елементів засклення є деякі досягнення в проведенні цих операцій загартування та гнуття (згинання) на вже покритому субстраті, замість покриття субстрату, що вже був сформований. Ці операції проводять при відносно високій температурі, температурі, при якій шар на основі срібла, що відбиває інфрачервоні промені, має тенденцію погіршувати та втрачати свої оптичні властивості та свої властивості щодо інфрачервоних променів. Отже, слід вживати дуже специфічних запобіжних заходів, щоб забезпечити структуру покриття, яка є придатною для проведення обробки термічним загартуванням або згинанням, що іноді називаються "здатність до загартування зі згинанням", без втрати своїх оптичних і/або енергетичних властивостей, у яких полягає мета його установки. Багатошарові покриття із двома шарами, що відбивають інфрачервоні промені, придатні для проведення термічної обробки, уже були запропоновані. З точки зору ефективності та промислової рентабельності, проблема, пов'язана з цими комплексними структурами, полягає не тільки в тому, щоб мати засклення, яке містить таке покриття, що витримує істотні термічні обробки при дуже високих температурах без погіршення своїх властивостей, але також і в тому, щоб мати засклення, що має процес виробництва, який є найменш складним з можливих, може легко відтворюватись та може формуватись з листів скла різної товщини без будь-якої значної модифікації структури покриття, щоб брати до уваги різницю в часі перебування при підвищеній температурі термічної обробки. Будь-яка модифікація під час термічної обробки, який піддають засклення, може значно 9 94700 10 змінювати його властивості, особливо, його власних нижче процентних вмістів цинку в змішаному тивості, енергетичні та/або оптичні, наприклад, оксиді, а також до інших величин, відмінних від пропускання ним світла. Тривалість термічного 12%, що використовується тут з метою ілюстрації. загартування або обробки згинанням залежить від Верхній захисний шар на основі нітриду або товщини листа скла. Коли елементи засклення, що оксинітриду Ті, Zr, Hf, V, Nb, Та, Сr, їх сплаву, або несуть багатошарове покриття, роблять послідовна основі нітриду або оксинітриду сплаву або одно з листів скла різної товщини, структура покритного, або кількох цих металів з Аl і/або В, ефективтя повинна бути пристосована так, щоб після терно захищає всю розташовану нижче структуру в мічного загартування всі елементи засклення процесі обробки перед термічною обробкою, а відповідали промисловим стандартам не тільки також у процесі термічної обробки, у процесі якої щодо будь-яких можливих оптичних змін у резульці нітриди окисляють, наприклад, TiN окисляють, таті різниці в товщині скла, але також і відносно щоб сформувати, по суті, ТіО2. Цей верхній захистермічної стійкості покриття, що буде піддаватися ний шар у формі нітриду може бути вже частково впливу різних умов. окисленим перед термічною обробкою. Він також Винахід стосується засклення, придатного для може бути покритий іншим шаром, таким як кінцепіддавання термічній обробці, такій як термічне вий тонкий шар, наприклад, який додатково позагартування або гнуття (згинання), що містить, ліпшує захист покриття, як описано та заявлено, принаймні, одне багатошарове покриття, нанесене наприклад, у європейській патентній заявці на лист скла, яке характеризується тим, що в пос04105583.1 на ім'я заявника, поданій в той самий лідовності, що починається з листа скла, багатодень. шарове покриття містить, принаймні: Верхній захисний шар, більш прийнятно, місa) перший діелектрик, який містить, принаймні, тить нітрид або оксинітрид титана. Наприклад, він один шар, що складається зі змішаного оксиду може містити нітрид або оксинітрид сплаву з алюцинку та олова, що містить, принаймні, 12% олова, мінію або цирконію, або титана. Більш прийнятно, більш прийнятно, принаймні, 20% олова, верхній захисний шар базується на TiN. Це матеb) перший шар на основі срібла, що відбиває ріал, що добре підходить для цілей даного винаінфрачервоні промені, ходу. Його легко одержують у промисловому виd) другий діелектрик, робництві катодним розпиленням. Він ефективно e) другий шар на основі срібла, що відбиває захищає покриття в процесі обробки засклення, і інфрачервоні промені, легко окисляється, зокрема, під час термічної обg) третій діелектрик, який містить, принаймні, робки, даючи ТіО2, є високо прозорим, і в той саодин шар, що складається зі змішаного оксиду мий час захищає розташовані нижче шари від окицинку та олова, що містить, принаймні, 12% олова, слювання. більш прийнятно, принаймні, 20% олова, Шари на основі срібла, що відбивають інфраh) верхній захисний шар на основі нітриду або червоні промені, можуть містити сплави срібла, оксинітриду Ті, Zr, Hf, V, Nb, Та, Сr, їх сплаву або зокрема, з