Іонно-плазмова установка
Номер патенту: 93471
Опубліковано: 10.02.2011
Автори: Гришкевич Олександр Дмитрович, Гринюк Станіслав Іванович
Формула / Реферат
Іонно-плазмова установка для нанесення біметалевих покриттів з періодичною шаруватою структурою, що містить вакуумну камеру з системою вакуумної відкачки, трубки для подачі газу, карусельний тримач виробів, два прямокутні магнетронні розпилювачі з системою електричного живлення, що містить струмовідводи, джерело живлення магнетронного розряду і джерело напруги зміщення з пристроєм синхронізації системи живлення, яка відрізняється тим, що використано два магнетронні розпилювачі радіального типу, які змонтовано в вакуумній камері співвісно з можливістю регулювання відстані між ними, причому катоди магнетронних розпилювачів виготовлені з різних металів і мають конічну форму з зустрічною орієнтацією конусних вершин, внутрішні магнітні полюси магнетронних розпилювачів мають протилежну полярність, а аноди магнетронних розпилювачів змонтовано з боку менших основ конічних катодів, струмопідводи до анодів виконано через трубки для подачі газу, які змонтовано на осі магнетронних розпилювачів, джерело живлення магнетронного розряду системи електричного живлення підключене до магнетронних розпилювачів через додатково передбачений комутатор, а карусельний тримач виробів виконаний із можливістю виконання змінного діаметра монтажної поверхні і зворотно-поступального переміщення відносно осі обертання.
Текст
Іонно-плазмова установка для нанесення біметалевих покриттів з періодичною шаруватою структурою, що містить вакуумну камеру з системою вакуумної відкачки, трубки для подачі газу, карусельний тримач виробів, два прямокутні магнетронні розпилювачі з системою електричного живлення, що містить струмовідводи, джерело живлення магнетронного розряду і джерело напру C2 1 3 безпечує подальше підвищення продуктивності процесу при зниженні термічного навантаження на поверхню, що оброблюється. Магнетронна технологія нанесення покриттів дозволяє формувати двофазні покриття з періодичною наноструктурою, що відрізняються значною твердістю і високими декоративними якостями. На цей час розроблено зносостійкі і декоративні багатошарові біметалеві покриття з періодичною наноструктурою [4], які мають необхідні фізикомеханічні і декоративні характеристики і можуть бути використані для покращання показників призначення ряду технічних і побутових виробів. Показники якості цих покриттів перевищують аналогічні показники гальванічних покриттів з хрому і нікелю, а також одношарових покриттів з нітридів і карбідів перехідних металів. Такі покриття уявляють собою періодичну структуру шарів рівної товщини (
ДивитисяДодаткова інформація
Назва патенту англійськоюIon-plasma plant
Автори англійськоюHryshkevych Oleksandr Dmytrovych, Hryniuk Stanislav Ivanovych
Назва патенту російськоюИонно-плазменная установка
Автори російськоюГришкевич Александр Дмитриевич, Гринюк Станислав Иванович
МПК / Мітки
МПК: C23C 14/56, C23C 14/35
Мітки: іонно-плазмова, установка
Код посилання
<a href="https://ua.patents.su/5-93471-ionno-plazmova-ustanovka.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентів України">Іонно-плазмова установка</a>
Попередній патент: Гель для ремінералізації тканин зубів
Наступний патент: Спосіб функціонування пристрою активації радіомаяків при пошуку постраждалих під завалами
Випадковий патент: Елемент насадки масообмінного апарата