Спосіб виготовлення оригіналів та штампів для тиражування компакт-дисків

Спосіб виготовлення оригіналів та штампів для тиражування компакт-дисків, що складається з відносно мала КІЛЬКІСТЬ КОПІЙ, ЩО можна виготови ти з використанням цього штампу (не більше 500) за рахунок низької механічної сталості фоторезисту на поверхні нікелевої підкладки, якою здійснюється тиражування компакт-дисків Задача цього винаходу полягає в підвищенні якості виготовлення штампів за рахунок збільшення розділювальної здатності процесу та збільшення КІЛЬКОСТІ відбитків, які виготовляються з викори о о 44909 станням штампу Поставлена задача вирішується таким чином, що в запропонованому способі виготовлення оригіналів та штампів для тиражування компактдисків, який базується на нанесенні на нікелеву підкладку шару світлочутливого матеріалу, з якого формується рельєфне мікрозображення, виконанні лазерним опромінюванням запису інформації, пропонується світлочутливий матеріал у вигляді плівки оксидів титану, вольфраму, молібдену, хрому або ніобію, легованих металоорганічними сполуками, одержувати розкладом металоорганічних сполук наведених елементів При лазерному опромінюванні світлочутливого шару, який складається з оксидів титану, вольфраму, молібдену, хрому або ніобію, легованого органічними домішками, формується мікрорельєфне зображення, яке має геометричні розміри, які визначаються формою лазерного променя і товщиною шару світлочутливого покриття За своєю мікроструктурою рельєфні виступи на поверхні підкладки подібні до керамічних матеріалів і мають досить високу механічну сталість Це дозволяє виконувати тиражування компакт-дисків з використанням рельєфу, який був утворений безпосередньо підчас лазерного опромінювання світлочутливого шару, який складається з нестехюметричних оксидів молібдену або вольфраму з органічними домішками Утворення мікрорельєфного зображення при лазерному записі інформації на диску-орипналі дозволяє вирішити завдання з підвищення розділювальної здатності процесу виготовлення штампу для тиражування компакт-дисків за рахунок вилучення процесу ХІМІЧНОГО травлення шару фоторезисту та скорочення часу на виготовлення штампів для тиражування компакт-дисків В процесі виготовлення штампу нікелеву підкладку завтовшки (300 ± 5) мкм розміщують у вакуумній камері і здійснюють нагрівання до 180 280°С, при цьому тиск залишкових газів у камері складає 10 3 мм рт ст До камери здійснюється подача металоорганічних сполук титану, ніобію, хрому, молібдену або вольфраму На поверхні підкладки здійснюється розклад у присутності кисню металоорганічних сполук металу з утворенням оксидів цих металів Органічні домішки, які присутні у потоці металоорганічних сполук, входять до складу плівки оксидів металів Під дією лазерного опромінювання, яке здійснює підвищення температури в зоні запису, має місце фазове перетворення в структурі оксидної плівки, під час якого має місце збільшення об'єму плівки оксиду в зоні нагріву Механічна сталість цих плівок більше сталості плівок фоторезистів після їх відпалу у 2,5 - З рази Це дозволяє збільшити КІЛЬКІСТЬ відбитків, які можуть бути зроблені за допомогою штампу, який використовує плівки оксидів титану, вольфраму, молібдену, хрому або ніобію, одержаних розкладом металоорганічних сполук ДП «Український інститут промислової власності» (Укрпатент) вул Сім'ї Хохлових, 15, м Київ, 04119, Україна (044) 456 - 20 - 90