Спосіб градаційної оцінки якості мікрозварних з’єднань

Спосіб оцінки якості мікроз'єднань, що полягає в промодульованому опроміненні у вигляді растра поверхні з'єднання, шляхом якого збуджуються змінні теплові сигнали, що перетворюються в акустичні, а потім в електричні сигнали, які несуть аналогову інформацію про якість (дефекти) мікроз'єднання та перетворенні їх в цифрову форму сигналів, при цьому на основі цих сигналів формують відеозображення, за яким, в залежності від величини сигналів, оцінюють сумарну реальну якісну площу мікроз'єднання, який відрізняється тим, що попередньо задають порогово-допустимий рівень сигналу VП , та, в залежності від вимог та умов експлуатації мікроз'єднання, сумарну порогово-допустиму площу S П мікроз'єднання з цим заданим рівнем сигналу, та порівнюють її з реальною площею мікроз'єднання S Р , у всіх точках Корисна модель відноситься до галузі мікроелектронних технологій, зокрема до неруйнівних методів контролю мікрозварних з'єднань. Найбільш близьким аналогом є спосіб, що описаний у статті "Експериментальне дослідження деформацій в зразках напівпровідників з використанням способу фотоакустичної діагностики" ["Experimental Examination of Strained Semiconductor Samples Using Photoacoustic Diagnostic Method", що опублікована в матеріалах міжнародної конференції "E-MRS 1993 SPRING MEETING" (4-7 травня 1993р. м. Страсбург, Франція) авторів B.A. Tsyganok, I.A. Krivokon, A.D. Belyaev]. При цьому лазерне опромінення з джерела опромінення модулюється і після відхилення діє на поверхню зразка з мікрозварним з'єднанням, яке підлягає контролю. В об'ємі зразка збуджується теплова, потім акустична хвиля. Сигнал, після проходження через об'єм мікроз'єднання, несе в собі інформацію про якість мікроз'єднання в кожній точці растру і поступає на перетворювач енергії сигналу, який трансформує його в електричний сигнал, котрий в підсилювачі підсилюється і потім перетворюється в цифрову форму. Сигнал надхо дить до монітору. Оператор, здійснюючи візуальну якісну оцінку моніторного зображення і оцінюючи сумарну реальну якісну площу мікроз'єднання, приймає рішення відносно придатності/непридатності мікроз'єднання. Недоліком описаного способу оцінки якості мікрозварних з'єднань з використанням фотоакустичної мікроскопії є візуальна оцінка якості мікрозварних з'єднань, що базуються на суб'єктивній оцінці оператором якості мікрозварного з'єднання під час візуального аналізу зображення мікроз'єднання на екрані монітору. Окрім цього при наявності різних вимог до якості мікроз'єднання надзвичайно складно здійснити градаційну оцінку рівня сигналів на екрані монітору, а значить і градаційно оцінити якість мікрозварного з'єднання. В основу корисної моделі поставлена задача: удосконалити відомий спосіб шляхом використання двох параметрів за допомогою яких градаційно оцінюється якість мікроз'єднання, що дає можливість підвищити точність оцінки якості мікроз'єднань. За рахунок цього підвищується ефективність їх використання. Поставлена задача вирішується з використан (19) UA (11) 14501 (13) U якої реальні сигнали VP рівні або вищі від заданого порогово-допустимого рівня сигналу VP VП , і на основі порівняння площ реальної та пороговодопустимої, при умові S P S П , роблять заключення "придатне мікроз'єднання", а при умові S P S П роблять заключення "непридатне мікроз'єднання". 3 14501 4 ням такого способу оцінки якості мікроз'єднань: при цьому S Р S П то дане мікроз'єднання якісне промодульованого опромінення у вигляді растру (S П задається з блоку 8). В такому випадку з блоповерхні з'єднання, шляхом якого збуджуються ку 9 на монітор 10 дається інформація "пригодне змінні теплові сигнали, що перетворюються в акумікроз'єднання". стичні, а потім в електричні сигнали, які несуть Якщо S Р