C23C 14/56 — пристрої, спеціально пристосовані для безперервного процесу покриття; пристосування для підтримки вакууму, наприклад вакуумні затвори

Номер патенту: 114678

Опубліковано: 10.07.2017

Автори: Волосенко Ірина Олександрівна, Чабак Юлія Геннадіївна, Єфременко Богдан Васильович, Єфременко Василь Георгійович, Федун Віктор Іванович

МПК: C23C 14/56, C23C 14/22, C23C 4/06, C23C 14/34 ...

Мітки: металевої, імпульсно-плазмової, обробки, поверхні, спосіб

Формула / Реферат:

Спосіб імпульсно-плазмової обробки металевої поверхні, що включає використання імпульсного плазмового розряду, що генерується між електродами електротермічного аксіального плазмового прискорювача, який відрізняється тим, що обробку проводять з використанням анода, виготовленого зі сплаву з температурою плавлення не вище 1400 °С, який вміщує в структурі карбідну або боридну евтектику.

Номер патенту: 110071

Опубліковано: 26.09.2016

Автори: Волосенко Ірина Олександрівна, Єфременко Василь Георгійович, Чабак Юлія Геннадіївна, Федун Віктор Іванович, Єфременко Богдан Васильович

МПК: C23C 14/48, C23C 14/56

Мітки: імпульсно-плазмової, спосіб, поверхні, металевої, обробки

Формула / Реферат:

Спосіб імпульсно-плазмової обробки металевої поверхні, який включає використання імпульсного плазмового розряду, що генерується між електродами електротермічного аксіального плазмового прискорювача, який відрізняється тим, що обробку проводять з використанням анода, виготовленого із сплаву з температурою плавлення не вище 1400 °C, який вміщує в структурі карбідну або боридну евтектику.

Номер патенту: 112300

Опубліковано: 25.08.2016

Автори: Йонемічі Томохіро, Віам Хью, Лекомт Бенуа

МПК: C23C 14/56, C23C 16/54, C03C 17/00 ...

Мітки: нанесення, покриття, поділ, модульного, пристрою

Формула / Реферат:

1. Спосіб осадження багатошарової покриваючої стопи шарів на плоску скляну підкладку, що включає осадження методом катодного розпилення під вакуумом принаймні першого шару в першій зоні осадження, яка має перший тип атмосфери, і принаймні другого шару в другій зоні осадження, яка має другий тип атмосфери, що відділений від першого типу атмосфери розділовою зоною, де плоску скляну підкладку переміщують від першої зони осадження до другої зони...

Номер патенту: 111602

Опубліковано: 25.05.2016

Автори: Ване Люк, Марнефф Дідьє, Шмітц Бруно, Зільберберг Ерік, Банажак П'єр

МПК: C23C 14/56, C23C 14/16, C23C 14/24 ...

Мітки: парах, пристрій, автоматичного, живлення, металу, промислового, генератора

Формула / Реферат:

1. Установка для безперервного вакуумного осадження металевого покриття на рухому підкладку, що містить камеру (24) вакуумного осадження, щонайменше одну головку (25, 26) для нанесення покриття струменевим осадженням пари, з'єднану з випарним тиглем (9), що містить метал покриття (11) в рідкому стані, за допомогою трубопроводу (20), що подає пару, який оснащений розподільним клапаном (19), і піч (1) для плавлення зазначеного металу, причому...

Номер патенту: 109250

Опубліковано: 10.08.2015

Автор: Ніл Джеймс В.

МПК: C23C 14/56, H01J 37/16, C23C 14/30 ...

Мітки: деталь, осадженням, пристрій, покриття, оброблювану, парової, варіанти, нанесення, фазі, спосіб

Формула / Реферат:

1. Пристрій для нанесення покриття осадженням з парової фази на оброблювану деталь, який містить першу та другу камери, перший тигель для спрямованого осадження з парової фази (DVD), що знаходиться принаймні частково у межах першої камери, для розташування першого первинного матеріалу, осаджуваного на оброблювану деталь, та другий тигель для DVD, що знаходиться принаймні частково у межах другої камери, для розташування другого первинного...

Номер патенту: 108355

Опубліковано: 27.04.2015

Автори: Річард С. Маллін, Гуляєв Ігор В., Білоусов Ігор В., Панков Олег Г.

МПК: B65H 57/12, C23C 14/24, B65H 57/26 ...