Pd. на основі нітриду або оксинітриду сплаву одного Другий діелектрик може бути сформований з або кількох цих металів з Аl і/або В. будь-якого придатного матеріалу, відомого в обБуло виявлено, що структура основи багатоласті шарів, які наносять катодним розпиленням шарового покриття засклення відповідно до цього при зниженому тиску. Цей діелектричний матеріал винаходу дозволяє формувати елементи заскленможе бути вибраний, зокрема, з оксидів, нітридів, ня, "здатні до загартування зі згинанням", які маоксинітридів металів, наприклад, оксиду алюмінію ють низький коефіцієнт випромінювання та захист (Аl2О3), нітриду алюмінію (AlN), оксинітриду алюмівід сонця з високою селективністю, можуть відпонію (AlNO), оксиду магнію (MgO), оксиду ніобію відати естетичним критеріям із відмінною відтво(Nb2O5), діоксиду кремнію (SiO2), нітриду кремнію рюваністю, і це також і у випадку з різною товщи(Si3N4), діоксиду титана (ТiО2), п'ятиокису вісмуту ною листа скла. З огляду на суворість умов цього (Вi2О5), оксиду ітрію (Y2O3), оксиду олова (SnO2), типу термічної обробки, складність структури покп'ятиокису танталу (Та2О5), оксиду цинку (ZnO), риття та вимог якості для елементів засклення оксиду цирконію (ZrO2) або із сульфідів, таких як відповідно до цього винаходу, цей результат є сульфід цинку (Zn). цілком несподіваним. Більш прийнятно, другий діелектрик містить, Змішаний оксид цинку та олова, що містить, принаймні, один шар, що складається зі змішаного принаймні, 12%, а більш прийнятно, принаймні, оксиду цинку та олова, або одного, або у поєднан20% олова, присутній у першому та третьому діені з одним або кількома діелектричними матеріалектриках, очевидно, відіграє сприятливу роль в лами, зазначеними вище. Виявлено, що це підсиізолюванні шарів на основі срібла відносно скла та лює стійкість покриття до термічної обробки. середовища поза покриттям і захисту їх від кисню, Крім шару, що складається зі змішаного оксищо мігрує крізь шари. Сприятливий захисний ду цинку та олова, перший і третій діелектрики ефект відносно кисню є більш вираженим, коли також можуть включати один або кілька діелектризмішаний оксид містить, принаймні, 20% олова. чних матеріалів, зазначених вище. Такі вирази, як "змішаний оксид цинку та олова, Альтернативно або додатково, принаймні, що містить, принаймні, 12% олова", що вживаютьодин з першого, другого або третього діелектриків ся у цьому описі, вказують, що є, принаймні, 12% складається з, принаймні, двох шарів змішаного за масою олова в змішаному оксиді цинку та олова оксиду цинку та олова різних складів, причому відносного загальної маси цинку та олова в змішашар, найбільш багатий на цинк, наносять найблиному оксиді. Те ж саме застосовують до наведежче до шару на основі срібла, що відбиває інфра 11 94700 12 червоні промені, і більш прийнятно, у прямому результаті забезпечують високо ефективний законтакті із шаром на основі срібла, що відбиває хист срібла. Тонка плівка ТіО2 може бути нанесена інфрачервоні промені, який розташований після у формі субоксиду, наприклад, з керамічної мішені нього в зазначеній послідовності. У цьому випадку з ТіОх у нейтральній або окисній атмосфері. Більш всі діелектрики, більш прийнятно, містять, приприйнятно, її наносять у металевій формі (Ті) і її наймні, два шари змішаного оксиду цинку та олова окисляють в окисній атмосфері, що використовурізних складів. Більш прийнятно, перший змішаний ється для нанесення наступного шару. В будьоксид цинку та олова містить від 40 до 60% олова, якому випадку після осадження покриття на виході більш прийнятно, з утворенням складу, близького магнетрона ця плівка перебуває в, по суті, окиследо станату цинку, Zn2SnO4, а другий змішаний окній формі, ТіО2. Що стосується плівки NiCr, її сильсид цинку та олова містить від 80 до 98% цинку, но окисляють, в основному, у процесі термічної більш прийнятно, близько 90% цинку та 10% олообробки покритого засклення. ва. Ці приводить одночасно до доброї стійкості Для дуже жарких країн є корисним, якщо готопокриття до термічної обробки та до сприятливого ве засклення, складене у формі подвійного завпливу на оптичні та енергетичні властивості шару склення, має сонячний фактор нижче 30% і навіть або шарів срібла в контакті із шаром, багатим на нижче 25%, щоб, наскільки можливо, відфільтроцинк. вувати сонячну енергію. У цьому випадку не досБар'єрний шар, більш прийнятно, розташовататньо блокувати інфрачервоні промені, також ний на, принаймні, одному із шарів, що відбивають необхідно відфільтровувати енергію, яку несе виінфрачервоні промені, між цим шаром і діелектридиме випромінювання, щоб адекватно зменшувати ком, який йде за ним у цій послідовності. Більш повну енергію, яку пропускає засклення. Абсорбуприйнятно, бар'єрний шар розташований на кожючий