Патенти з міткою «хлоровуглецевій»
Спосіб плазмового травлення в хлоровуглецевій плазмі
Номер патенту: 79431
Опубліковано: 25.04.2013
Автори: КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Кравченко Сергій Юрійович
МПК: H01L 21/306
Мітки: спосіб, хлоровуглецевій, плазмового, травлення, плазми
Формула / Реферат:
Спосіб плазмового травлення в хлоровуглецевій плазмі, при якому травлення проводять у плазмі, яку одержують високочастотним електромагнітним полем в реакційній камері при пониженому тиску газу та суміші основного газу-реагенту, за який використовують тетрахлорид вуглецю, та інертного газу-носія, наприклад, аргону, за рахунок взаємодії з поверхнею продуктів розкладання молекули основного газу-реагенту тетрахлориду вуглецю, а контроль початку...