Мітки: пневматичний, дроту, затвор, подачі

Формула / Реферат:

1. Система пневматичного затвора для проходження дроту вздовж його шляху від джерела дроту в першій області високого тиску до місця призначення в другій області низького тиску, що включає:    камеру пневматичного затвора;    перший дротопровід, який має внутрішню частину, розташовану для проходження дроту вздовж його шляху;    другий дротопровід, який має внутрішню частину, розташовану для проходження дроту від камери...

Номер патенту: 106346

Опубліковано: 26.08.2014

Автори: Латур Роберт Ф., Ніл Джеймс В.

МПК: C23C 14/02, C23C 14/08, C23C 14/56, C23C 28/00 ...

Мітки: способом, виготовлена, варіанти, захисним, деталь, деталі, спосіб, цим, покриттям, виготовлення

Формула / Реферат:

1. Спосіб виготовлення деталі з захисним покриттям, при якому здійснюють:нагрівання деталі за допомогою графітових нагрівальних елементів в атмосфері, що є вільною від кисню, до температури окиснення у межах заздалегідь визначеного температурного діапазону, при цьому деталь містить субстрат та зв'язувальне покриття, нанесене на субстрат,встановлення парціального тиску кисню в атмосфері після нагрівання до температури...

Номер патенту: 104747

Опубліковано: 11.03.2014

Автори: Зільберберг Ерік, Монуайе Максім, Ване Люк, Шмітц Бруно

МПК: C23C 14/16, C23C 14/24, C23C 14/56 ...

Мітки: сплаву, покриття, промисловий, металеву, випарник, нанесення, смугу, використання

Формула / Реферат:

1. Установка для вакуумного осадження покриття зі сплаву металів на підкладку (7) у вигляді металевої смуги, оснащена випарником-змішувачем, яка відрізняється тим що зазначена установка включає дві вакуумні камери з тиглями, в яких розташовані розплави двох металів, кожна з яких містить вакуумну трубу, сполучену з ежектором (3) для подавання пари кожного з двох металів через нього для утворення з цієї пари покриття на підкладці (7), причому...

Номер патенту: 101607

Опубліковано: 25.04.2013

Автори: Шале Даніель, Спонем Флоран, Жак Даніель

МПК: C23C 14/24, C23C 14/56

Мітки: способу, нанесення, установка, покриття, металу, здійснення, пристрій, установки, основу, спосіб, подачі, цієї

Формула / Реферат:

1. Спосіб нанесення покриття щонайменше на одну сторону основи, яку переміщають, шляхом вакуумного напилення шару металу або металічного сплаву, який сублімується, відповідно до якого вказаний метал або металічний сплав розміщують напроти вказаної сторони основи у вигляді щонайменше двох злитків, які знаходяться в контакті один з одним, при цьому під час нанесення покриття поверхню вказаних злитків, обернену до вказаної сторони основи,...

Номер патенту: 99280

Опубліковано: 10.08.2012

Автори: Шоке Патрік, Шалє Даніель, Сільберберґ Ерік, Шміц Бруно

МПК: C23C 14/56, C23C 14/24, C23C 14/16 ...

Мітки: вакуумного, спосіб, осадження, злиток, покриття, основу, цинку, пристрій, нанесення, основі

Формула / Реферат:

1. Спосіб нанесення покриття на основу (S), в якому шар металевого сплаву, що містить принаймні два металеві елементи, безперервно осаджують на вказану основу (S) за допомогою пристрою вакуумного осадження (1, 11), який містить пристрій (7, 17) для нанесення покриттів струменем пари, що розпилюють на основу (S) зі швидкістю звуку, причому пара складається з вказаних принаймні двох металевих елементів при заданому і постійному відносному...

Номер патенту: 98909

Опубліковано: 25.06.2012

Автори: Свавільний Микола Євгенович, Хомінич Анастасія Іванівна, Панарін Валентин Євгенович

МПК: B82B 3/00, B01J 3/03, B01J 19/08 ...

Мітки: вуглецевих, наноструктур, синтезу, пристрій, вакуумного

Формула / Реферат:

Пристрій для вакуумного синтезу вуглецевих наноструктур, який містить джерело вуглецевмісної плазми, плазмовід у вигляді вакуумної труби, що під'єднана до джерела плазми, магнітний сепаратор потоку плазми, який складається з котушок, що розміщені повздовж плазмоводу з забезпеченням можливості повороту потоку плазми на 90°, підкладку, закріплену на підігрівному столику, який встановлений на виході плазмоводу перпендикулярно потоку плазми і...