шар, такий як метал, подібний до титана, ному із шарів, що відбивають інфрачервоні промецирконію, ніобію або інших металів, відомих у цій ні. Бар'єрний шар або шари призначений (-і) для галузі, їх субоксиди або нітриди можуть бути вклютого, щоб захищати шари на основі срібла, зокречені до структури покриття. Винахід забезпечує ма, у процесі термічної обробки, але також і в пролегко відтворювані елементи засклення такого цесі осадження верхніх діелектриків, особливо, типу. Однак тоді слід прийняти нижче пропускання якщо їх формують в атмосфері, яка містить кисвітла, яке може зменшуватись нижче 40%. сень, що міг би окисляти срібло, або в атмосфері, Більш прийнятно, багатошарове покриття є таяка містить азот. Може використовуватись метал, ким, що коли його наносять на лист прозорого нащо окисляється легше, ніж срібло, такий як титан трієво-вапняного флоат-скла завтовшки 4 мм, за(Ті), ніобій (Nb), тантал (Та), цинк (Zn), мідь (Сu), склення відповідно до винаходу, що є придатним алюміній (Аl), хром (Сr), наприклад, або сплав нідля піддавання термічній обробці, такій як термічкелю та хрому (NiCr), їх суміші або сплави. Також не загартування або згинання, має пропускання може використовуватись субоксид, такий як NiCrOx світла LT на основі джерела світла D65/10, приабо ТіОх. ТіОх може бути нанесений з використаннаймні, 65%, і більш прийнятно, принаймні, 68%, ням ТіОх як керамічної мішені в нейтральній атмозовнішнє відбиття світла LR на основі того самого сфері. джерела світла менше 12%, більш прийнятно, меБільш прийнятно, або, принаймні, один з банше або на рівні 9%, і сонячний фактор SF, який р'єрних шарів містить першу тонку плівку металу оцінюють на стороні скла згідно з стандартом ISO або сполуки металу та покритий другою тонкою 9050 (2003), менший або на рівні 46%, більш приплівкою з сполуки металу, відмінного від першої йнятно, менший або на рівні 45%. Ці властивості тонкої плівки, причому ці дві плівки розташовані дають можливість одержувати після термічної обміж шаром, що відбиває інфрачервоні промені, і робки засклення, що має високе пропускання світдіелектриком, що розташований за ним. Більш ла та у той самий час є особливо сприятливим прийнятно, всі бар'єрні шари містять першу тонку щодо захисту від сонця. плівку металу або сполуки металу та покриті друБільш прийнятно, багатошарове покриття є тагою тонкою плівкою із сполуки металу, відмінного ким, що коли його наносять на лист прозорого навід першої тонкої плівки, причому ці дві плівки розтрієво-вапняного флоат-скла завтовшки 4 мм, заташовані між шаром, що відбиває інфрачервоні склення відповідно до винаходу, що є придатним промені, і діелектриком, що йде за ним. При розудля проведення термічної обробки, такої як термімному виборі матеріалів цих двох тонких плівок чне загартування або згинання, має відтінок, який можна забезпечити більш ефективний захист шарозглядають у відбитому світлі на стороні скла на рів срібла шляхом розподілу різних ролей кожної із основі джерела світла D65/10, представлений плівок. значенням L* у діапазоні між 28 і 37, значенням а* Більш прийнятно, бар'єрні шари або, принайму діапазоні між -2 і +4 і значенням b* у діапазоні ні, один з бар'єрних шарів формують першою тонміж -21 і -3, більш прийнятно, між -20 і -8. Ці оптичкою плівкою з NiCr або субоксиду NiCr, розташоні характеристики дозволяють заскленню, яке ваного безпосередньо на сріблі, і його покривають одержують після термічної обробки, мати дуже другою тонкою плівкою з ТіО2, розташованою на високу естетичну привабливість, і воно може відтонкій плівці NiCr або субоксиду NiCr і під діелектповідати особливо суворим критеріям. Більш пририком, який розташований за ним. Більш прийнятйнятно, відтінок, який розглядають у світлі, що но, всі бар'єрні шари формують першою тонкою проходить, на основі джерела світла D65/2 предплівкою з NiCr, і кожну з них покривають другою ставлений негативним значенням а* і значенням тонкою плівкою ТiО2. Плівка ТіО2 затримує кисень, b* менше +10, більш прийнятно, менше +5. а плівка NiCr зменшує дифузію кисню до срібла, і в 13 94700 14 Більш прийнятно, засклення відповідно до вляти замовнику. Останній потім буде здійснювати цього винаходу має коефіцієнт випромінювання ε, відповідну термічну обробку, наприклад, перед який дорівнює або менше 0,035, і більш прийнятно монтажем його в будинок. дорівнює або менший від 0,03. Низькі величини Це покрите в такий спосіб та термічно обробдля коефіцієнта U (або k) також можуть бути лене засклення є саме по собі новим, і це є причиотримані, і це є дуже сприятливим для збереження ною, чому винахід поширюється на загартоване тепла взимку. та/або вигнуте засклення, сформоване заскленВинахід є особливо застосовним до елементів ням, як описано вище, яке піддають