Спосіб очищення поверхні металевих виробів

Спосіб очищення поверхні металевих виробів, яке ведуть за рахунок катодного розпилення під дією електричного поля між виробом, котрий служить катодом, та корпусом камери, яка служить анодом, в розрідженій газовій атмосфері, який відрізняється тим, що після герметизації в розрядній камері створюють тиск порядку 1 Па, потім розрядну камеру наповнюють аргоном до тиску 1330 Па і знов відкачують до тиску 1,33 Па, а далі очистку ведуть в атмосфері розрідженого аргону Винахід відноситься до хіміко-термічної обробки металів, зокрема - до устаткування для вакуумно-дифузійної газорозрядної модифікації поверхні металів та металевих сплавів Відомий спосіб очищення поверхні металевих виробів як початкової стадії іонного азотування, при якому розрядну камеру герметизують, створюють вакуум порядку 1мм рт ст (133Па), потім на протязі 5 15 хвилин при тискові порядку 10мм рт ст (1330 Па) продувають камеру робочим газом, далі відкачують розрядну камеру до тиску 0,2 0,4мм рт ст (25 50 Па) і ведуть процес очищення в розрідженій атмосфері робочого газу [1] Недоліком цього способу є непродуктивні витрати робочого газу, значний термін процесу очищення Поставлене завдання створення способу очищення поверхні металевих виробів, який забезпечував би зниження витрат робочого газу, скорочення терміну виконання очищення поверхні металевих виробів, вирішується за рахунок того, що після герметизації в розрядній камері створюється тиск порядку 1Па, потім розрядна камера наповнюється аргоном до тиску ІЗЗОПа і знав відкачується до тиску 1,ЗЗПа, далі очистка ведеться в атмосфері розрідженого аргону Заповнення розрядної камери аргоном до тиску ІЗЗОПа з наступним відкачуванням його забезпечує евакуацію з камери залишків повітря, а разом з ним - і кисню, який погіршує, а в деяких випадках - унеможливлює, модифікацію поверхні, наприклад, азотуванням Виключення фази продування камери газом зменшує витрати газу Оскільки маса аргону значно перевищує масу азоту як робочого газу, то активні частки аргону в процесі очищення поверхні мають значно більшу енергію, що призводить до більшої ефективності катодного розпилення, та скорочення терміну очищення на 20 30% При цьому покращується і якість обробки поверхні, оскільки бомбардування її більш важкими та енергійними частками сприяє наступним дифузійним явищам, які лежать в основі вакуумнодифузійної газорозрядної модифікації поверхні металів та металевих сплавів Таким чином, запропонований спосіб очищення поверхні металевих виробів забезпечує зниження витрат робочого газу, скорочення терміну виконання очищення поверхні металевих виробів Джерела інформації 1 Химико-термическая обработка металлов Учебное пособие для вузов Лахтин Ю М , Арзамасов Н М Металлургия, 1985 с 156 00 о о> ю 51908 ДП «Український інститут промислової власності» (Укрпатент) вул Сім'ї Хохлових, 15, м Київ, 04119, Україна ( 0 4 4 ) 4 5 6 - 2 0 - 90 ТОВ "Міжнародний науковий комітет" вул Артема, 77, м Київ, 04050, Україна (044)216-32-71