Номер патенту: 94675

Опубліковано: 25.05.2011

Автори: Марнеф Дідьє, Ване Люк, Зільберберг Ерік, Банашак П'єр

МПК: C23C 14/24, C23C 14/16, C23C 14/56 ...

Мітки: металеву, покриття, сплаву, нанесення, підкладку, промисловий, парогенератор

Формула / Реферат:

1. Парогенератор для нанесення металевого покриття на підкладку (7), переважно сталеву стрічку, що містить вакуумну камеру (6) у вигляді порожнини, забезпечену засобами для одержання в ній розрідження щодо зовнішнього середовища і засобами, що забезпечують вхід і вихід підкладки (7), з одночасним забезпеченням її герметичності щодо зовнішнього середовища, причому у вказану порожнину поміщена головка для осадження пари, обумовлена далі як...

Номер патенту: 93833

Опубліковано: 10.03.2011

Автор: Гришкевич Олександр Дмитрович

МПК: C23C 14/56, C23C 14/35

Мітки: типу, гібридного, іонно-плазмовий, пристрій

Формула / Реферат:

Іонно-плазмовий пристрій для нанесення біметалевого покриття на внутрішню поверхню феромагнітної труби, який складається з торцевого вакуумно-дугового випарювача і планарного магнетронного розпилювача з відповідними струмовідводами, газовими трубками, системами електричного живлення, керування і охолодження, який відрізняється тим, що застосовано магнетронний розпилювач радіального типу з конічним катодом, що вершиною обернений до...

Номер патенту: 57072

Опубліковано: 10.02.2011

Автори: Бандура Андрій Миколайович, Скобло Тамара Семенівна, Бирка Олег Володимирович, Гаркуша Ігор Євгенійович

МПК: C23C 14/56, C23C 8/24

Мітки: вуглецевої, інструмента, спосіб, вакуумно-плазмовий, сталі, зміцнення, різального

Формула / Реферат:

1. Вакуумно-плазмовий спосіб зміцнення різального інструмента з вуглецевої сталі, що включає азотування приповерхневого шару різального інструмента при дії на нього азотної плазми, який відрізняється тим, що різальний інструмент обробляють короткими плазмовими імпульсами для забезпечення швидкого розплавлення і наступного надшвид-кого (~ 10-6 с) охолодження поверхневого шару товщиною 20-100 мкм.2. Спосіб за п. 1, який відрізняється...

Номер патенту: 93471

Опубліковано: 10.02.2011

Автори: Гринюк Станіслав Іванович, Гришкевич Олександр Дмитрович

МПК: C23C 14/35, C23C 14/56

Мітки: іонно-плазмова, установка

Формула / Реферат:

Іонно-плазмова установка для нанесення біметалевих покриттів з періодичною шаруватою структурою, що містить вакуумну камеру з системою вакуумної відкачки, трубки для подачі газу, карусельний тримач виробів, два прямокутні магнетронні розпилювачі з системою електричного живлення, що містить струмовідводи, джерело живлення магнетронного розряду і джерело напруги зміщення з пристроєм синхронізації системи живлення, яка відрізняється тим, що...

Номер патенту: 90400

Опубліковано: 26.04.2010

Автори: Кречмер Маттіас, Золь Ральф-Хартмут, Грамер Андреас, де Кок Петер, Беренс Хольгер, Кюммель Лутц

МПК: C23C 14/56, B01J 3/03, B01J 3/00 ...

Мітки: штаби, шлюз

Формула / Реферат:

1. Шлюз (1) для штаби для герметизації першої камери (2) відносно другої камери (3), причому штаба (4), зокрема металева штаба, виконана з можливістю проходження через обидві камери (2, 3), при цьому для герметизації камер (2, 3) передбачений щонайменше один ущільнювальний засіб (5), який відрізняється тим, що ущільнювальний засіб (5) містить щонайменше дві рухомі по відношенню одна до одної заслінки (6, 7, 8, 9), які мають щонайменше одну...

Номер патенту: 87916

Опубліковано: 25.08.2009

Автори: Баптісте Лоран Крістоф Бернар, Глеіджм Герардус, Шаде ван Веструм Джоханнес Альфонсус Францискус Марія

МПК: C23C 14/24, C23C 14/26, C23C 14/22 ...

