Пристрій для вимірювання поверхневого потенціалу

Пристрій для вимірювання поверхневого потенціалу, що містить електронний блок, столик, 3 39395 з вимірювального блоку, виконаного у вигляді циліндра, всередині якого розміщено попередній підсилювач 1, вібратор 2, стержень еталонного електрода 3, до якого з одного боку прикріплено еталонний електрод 4, а з другого мембрану 5, втулки для регулювання відстані між зондом і зразком 6, до якої за допомогою притискного механізму 7 притискують зразок 8, що встановлюється на столику 9. У верхній частині вимірювального блоку закріплено рознім 10 для підключення електронного блоку 11, який електричне пов'язаний з ЕОМ 12, вібратором 2, попереднім підсилювачем 1, еталонним електродом 4 і екрануючим корпусом 13. Пристрій для вимірювання поверхневого потенціалу працює таким чином. При включеному електронному блоці 11 і ЕОМ 12 за допомогою притискного механізму 7 відводять столик 9 від поверхні, яка торкається втулкою для регулювання відстані між еталонним електродом і зразком 6. На столику 9 встановлюють зразок 8, який притискають до втулки для регулювання відстані між еталонним електродом і зразком 6, при цьому зазор між еталонним електродом 4 і зразком 8 постійний. Вібратор 2 приводить в поздовжній рух стрижень еталонного електрода 3, до якого з одного боку прикріплена мембрана 5, а з другого - еталонний електрод 4 електричне сполучений з попереднім підсилювачем 1 і електронним блоком 11. ЕОМ 12 реєструє величину поверхневого потенціалу. Далі столик 9 із зразком 8 віджимають від Комп’ютерна в ерстка І.Скворцов а 4 втулки для регулювання відстані між еталонним електродом і зразком 6, встановлюють другий зразок і знову повторюють ті ж дії. Попередній підсилювач розміщений у вимірювальному блоці, що дозволило зменшити погрішність вимірювань за рахунок зниження втрат на проводах, що зв'язують електричне еталонний електрод і попередній підсилювач. Застосовано притискний механізм, який дозволив встановлювати зразок при проведенні вимірювань пласкоперпендикулярно щодо еталонного електроду. Крім того, для виключення можливості пошкоджень еталонного електрода і виключення необхідності виставляння зазору при зміні зразків різної товщини еталонний електрод при наладці пристрою встановлюють на постійну відстань від поверхні зразка, що торкається поверхні втулки, яка регулює відстань між еталонним електродом і зразком. Джерела інформації: 1. Устройство для измерения распределения поверхностного потенциала: А. с. 1026088 A. SU. МКИ G 01 R 29/12 / В. Ф. Колесников, А. В. Мажулин. - 3389341/18-21; Заявл. 05.02.81; Опубл. 30.06.83, Бюл. № 24. - 3 с.: ил. 2. Булатова Р. Ф., Корниленко А. Н., Павлухин В. А., Шкалето В. И. Установка для изучения кинетики фото- и термостимулированных измерений поверхностного потенциала полупроводников // ПТЭ. - 1984. - №1. - С. 192-195. Підписне Тираж 28 прим. Міністерство осв іт и і науки України Держав ний департамент інтелектуальної в ласності, вул. Урицького, 45, м. Київ , МСП, 03680, Україна ДП “Український інститут промислов ої в ласності”, вул. Глазунова, 1, м. Київ – 42, 01601