термічному засклення, де лист скла має товщину від 2 до 6 загартуванню та/або обробці згинанням після осамм. Однак якість його покриття і його особливо дження багатошарового покриття. сприятлива стійкість до термічної обробки дозвоВинахід також стосується загартованого ляють мати більшу товщину листа скла. Як насліта/або вигнутого засклення, що містить, принаймдок цього, відповідно до іншого більш прийнятного ні, одне багатошарове покриття, нанесене на лист варіанта здійснення винаходу лист скла має товскла перед термічним загартуванням і/або обробщину в діапазоні між 6 і 14 мм. Щоб проводити кою згинанням, яке характеризується тим, що в термічну обробку на листах скла такої товщини, послідовності, починаючи з листа скла, багатошавони повинні піддаватися, по суті, підвищеній темрове покриття містить, принаймні: пературі протягом більш тривалого періоду. Заa) перший діелектрик, що містить, принаймні, склення відповідно до винаходу пристосоване один шар, який складається зі змішаного оксиду особливо добре до цих важких умов. цинку та олова, що містить, принаймні, 12%, більш Більш прийнятно, багатошарове покриття, по прийнятно, принаймні, 20% олова, суті, має таку структуру, починаючи зі скла: b) перший шар на основі срібла, що відбиває 20-45 нм ZnSnOx/9-11 нм Ag/перший бар'єрний інфрачервоні промені, шар/70-85 нм ZnSnOx/13-15 нм Ag/другий бар'єрc) перший бар'єрний шар, ний шар/20-40 нм ZnSnOx/2-6 нм TiN. При викорисd) другий діелектрик, танні цієї структури виявили, що можуть бути легко e) другий шар на основі срібла, що відбиває отримані елементи засклення високої якості внаінфрачервоні промені, слідок захисту від сонця та термічної ізоляції, які f) другий бар'єрний шар, легко відтворюються навіть із різною товщиною g) третій діелектрик, який містить, принаймні, скла. ZnSnOx являє собою змішаний оксид цинку один шар, що складається зі змішаного оксиду та олова, що містить, принаймні, 20% олова. цинку та олова, що містить, принаймні, 12%, більш Більш прийнятно, багатошарове покриття, по прийнятно, принаймні, 20% олова, суті, має таку структуру, починаючи зі скла: h) верхній захисний шар, який містить або ба29-37 нм змішаного оксиду цинку та олова з зується на оксиді Ті, Zr, Hf, V, Nb, Та або Сr або більше 40% Sn і більше 30% Zn/5-13 нм змішаного суміші цих оксидів, і тим, що, принаймні, один з оксиду цинку та олова з більше 80% Zn і більше бар'єрних шарів містить першу тонку плівку металу 2% Sn/9-11 нм Ag/0,5-2 нм NiCr/2-6 нм ТiO2/65-80 або сполуки металу та покритий другою тонкою нм змішаного оксиду цинку та олова з більше 40% плівкою із сполуки металу, відмінного від металу в Sn і більше 30% Zn/8-15 нм змішаного оксиду цинпершій тонкій плівці, причому дві плівки розташоку та олова з більше 80% Zn і більше 2% Sn/13-15 вані між шаром, що відбиває інфрачервоні променм Ag/0,5-2 нм NiCr/2-6 нм ТiО2/5-13 нм змішаного ні, і наступним діелектриком. оксиду цинку та олова з більше 80% Zn і більше Вибираючи розумно товщини різних шарів цієї 2% Sn/15-30 нм змішаного оксиду цинку та олова з структури, можна надійно одержати вибір структур більше 40% Sn і більше 30% Zn/2-6 нм TiN. Більш засклення з високоефективними тепловими функприйнятно, змішані оксиди цинку та олова з більше ціями та високою селективністю контролю соняч40% Sn і більше 30% Zn являють собою композиних променів з естетично приємним зовнішнім виції, близькі до станату цинку Zn2SnO4. Виявили що, глядом, що відповідає всім необхідним критеріям, ця структура забезпечує діапазон оптичних і енерособливо, у будівельній галузі. гетичних властивостей після загартування, які доВерхній захисний шар, більш прийнятно, місзволяють одержувати елементи засклення, що тить оксид титана, що може виникати або від окиповністю відповідають вимогам ринку для будинслювання нітриду або оксинітриду титана, або ків. окислювання металевого або частково окисленого Засклення відповідно до винаходу, таке як титана. Він може, наприклад, містити оксид сплаву описано вище, являє собою засклення, яке звихрому, алюмінію або цирконію з титаном. Більш чайно не надають для установки. Засклення, що прийнятно, верхній захисний шар являє собою забезпечується багатошаровим покриттям, повиншар на основі оксиду титана. не ще піддаватися термічному загартуванню Верхній захисний шар також може ймовірно та/або обробці згинанням перед установкою. Це бути покритий іншим шаром, таким як кінцевий дозволяє легко та у відтворюваний спосіб одержутонкий шар, наприклад, який додатково поліпшує вати загартоване та/або вигнуте засклення, що є захист покриття, як описано та заявлено, наприефективним відносно захисту від сонця, має високлад, у європейській патентній заявці 04105583.1 ку селективність і термічну ізоляцію та естетично на ім'я заявника, поданій