Мітки: покриття, пристрій, спосіб, нанесення

Формула / Реферат:

1. Пристрій для нанесення покриття на підкладку з використанням фізичного осадження з парової фази, який містить вакуумну камеру, котушку, розміщену у вакуумній камері та призначену для підтримування певної кількості провідного матеріалу у стані левітації і для нагрівання й випарювання цього матеріалу за допомогою змінного електричного струму у котушці, та розміщені у котушці засоби для ізоляції котушки від матеріалу у стані левітації, який...

Номер патенту: 87880

Опубліковано: 25.08.2009

Автори: Стрельницький Володимир Євгенійович, Аксьонов Іван Іванович, Аксьонов Дмитро Сергійович, Васильєв Володимир Васильович

МПК: H01J 37/08, C23C 14/56, C23C 14/00, C23C 14/35 ...

Мітки: вакуумно-дугове, джерело, плазми

Формула / Реферат:

1. Вакуумно-дугове джерело плазми, що включає еродуючий катод, анод, охоплений електромагнітною фокусуючою котушкою, прямолінійний плазмовід, охоплений зовнішньою електромагнітною транспортуючою котушкою, всередині якого розташована внутрішня електромагнітна відхиляюча котушка з осьовим каналом і підключенням її до джерела електроструму зустрічно до підключення транспортуючої котушки, яке відрізняється тим, що осьовий канал внутрішньої...

Номер патенту: 78487

Опубліковано: 10.04.2007

Автори: Мовчан Борис Олексійович, Спітсберг Ірен, Дароліа Рамжопал

МПК: C23C 14/08, C23C 14/30, C23C 14/28 ...

Мітки: здійснення, спосіб, нанесення, керамічного, покриття, пристрій

Формула / Реферат:

1. Спосіб нанесення керамічного покриття (32) на поверхню деталі (30), який включає етапи:- створення джерела-випарника (10), що містить групу різних оксидних сполук, причому принаймні одна із них має тиск пари вищий, ніж у решти оксидних сполук;- закріплення деталі (30) поблизу джерела-випарника (10);- спрямування високоенергетичного променя на джерело-випарник (10) для розплавлення оксидних сполук джерела-випарника (10)...

Номер патенту: 73725

Опубліковано: 15.09.2005

Автори: Еванс Джон Дуглас, старший, Брюс Роберт Вілліам, Марікоккі Антоніо Френк

МПК: H01J 37/30, C23C 14/30, C23C 14/24, C23C 14/56 ...

Мітки: парової, нанесення, конденсацією, пристрій, електронно-променевий, деталь, фазі, покриття

Формула / Реферат:

 Електронно-променевий пристрій (10) для нанесення покриття на деталь конденсацією із парової фази, який включає: покривну камеру (12), що містить покривний матеріал та функціонує в умовах підвищеної температури та субатмосферного тиску; електронно-променеву пушку (30), що проектує електронний промінь на покривний матеріал (26), розташований у покривній камері (12), розплавлюючи покривний матеріал (26) та випаровуючи його при цьому; засоби...

Номер патенту: 73290

Опубліковано: 15.07.2005

Автори: Еванс Джон Дуглас, старший, Еберхардт Гельмут, Рік Альфред, Рейт Вольфганг Ерхардт, Баер Мартін, Марікоккі Антоніо Френк, Брюс Роберт Вілліам

МПК: C23C 14/46, C22B 9/22, C23C 14/56 ...

Мітки: конденсації, фазі, варіанти, покриття, парової, шляхом, нанесення, пристрій, електронно-променевий

Формула / Реферат:

1. Електронно-променевий пристрій  (10) для нанесення покриття конденсацією із парової фази, який включає:покривну камеру (12),  яка виконана з можливістю функціонування  в умовах підвищеної температури  та субатмосферного тиску;конденсаційну бленду (52), що визначає ділянку покриття в покривній камері (12); електронно-променеву пушку (30) для проектування електронного променя (28) на ділянку покриття;апертуру (68) в...

Номер патенту: 71922

Опубліковано: 17.01.2005

Автори: Марікоккі Антоніо Френк, Вортмен Девід Джон, Рігні Девід Вінсент, Еванс Джон Дуглас, старший, Брюс Роберт Вілліам, Вігв'є Рудольфо, Віллен Вілліам Сет

МПК: C23C 14/56, C23C 14/30

Мітки: матеріалу, магазин, фазі, електронно-променевий, покривного, парової, містить, нанесення, пристрій, конденсацією, злитками, покриття

Формула / Реферат:

1. Електронно-променевий пристрій (10) для нанесення покриття конденсацією із парової фази, який включає: покривну камеру (12), що містить покривний матеріал (26), причому покривна камера виконана з можливістю функціонування в умовах підвищеної температури та субатмосферного тиску, електронно-променеву гармату (30) для проеціювання електронних променів (28) на покривний матеріал (26), розташований в покривній камері (12), причому функція...

