Спосіб виготовлення дисків-оригіналів для тиражування компакт-дисків

Изобретение относится к области вычислительной техники, технологии изготовления компакт-дисков. В технологии изготовления компакт-дисков информация предварительно записывается на диск-оригинал, на котором формируется рельефное микроизображение, соответствующее записанной информации. С рельефного изображения делаются металлические копии, которые используются для штамповки компактдисков. Одной из основных задач в технологии изготовления компакт-дисков является получение рельефного изображения на поверхности диска-оригинала. Известен способ изготовления диска оригинала для тиражирования компакт-дисков [1], состоящий в том, что на поверхность стеклянной подложки наносят слой светочувствительного материала-фоторезиста. Облучают слой фоторезиста в отдельных точках, удаляют фоторезист в облученных местах, покрывают образовавшуюся структуру слоем металла. Недостатком этого способа-аналога является то, что рельефное изображение на поверхности подложки появляется только после дополнительной химической обработки. Высокое качество диска-оригинала, наличие малого количества дефектов на поверхности диска-оригинала обеспечиваются только при проведении всех операций в сверхчистых помещениях. Другим недостатком является то, что в процессе получения рельефного изображения на поверхности диска-оригинала используется процесс жидкостного травления фоторезиста, требующий сложной технологической подготовки и очистки растворителя и смывающих растворов.. Известен также способ [2], позволяющий получать рельефное изображение на поверхности подложки диска-оригинала, состоящий в том, что на поверхность подложки наносят слой светочувствительного материала - фоторезиста, облучают слой фоторезиста в отдельных точках, удаляют фоторезист в облученных местах, ионным травлением формируют рельеф в стеклянной подложке. Недостатком этого способа-прототипа является низкая технологичность изготовления, которая обусловлена тем, что рельефное микроизображение на поверхности подложки формируется только после дополнительной химической обработки. Недостатком этого способа также является то, что все операции по изготовлению диска-оригинала должны проводиться в обеспыленных помещениях с минимальным числом пылевых частиц. Применение ионного травления позволяет повысить качество диска-оригинала, уменьшить загрязнение поверхности в процессе обработки. Задача настоящего изобретения заключается в повышении технологичности изготовления дискаоригинала в процессе производства компакт-диска. Поставленная задача решена таким образом, что в предлагаемом способе изготовления дискаоригинала, основанном на нанесении на стеклянную подложку слоя, из которого формируется рельефное микроизображение, облучении модулированным лазерным излучением этого слоя, предлагается размещать слой, из которого формируется рельефное изображение, в герметичной вакуумированной ячейке, одной из стенок которой является прозрачная подложка диска-оригинала и откачивать ячейку при записи информации до давления (10-2-10-4) мм.рт.ст. Экспонирование светочувствительного слоя в герметичном вакуумированном объеме позволяет решить задачу защиты поверхности светочувствительного слоя от попадания загрязнений в процессе записи информации и перемещении заготовки диска-оригинала между операциями. Дополнительно может быть решена задача по получению рельефного микроизображения на поверхности диска-оригинала непосредственно в процессе экспонирования. Выбор в качестве материала, из которого формируется рельефное изображение на поверхности диска-оригинала, легко сублимирующего вещества и нагрев его в вакууме позволяет получать микрорельеф непосредственно в процессе записи информации без осаждения части материала на поверхности диска-оригинала. При откачке ячейки, в которой размещен светочувствительный слой, до давления (10-2-10-4) мм.рт.ст. длина свободно испаряемых частиц составляет (1,0-10,0) см и они, в основном, конденсируются на противоположной стенке ячейки. При необходимости получения рельефного микроизображения из специальных материалов, требующих дополнительной или специальной обработки для получения рельефа, в герметизированный объем, в котором расположен слой, подлежащий гравировке, могут запускаться химические реагенты в жидкой или газовой фазе. Для интенсификации процесса травления в газовой фазе с использованием высокочастотного разряда герметичная ячейка выполняется из диэлектрических материалов. В качестве материалов для изготовления микрорельефа предлагается использовать соединения и сплавы халькогенидных полупроводников системы As-S, As-Se, As-S-Se, As-Te-Ge, As-Te-Sb-Se и др., алмазоподобных полупроводников типа Cd-As2. Подложка диска-оригинала изготавливается из стекла, толщиной (1,5-3,0) мм. Выбор такой толщины обусловлен тем, что обеспечивается возможность записи информации с использованием высокоапертурных микрообьектов с числовой апертурой 0,5-0,65, а также обеспечивает целостность подложки при вакуумироврчии с деформацией поверхности не более (30-50) мкм. Данное изобретение поясняется чертежом, где изображена схема процесса получения рельефного микроизображения на поверхности диска-оригинала. На стеклянную подложку (поз.1) методом вакуумного напыления наносится пленка светочувствительного материала, из которого формируется рельефное микроизображение (поз.2). Стеклянная подложка устанавливается в ячейку таким образом, что она является одной из стенок герметичной ячейки (светочувствительный материал размещается внутри ячейки) (поз.3). Ячейка вакуумируется до давления 10-210-4 мм.рт.ст. через специальный канал (поз.4). Через прозрачную подложку производится запись информации сфокусированным лазерным излучением (поз.5). В зависимости от выбранного материала светочувствительного слоя на подложке рельефное изображение может быть сформировано как без химической обработки, так и, при необходимости, с дополнительной химической обработкой светочувствительного материала (поз.6). Сущность заявленного способа заключается в осуществлении записи информации на подложку дискаоригинала в герметичной вакуумированной ячейке через подложку диска-оригинала. Прозрачная подложка защищает светочувствительный материал, в котором формируется рельефное микроизображение, от попадания пылевых частиц и иных загрязнений в процессе записи информации. Это обеспечивает высокое качество диска-оригинала, позволяет увеличить выход годных изделий. Один из вариантов реализации предлагаемого изобретения может быть следующий. После получения невидимого изображения на поверхности диска-оригинала в результате записи информации сфокусированным лазерным излучением, обработка светочувствительного материала производится в герметичной ячейке путем подачи в нее жидких или газообразных компонентов. В процессе химической обработки герметичная ячейка исключает попадание пылевых частиц и других загрязнений на поверхность заготовки диска-оригинала, на которой формируется рельефное изображение. Чистота поверхности дискаоригинала будет определяться чистотой растворов, которые используются для травления. Промывка после химического травления и сушка поверхности с полученным рельефным микроизображением также осуществляется в герметичной ячейке, Химическое осаждение металла, например, никеля и/или серебра также осуществляется в ячейке.