того ж самого дня. приємний зовнішній вигляд. Звичайно термічну Більш прийнятно, всі бар'єрні шари містять обробку засклення не проводять безпосередньо першу тонку плівку металу або сполуки металу та після осадження багатошарового покриття. Його покриті другою тонкою плівкою сполуки металу, можуть продавати, наприклад, як є, а потім доставідмінного від першої тонкої плівки, причому обид 15 94700 16 ві плівки розташовані між шаром, що відбиває інЦя структура забезпечує елементи засклення з фрачервоні промені, і наступним діелектриком. високоефективними тепловими функціями, які Зокрема, багатошарове покриття загартованоможуть бути отримані особливо надійно у великого та/або вигнутого засклення відповідно до цього му масштабі, і вони можуть бути сформовані з винаходу являє собою таке, що коли його нанолистів скла з, по суті, різною товщиною без модисять на прозорий лист натрієво-вапняного флоатфікації структури покриття. скла завтовшки 4 мм, засклення, більш прийнятно, Можливість одержання елементів засклення, має пропускання світла LT на основі джерела свіде покриття піддають термічному загартуванню та/або обробці згинанням, і скляні листи мають тла D65/2, принаймні, 73%, і більш прийнятно, істотно різні товщини з тією самою структурою принаймні, 75%, зовнішнє відбиття світла LR на покриття, та мають еквівалентні оптичні та термічоснові того ж самого джерела світла, менше 12 %, ні властивості, є новою та несподіваною сама по більш прийнятно, менше або на рівні 9%, і сонячсобі. Фактично, дотепер твердість умов термічного ний фактор SF, оцінений на стороні скла згідно з загартування або згинання вимагала структури стандартом ISO 9050 (2003), менше 50%, більш багатошарового покриття, яке потрібно пристосоприйнятно, менше 49%. Це забезпечує засклення вувати за товщиною листів скла, щоб зберегти ті ж з дуже високою ефективністю щодо захисту від самі оптичні та/або енергетичні властивості, тому сонця, яке має високу селективність і низьке відщо тривалість цієї обробки змінюється залежно від биття світла. З естетичної точки зору, багатошаротовщини скла. ве покриття є таким, що коли його наносять на Отже, винахід також поширюється на вузол з прозорий лист натрієво-вапняного флоат-скла елементів засклення, таких як ті, які описані вище, завтовшки 4 мм, засклення, більш прийнятно, має які є придатними для проведення термічної обробвідтінок, який розглядають у відбитому світлі на ки, такої як термічне загартування або згинання, стороні скла на основі джерела світла D65/10, або є загартованими та/або вигнутими, який міспредставлений значенням L* у діапазоні між 28 і тить, принаймні, два елементи засклення, де лис37, значенням а* у діапазоні між -2 і +2 і значенням ти скла мають товщини, які відрізняються більше b* у діапазоні між -2 і -10. Це забезпечує його візуніж на 10%, і несуть багатошарові покриття, які альним зовнішнім виглядом, на який приємно димають ту саму структуру шарів, включаючи товвитися і який легко поєднується із загальним зовщини кожного із шарів або плівок, які є ідентичнинішнім виглядом. Більш прийнятно, відтінок у ми, з різницею, принаймні, 1%, причому два елесвітлі, що проходить, на основі джерела світла менти засклення мають подібний зовнішній вигляд D65/2 представлений негативною величиною а* і після термічної обробки. значенням b* менш +5. Більш прийнятно, зазначений вузол елементів Більш прийнятно, коефіцієнт випромінювання засклення містить, принаймні, одне засклення, де ε засклення дорівнює або менше 0,03 і більш притовщина листа скла перебуває в діапазоні між 2 і 7 йнятно, дорівнює або менше 0,025. Засклення відмм, і засклення, де товщина листа скла перебуває повідно до винаходу має більш низький коефіцієнт в діапазоні між 7 і 14 мм, і ці два листи скла несуть випромінювання після термічної обробки, ніж пебагатошарові покриття, які мають однакову струкред нею. Це являє собою перевагу, зокрема, щодо туру у вигляді шарів, включаючи товщини кожного засклення відповідно до винаходу, що дозволяє із шарів або плівок, які є ідентичними з різницею, одержувати особливо низьке значення коефіцієнта принаймні, 1 %. Ця дуже мала різниця є, дійсно, U для загартованого та/або вигнутого засклення, несподіваною. Фактично, вона включає тільки легпричому всі інші оптичні та термічні властивості є ку адаптацію, яку слід зробити, в основному, щодо однаковими. товщини третього діелектрика з урахуванням опБільш прийнятно, багатошарове покриття затичної зміни, що випливає з різниці в товщині скла. гартованого та/або вигнутого засклення відповідно Оскільки покриття має відмінну стійкість до термідо винаходу має таку структуру, починаючи зі чної обробки, немає необхідності пристосовувати скла: його до тривалості обробки. Інший шлях ілюстрації 20-45 нм ZnSnOx/9-11 