Номер патенту: 71573

Опубліковано: 15.12.2004

Автори: Марікоккі Антоніо Френк, Еванс Джон Дуглас, старший, Брюс Роберт Вілліам

МПК: C23C 14/56, C23C 14/24, C23C 14/30 ...

Мітки: нанесення, електронно-променевий, пристрій, фазі, покриття, конденсацією, парової

Формула / Реферат:

1. Електронно-променевий пристрій (10) для нанесення покриття на вироби (20) конденсацією із парової фази, який включає: покривну камеру (12), що містить покривний матеріал (26), причому покривна камера функціонує в умовах підвищеної температури та субатмосферного тиску, електронно-променеву пушку (30) для проеціювання електронних променів (28) на покривний матеріал (26), розташований в покривній камері (12), причому функція...

Номер патенту: 71572

Опубліковано: 15.12.2004

Автори: Вортмен Девід Джон, Марікоккі Антоніо Френк, Віллен Вілліам Сез, Брюс Роберт Вілліам, Рігні Девід Вінсент, Еванс Джон Дуглас, старший, Вігв'є Рудольфо

МПК: C23C 14/30, C23C 14/56, C23C 14/24 ...

Мітки: нанесення, вироби, фазі, конденсацією, пристрій, парової, електронно-променевий, покриття

Формула / Реферат:

1. Електронно-променевий пристрій (10) для нанесення покриття на вироби (20) конденсацією із парової фази, який включає: покривну камеру (12), що містить покривний матеріал (26), причому покривна камера (12) функціонує в умовах підвищеної температури та субатмосферного тиску, електронно-променеву пушку (30) для проектування електронних променів (28) на покривний матеріал (26), розташований в покривній камері (12), тигель (56), який підтримує...

Номер патенту: 70336

Опубліковано: 15.10.2004

Автори: Діллон Гарольд Філліпс ІІ, Марікоккі Антоніо Френк, Еванс Джон Дуглас, старший, Бетшер Кейт Хамфріс, Боулін Вілліам Аллен, Вортмен Девід Джон, Брюс Роберт Вілліам

МПК: C23C 14/30, C23C 14/56

Мітки: конденсацією, варіанти, парової, фазі, покриття, електронно-променевий, пристрій, нанесення

Формула / Реферат:

1. Електронно-променевий пристрій (10) для нанесення покриття конденсацією із парової фази, який включає: покривну камеру (12) , що функціонує в умовах підвищеної температури та субатмосферного тиску; засоби (22) для підтримки виробу (20) в покривній камері (12); камеру попереднього нагрівання (14), розташовану суміжно та на одній лінії із покривною камерою (12), для попереднього нагрівання виробів (20), підтримуваних в камері попереднього...

Номер патенту: 51910

Опубліковано: 16.12.2002

Автор: Пастух Ігор Маркович

МПК: C23C 14/56, C23C 8/24, H02M 7/12 ...

Мітки: система, пульсуючим, розрядної, камери, живлення, струмом

Формула / Реферат:

Система живлення розрядної камери пульсуючим струмом, яка містить регульоване джерело струму, випрямляч, блок ідентифікації переходу тліючого розряду в дуговий, яка  відрізняється тим, що додатково включає генератор керуючих сигналів, частота яких встановлюється такою, щоб період був меншим часу переходу тліючого розряду в дуговий.

Номер патенту: 51909

Опубліковано: 16.12.2002

Автори: Лотоцька Ірина Анатолієвна, Пастух Ігор Маркович, Давидов Анатолій Михайлович, Здибель Олександр Станіславович

МПК: H02M 7/12, C23C 14/56, C23C 8/24 ...

Мітки: блок, металів, живлення, поверхні, модифікації, розрядної, камери

Формула / Реферат:

Блок живлення розрядної камери для модифікації поверхні металів, який містить тиристорний регулятор напруги, трансформатор, випрямляч, баластний реостат, датчики струму та напруги, блок автоматичного відключення, який відрізняється тим, що додатково включає ємнісний накопичувач енергії, який підключено паралельно розрядній камері.

