Патенти з міткою «іонно-плазмова»

Номер патенту: 93471

Опубліковано: 10.02.2011

Автори: Гришкевич Олександр Дмитрович, Гринюк Станіслав Іванович

МПК: C23C 14/35, C23C 14/56

Мітки: іонно-плазмова, установка

Формула / Реферат:

Іонно-плазмова установка для нанесення біметалевих покриттів з періодичною шаруватою структурою, що містить вакуумну камеру з системою вакуумної відкачки, трубки для подачі газу, карусельний тримач виробів, два прямокутні магнетронні розпилювачі з системою електричного живлення, що містить струмовідводи, джерело живлення магнетронного розряду і джерело напруги зміщення з пристроєм синхронізації системи живлення, яка відрізняється тим, що...