нм Ag/перший бар'єрний цієї специфічної особливості полягає в тому, щоб шар/70-85 нм ZnSnOx/13-15 нм Ag/другий бар'єрпіддавати кілька ідентичних покритих елементів ний шар/20-40 нм ZnSnOx/2-6 нм ТiO2. І, більш засклення термічній обробці з різною тривалістю прийнятно, воно має таку структуру, починаючи зі при високій температурі, щоб підтвердити, що опскла: тичні та термічні властивості значно не змінюють29-37 нм змішаного оксиду цинку та олова з ся. Перевага відносно великомасштабного вироббільше 40% Sn і більше 30% Zn/5-13 нм змішаного ництва є очевидною. оксиду цинку та олова з більше 80% Zn і більше Винахід поширюється також на багатошарове 2% Sn/9-11 нм Ag/0,5-2 нм NiCrOx/2-6 нм ТіО2/65засклення, що містить, принаймні, одне таке за80 нм змішаного оксиду цинку та олова з більше склення, що описано вище і яке придатне для про40% Sn і більше 30% Zn/8-15 нм змішаного оксиду ведення обробки термічним загартуванням, що цинку та олова з більше 80% Zn і більше 2% забезпечує сприятливу термічну ізоляцію, ефектиSn/13-15 нм Ag/0,5-2 нм NiCrOx/2-6 нм ТіО2/5-13 нм вний захист від сонця з високою селективністю та змішаного оксиду цинку та олова з більше 80% Zn і приємним естетичним зовнішнім виглядом, і воно більше 2% Sn/15-30 нм змішаного оксиду цинку та має такі оптичні та енергетичні властивості, як ті, олова з більше 40% Sn і більше 30% Zn/2-6 нм що зазначені в наведеній далі формулі винаходу. ТіO2. Більш прийнятно, змішані оксиди цинку та олова з більше 40% Sn і більше 30% Zn являють собою склади, близькі до станату цинку Zn2SnO4. 17 94700 18 Винахід буде тепер описаний більш докладно кою плівкою з 2,5 нм Ті у такий саме спосіб, як для не обмежуючим чином на основі наведених далі першого бар'єрного шару. більш прийнятних практичних прикладів. g) Третій діелектрик формують із двох шарів Приклади: окислів, нанесених у реакційноздатній атмосфері, Приклад 1 сформованій сумішшю кисню та аргону, з катодів Лист стандартного натрієво-вапняного скла сплавів цинку та олова різних складів. Перший розміром 2 м на 1 м і завтовшки 4 мм поміщають у змішаний оксид цинку та олова ZnSnOx завтовшки пристрій катодного розпилення магнетронного близько 5 нм наносять із металевої мішені сплаву типу, що працює за допомогою магнітного поля ZnSn з 90% Zn і 10% Sn (за масою). Другий змішапри зниженому тиску (близько 0,3 Па). На цей лист ний оксид цинку та олова завтовшки близько 30 нм скла наносять багатошарове покриття, що містить наносять із мішені сплаву ZnSn з 52% Zn і 48% Sn послідовно: (за масою), щоб сформувати структуру шпінелі а) Перший діелектрик, сформований двома станату цинку Zn2SnO4. оксидними шарами, нанесеними в реакційноздатh) Потім закінчують покриття осадженням верній атмосфері, яку формують із суміші аргону та хнього захисного шару 2,5 нм TiN, що наноситься кисню, з катодів зі в атмосфері азоту з титанової мішені. сплавів цинку та олова різних складів. Перший Слід зазначити, що всі шари ZnSnOx є досить змішаний оксид цинку та олова завтовшки близько окисленими, щоб бути настільки прозорими, наскі30 нм формують із катода зі сплаву цинку та олова льки можливо. Слід також зазначити, що товщини з 52% за масою цинку та 48% за масою олова, Ті і TiN подані як еквівалентна товщина ТіО2 (тобщоб сформувати структуру шпінелі зі станату цинто, як результат окислювання Ті або TiN), що є їх ку Zn2SnO4. Другий змішаний оксид цинку та олова станом у кінцевому продукті після термічної оброZnSnOx завтовшки близько 5 нм наносять із мішені бки, і являє собою вже стан навіть у проміжному сплаву цинку та олова з 90% за масою цинку та заскленні, що є придатним для проведення термі10% за масою олова. чної обробки у відношенні Ті. b) Перший шар, що відбиває інфрачервоні При виході з пристрою для нанесення шару з промені, сформований із близько 10,3 нм срібла з багатошаровим покриттям, нанесеним на лист мішені практично чистого срібла в нейтральній скла, тільки но покрите засклення має такі властиатмосфері аргону. вості: c) Перший бар'єрний шар, сформований з LT = 73,2%; LR = 8,3%; SF = 44,1%; ε (коефіціпершої тонкої плівки NiCr завтовшки 0,5 нм, нанеєнт випромінювання) = 0,03; сений з мішені сплаву з 80% Ni і 20% Сr. Цей бавідтінок у світлі, що проходить, виражений тар'єрний шар покривають другою тонкою плівкою кими значеннями: завтовшки 2,5 нм, нанесеною з титанової мішені. L* = 88,5; a* = -4,2; b* = +1,9 Обидві ці тонкі плівки наносять у потоці аргону, відтінок у відбитому світлі на стороні скла визлегка забрудненого киснем, із суміжних камер. ражений такими значеннями: Слід зазначити, що окисна атмосфера плазми в L* = 34,7; а* = +0,6; b* = -12,1; d = 470,1 нм; процесі осадження наступного шару, описана нижчистота = 21,9%. че, повністю окисляє тонку плівку титана так, що У цьому винаході