Номер патенту: 51906

Опубліковано: 16.12.2002

Автор: Пастух Ігор Маркович

МПК: C23C 14/56, C23C 8/24

Мітки: газорозрядного, вакуумно-дифузійного, спосіб, азотування

Формула / Реферат:

Спосіб вакуумно-дифузійного газорозрядного азотування, яке проводять у вакуумі і тліючому розряді, що виникає між анодом, встановленим в камері або є самою камерою, наповненою азотуючим газом, і катодом, розташованим в камері та електрично ізольованим від неї, який відрізняється тим, що остання фаза обробки тліючим розрядом протягом 5...30 хвилин, в залежності від виду та попередньої обробки матеріалу деталей і потрібного результату,...

Номер патенту: 51904

Опубліковано: 16.12.2002

Автор: Пастух Ігор Маркович

МПК: C23C 8/24, C23C 14/56

Мітки: вакуумно-дифузійної, установка, газорозрядної, металів, модифікації, багатопозиційна

Формула / Реферат:

Багатопозиційна установка для вакуумно-дифузійної газорозрядної модифікації металів, яка містить джерело живлення, вакуумну та газову системи, яка відрізняється тим, що додатково містить позиції з дном камери, пристроєм для закріплення оброблюваних деталей та один корпус камери ковпакового типу, який переставляють з позиції на позицію засобами механізації вантажопідйомних робіт.

Номер патенту: 48147

Опубліковано: 15.08.2002

Автори: Ларсен Тед, Пасс Томас, Вудард Ф. Юджін

МПК: B32B 15/08, C23C 14/02, B32B 27/36 ...

Мітки: виготовлення, відбивним, пластмасова, плівка, плівки, варіанти, відбивної, спосіб, двобічним, багатошарової, покриттям

Формула / Реферат:

1. Способ изготовления отражающей многослойной пленки, выполненной из пленки из пластмассы со скользящей и нескользящей сторонами, которые покрыты металлосодержащим отражающим слоем, включающий следующие стадии:а) предварительную обработку нескользящей стороны пленки тлеющим разрядом;б) осаждение методом распыления на предварительно обработанную тлеющим разрядом нескользящую сторону пленки отражающего слоя ив) осаждение...

Номер патенту: 32840

Опубліковано: 15.02.2001

Автори: Тімашов Віктор Олександрович, Яковчук Костянтин Ювеналійович

МПК: C23C 14/56

Мітки: виріб, конденсаційних, пристрій, оброблюваній, нанесення, покриттів

Формула / Реферат:

1. Пристрій для нанесення конденсаційних покриттів на оброблюваний виріб, який містить вал, пов'язаний з приводною системою з можливістю обертання навколо своєї осі, не менше як один несучий засіб, жорстко пов'язаний з вказаним валом, і не менше як один засіб розміщення оброблюваного виробу під кутом до осі вала, який відрізняється тим, що вказаний несучий засіб виконано у вигляді плити, розташованої під прямим кутом до осі вала, а вказаний...

Номер патенту: 22650

Опубліковано: 17.03.1998

Автори: Каплун Віталій Григорович, Пастух Ігор Маркович

МПК: C23C 14/56

Мітки: азотування, іонного, металів, азотоактивних, спосіб

Формула / Реферат:

1. Способ ионного азотирования азотоактивных металлов, которое проводят в газовой среде, состоящей из диффундирующего и инертного компонентов, при пониженном давлении и наличии электрического поля между корпусом камеры, выполняющим роль анода, или специальным анодом и обрабатываемыми изделиями, служащими катодом, отличающийся тем, что ионное азотирование ведется в газовой среде, которая состоит из азота и аргона в процентном соотношении по...

Номер патенту: 4611

Опубліковано: 28.12.1994

Автори: Целуйко Олександр Федорович, Середа Микола Дмитрович, Бізюков Олександр Анатольович, Юнаков Микола Миколайович

МПК: C23C 14/56

Мітки: покриттів, спосіб, іонно-променевого, нанесення

Формула / Реферат:

Способ ионно-лучевого нанесения покрытий, включающий распыление мишени из наносимого материала ионным пучком в вакуумной камере и осаждение продуктов распыления на подложку, отличающийся тем, что перед распылением мишени, между мишенью и подложкой размещают заземленный электрод-токоприемник и создают стационарное магнитное поле, силовые линии которого параллельны поверхности мишени и пересекают поверхность электрода-токоприемника, а величину...