вживають такі загальні тернаприкінці процесу осадження другого діелектрика міни для вимірюваних або розрахованих величин. титан є фактично повністю окисленим, щоб сфорПропускання світла (LT), відбиття світла (LR) і відмувати компактний шар з ТіO2. Як варіант, також тінок у світлі, що проходить, (1976 CIELAB значенможна осаджувати цей шар у формі частково окиня L*a*b*) виміряні із джерелом світла D65/2. сленого ТіОх. Цей шар також може бути нанесеВідносно відтінку у відбитому світлі, значення ний, наприклад, з керамічної мішені ТіОх і бути 1976 CIELAB (L*a*b*), а також домінуюча довжина окислений плазмою, що використовується для хвилі (d) і чистота (р) виміряні із джерелом світла осадження наступного шару. D65/10. Сонячний фактор (SF або g) розраховуd) Другий діелектрик формують із двох шарів ють згідно з стандартом ISO 9050/2003. Величина змішаних оксидів цинку та олова, нанесених у реаU (коефіцієнт k) і коефіцієнт випромінювання (ε) кційноздатній атмосфері, сформованій із суміші розраховують згідно з стандартами ΕΝ673 і ISO кисню та аргону, з катодів зі сплавів цинку та оло10292. ва різних складів. Перший змішаний оксид цинку Покрите засклення з багатошаровим покритта олова завтовшки близько 68 нм наносять із метям, нанесеним на лист скла, потім піддають опеталевої мішені сплаву ZnSn з 52% Zn і 48% Sn (за рації термічного загартування, у процесі якої його масою), щоб сформувати структуру шпінелі зі ставитримують при температурі 690°С протягом 4 нату цинку Zn2SnO4. Другий змішаний оксид цинку хвилин і потім швидко охолоджують струменями та олова ZnSnOx завтовшки близько 15 нм нанохолодного повітря. Протягом цієї термічної обробсять із мішені сплаву ZnSn з 90% Zn і 10% Sn (за ки тонкі плівки NiCr бар'єрних шарів досить окисмасою). ляють, щоб вони стали прозорими, поряд із цим e) Другий шар, що відбиває інфрачервоні проформуючи також ефективний і надійний екран, мені, формують, приблизно, 14,7 нм срібла з міщоб захищати срібні шари. Верхній захисний шар шені практично чистого срібла в атмосфері, сфорз TiN сам окисляється з утворенням ТіО2. мованої з 100% аргону. Після цієї обробки покрите та загартоване заf) Другий бар'єрний шар формують із першої склення має такі властивості: тонкої плівки 0,5 нм NiCr і покривають другою тонLT = 81,6%; LR = 8,2%; SF = 49%; ε (коефіцієнт випромінювання) = 0,022; 19 94700 20 відтінок у світлі, що проходить, виражений тавідтінок у світлі, що проходить, виражений такими значеннями: кими значеннями: L* = 88,5; a* = -4,2; b* = +1,9 L* = 91,6; a* = -3,4; b* = +3,0 відтінок у відбитому світлі на стороні скла вивідтінок у відбитому світлі на стороні скла виражений такими значеннями: ражений такими значеннями: L* = 34,5; а* = -0,8; b* = -7,6; d = 472,6 нм; p = L* = 34,2; а* = -1,1; b* = -7,2; d = 473,2 нм; p = 14,9%. 14,6%. Це засклення з покриттям потім складають як Це покрите та загартоване засклення потім подвійне засклення з іншим прозорим листом скла складають як подвійне засклення з іншим прозо4 мм, причому покриття розташоване з боку внутрим листом скла 4 мм, причому покриття розташорішнього простору подвійного засклення. Простір ване з боку внутрішнього простору подвійного заміж цими двома листами становить 15 мм, і повітсклення. Простір між цими двома листами ря там заміняють аргоном. При погляді на подвійстановить 15 мм, а повітря там заміняють аргоном. не засклення на стороні скла покритого засклення, При погляді на подвійне засклення на стороні скла приміщуючи покриття в положення 2, тобто, якщо покритого засклення, приміщуючи покриття в подивитися з боку скла, засклення із покриттям, видложення 2, тобто якщо дивитися з боку скла, зано першим, а потім прозорий лист скла без шару, склення з покриттям видно першим, а потім прозозазначають такі властивості: рий лист скла без шару, зазначають такі LT = 73,7%; LR = 13,6%; SF = 43,4%; S = 1,7 властивості: 2 LT = 72%; LR = 13,2%; SF = 41,8%; S = 1,7 величина U = 1,05 Вт/(м K); 2 відтінок у світлі, що проходить, виражений тавеличина U = 1,05 Вт/(м K); кими значеннями: відтінок у світлі, що проходить, виражений таL* = 88,8; a* = -3,4; b* = +3,0 кими значеннями: відтінок у відбитому світлі на стороні скла виL* = 88,0; a* = -4,2; b* = +3,1 ражений такими значеннями: відтінок у відбитому світлі на стороні скла виражений такими значеннями: L* = 43,7; а* = -1,7; b* = -4,7; d = 475,8 нм; p = 8,7%. L* = 43,1; а* = -2,3; b* = -4,4; d = 477,1 нм; p = Візуальна перевірка у відбитому світлі подвій8,8%. ного засклення показує однорідний відтінок і зовКоли подвійне засклення із прикладу 1 помінішній вигляд по всій поверхні. Отже, винахід дає щають у те ж саме положення біля подвійного заможливість одержувати подвійне засклення з висклення із прикладу 2, візуальне враження є таким соким пропусканням світла, високими енергетичсамим. Крім того, енергетичні властивості є порівними характеристиками (термічна ізоляція та занянними. Отже, ці два елементи подвійного захист від сонця) і дуже високою естетичною склення навіть можуть бути встановлені поряд привабливістю. один з одним в тому самому будинку. Таким чиПриклад 2 ном, підтверджено, що немає необхідності модиПриклад 2 проводять так само, як приклад 1 з фікувати структуру багатошарового покриття, коли тією самою структурою багатошарового покриття. товщина листа скла змінюється, щоб одержувати Він відрізняється від прикладу 1 товщиною листа ті ж самі властивості, і це являє собою велику пескла, що несе покриття, яка становить 8 мм заревагу з точки зору великомасштабного виробницмість 4 мм. Отримані такі властивості: тва. При виході з пристрою для нанесення шару Приклади з 3 до 6 недавно покрите засклення має такі властивості: Наступні приклади проводили в такий саме LT = 71,5%; LR = 8,1%; SF = 43,3%; ε (коефіціспосіб, як приклад 1. Структури відповідних покєнт випромінювання) = 0,03; риттів подані в таблиці 1 нижче (D1 = перший діевідтінок у світлі, що проходить, виражений талектрик, D2 = другий діелектрик, D3 = третій діелекими значеннями: ктрик, IR1 = перший шар на основі срібла, що L* = 87,7; a* = -5,1; b* = +2,0 відбиває інфрачервоні промені, IR2 = другий шар, відтінок у відбитому світлі на стороні скла вищо відбиває інфрачервоні промені, Р1 = перший ражений такими значеннями: бар'єрний шар, Р2 = другий бар'єрний шар, CS = верхній захисний шар; ZSO5 = змішаний оксид циL* = 34,4; а* = +0,3; b* = -11,6; d = 470,6 нм; нку та олова, отриманий катодним розпиленням в чистота = 21,4%. окисній атмосфері з металевої мішені сплаву ZnSn Покрите засклення з багатошаровим покритз 52% Zn і 48% Sn; ZSO9 = змішаний оксид цинку тям, нанесеним на лист скла, потім піддають опета олова, отриманий катодним розпиленням в окирації термічного загартовування, у процесі якого сній атмосфері з металевої мішені сплаву ZnSn з його витримують при температурі 690°С протягом 90% Zn і 10% Sn; LRV*, aRV*, bRV* являють собою 8 хвилин і потім швидко охолоджують струменями значення 1976 CIELAB для відтінку у відбитому холодного повітря. світлі на стороні скла; d(RV) і p(RV) являють собою Після цієї обробки покрите та загартоване засклення має такі властивості: домінуючу довжину хвилі та чистоту відтінку у відLT = 79,7%; LR = 8,1%; SF = 47,9%; ε (коефіцібитому світлі на стороні скла). Листи скла із прикєнт випромінювання) = 0,022; ладів з 3 до 5 мають товщину 4 мм, а лист із прикладу 6 має товщину 6 мм. 21 94700 22 Таблиця 1 D1 (нм) ZSO5 ZSO9 (22) (9) ZSO5 ZSO9 (22) (9) ZSO5 ZSO9 (27) (9) ZSO5 ZSO9 (27) (9) Пр. 3 4 5 6 IR1 (нм) Ag (10,3) Ag (10,3) Ag (10,3) Ag (10,3) P1 (нм) NiCr Ті (1) (2,5) NiCr Ті (1) (2,5) NiCr Ті (1) (2,4) NiCr Ті (1) (2,5) D2 (нм) ZSO5 ZSO9 (70) (8,5) ZSO5 ZSO9 (72) (9) ZSO5 ZSO9 (71) (12) ZSO5 ZSO9 (71) (12) IR2 (нм) Ag (14,7) Ag (14,6) Ag (14,5) Ag (14,7) P2 (нм) NiCr Ті (1) (2,5) NiCr Ті (1) (2,7) NiCr Ті (1) (2,4) NiCr Ті (1) (2,5) D3 (нм) ZSO9 ZSO5 (8,5) (24) ZSO9 ZSO5 (11) (29) ZSO9 ZSO5 (9) (20) ZSO9 ZSO5 (9) (25) CS (нм) TiN (3,0) TiN (2,5) TiN (3,0) TiN (2,5) Оптичні та енергетичні властивості елементів засклення з покриттям на виході пристрою нанесення шару наведені в таблиці 2. Таблиця 2 Пр. LT (%) LR (%) SF (%) ε LRV* aRV* 3 4 5 6 72,0 70,1 66,3 69,8 6,5 7,0 9.0 7,9 41,6 41,5 39,7 43,2 0,030 0,025 0,030 0,030 31,5 32,5 35,5 34,3 3,1 3,6 -1,7 3,4 d(RV) (нм) 467,8 466,7 bRV* -17,5 -20,3 -14,2 -16,4 p(RV) (%) 35,4 27,6 Оптичні та енергетичні властивості елементів засклення з покриттям після проведення обробки термічного загартування, як у прикладі 1, наведені в таблиці 3. Таблиця 3 Пр. LT (%) LR (%) SF (%) ε LRV* aRV* 3 4 5 6 82,6 81,2 75,5 80,4 6,2 7,5 9,4 8,5 47,5 47,4 45,9 49,8 0,020 0,018 0,020 0,020 30,0 33,0 36,7 35,10 0,9 -0,3 -3,9 1,0 d(RV) (нм) 468,6 471,5 480,2 466,8 bRV* -7,2 -8,7 -3,9 -5,5 p(RV) (%) 14,1 17,1 10,4 9,5 Оптичні та енергетичні властивості елементів засклення з покриттям, складених у вигляді подвійного засклення у такий саме спосіб, як у прикладі 1, із прозорим листом скла 6 мм, наведені в таблиці 4. Таблиця 4 Пр. LT (%) LR (%) SF (%) S 3 4 5 6 74,2 74,1 68,2 71,8 11,7 13,0 14,0 13,7 41,9 42,2 40,2 43,7 1,8 1,8 1,7 1,6 Комп’ютерна верстка Л. Купенко U (або g) 2 Вт/(м K) 1,04 1,03 1,08 1,04 LRV* aRV* bRV* 40,8 42,8 44,2 43,8 -1,2 -1,6 -4,1 -0,8 -3,8 -5.4 -2,1 -3,2 Підписне d(RV) (нм) 475,2 475,1 483,3 474,4 Тираж 24 прим. Міністерство освіти і науки України Державний департамент інтелектуальної власності, вул. Урицького, 45, м. Київ, МСП, 03680, Україна ДП “Український інститут промислової власності”, вул. Глазунова, 1, м. Київ – 42, 01601 p(RV) (%) 7,3 9,9 6,5 5,6