КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ
Спосіб вимірювання температури газу в нерівноважній плазмі
Номер патенту: 109081
Опубліковано: 10.08.2016
Автори: КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Слотвійчук Сергій Анатолійович
МПК: G01K 7/40
Мітки: плазми, температури, газу, нерівноважній, спосіб, вимірювання
Формула / Реферат:
Спосіб вимірювання температури газу в нерівноважній плазмі, в якому мідь-константанову термопару попередньо розміщують в кварцовому капілярі, який запаюють на кінці, який відрізняється тим, що напругу на зовнішніх її виводах, за допомогою мікроконтролера, перетворюють в цифровий інформаційний сигнал, а температуру газу в нерівноважній плазмі вимірюють за зміною цифрового інформаційного сигналу.
Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення мікроструктур в хлорвуглецевій плазмі
Номер патенту: 95442
Опубліковано: 25.12.2014
Автори: Коломієць Віталій Ігорович, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ
МПК: H01L 21/306
Мітки: моменту, мікроструктур, процесу, плазми, спосіб, травлення, визначення, закінчення, хлорвуглецевій, плазмохімічного
Формула / Реферат:
Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення мікроструктур в хлорвуглецевій плазмі, при якому власне оптичне випромінювання плазми розділяють за допомогою оптичних вузькосмугових фільтрів на інформативне і фонове, за допомогою оптичних частотних перетворювачів перетворюють в електричні частотні сигнали, частота яких залежить від інтенсивності випромінювання, а самі частотні сигнали порівнюють між собою і за...
Пристрій для контролю витрат рідини в трубопроводі
Номер патенту: 88155
Опубліковано: 11.03.2014
Автори: Яремішена Наталія Андріївна, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Осадчук Олександр Володимирович, Осадчук Володимир Степанович
МПК: G01F 1/66
Мітки: рідини, трубопроводі, витрат, пристрій, контролю
Формула / Реферат:
Пристрій для контролю витрат рідини в трубопроводі, що складається з дротового нагрівача, першого термоперетворювача, перший вивід якого з'єднаний з другим виводом першого резистора, а другий вивід - з першим виводом другого термоперетворювача, причому другий вивід другого термоперетворювача з'єднаний з другим виводом другого резистора, а перший вивід другого резистора з'єднаний з другим виводом третього резистора, перший та другий виводи...
Пристрій для контролю витрат рідини в трубопроводі
Номер патенту: 84425
Опубліковано: 25.10.2013
Автори: КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Яремішена Наталія Андріївна, Осадчук Володимир Степанович
МПК: G01F 1/00
Мітки: контролю, трубопроводі, рідини, витрат, пристрій
Формула / Реферат:
Пристрій для контролю витрат рідини в трубопроводі, що складається з дротового нагрівача, першого термоперетворювача, перший вивід якого з'єднаний з другим виводом першого резистора, а другий вивід - з першим виводом другого термоперетворювача, причому другий вивід другого термоперетворювача з'єднаний з другим виводом другого резистора, а перший вивід другого резистора з'єднаний з другим виводом третього резистора, перший та другий виводи...
Спосіб плазмового травлення в хлоровуглецевій плазмі
Номер патенту: 79431
Опубліковано: 25.04.2013
Автори: Кравченко Сергій Юрійович, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ
МПК: H01L 21/306
Мітки: плазми, травлення, хлоровуглецевій, плазмового, спосіб
Формула / Реферат:
Спосіб плазмового травлення в хлоровуглецевій плазмі, при якому травлення проводять у плазмі, яку одержують високочастотним електромагнітним полем в реакційній камері при пониженому тиску газу та суміші основного газу-реагенту, за який використовують тетрахлорид вуглецю, та інертного газу-носія, наприклад, аргону, за рахунок взаємодії з поверхнею продуктів розкладання молекули основного газу-реагенту тетрахлориду вуглецю, а контроль початку...
Оптичний датчик диму
Номер патенту: 76633
Опубліковано: 10.01.2013
Автори: Косаковський Іван Анатолійович, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ
МПК: G08B 17/10
Формула / Реферат:
Оптичний датчик диму, що містить вимірювальну камеру, що має кришку, дно з отворами для проникнення диму і замкнуте бокове огородження, всередині вимірювальної камери встановлені та поміщені в утримувачах джерело оптичного випромінювання та фотоприймач, розташовані під кутом один до одного таким чином, що оптична вісь джерела випромінювання знаходиться поза полем зору фотоприймача, вимірювальна камера також містить периферійні, відображаючі...
Пристрій для визначення переміщення
Номер патенту: 76460
Опубліковано: 10.01.2013
Автори: КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Радчук Альона Сергіївна, Осадчук Володимир Степанович, Осадчук Олександр Володимирович
МПК: G01B 11/00, G01C 22/00
Мітки: пристрій, визначення, переміщення
Формула / Реферат:
Пристрій для визначення відстаней переміщення, що містить вимірювальний об'єкт, джерело світла, передавальний і приймальний волоконно-оптичний джгути, дві вихідні клеми, загальну шину, частотний фотоперетворювач, який містить джерело постійної напруги, резистор, ємність та пасивну індуктивність, причому джерело постійної напруги утворює загальну шину, до якої підключена друга вихідна клема пристрою, який відрізняється тим, що до складу...
Пристрій для визначення переміщення
Номер патенту: 76418
Опубліковано: 10.01.2013
Автори: Осадчук Олександр Володимирович, Радчук Альона Сергіївна, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Осадчук Володимир Степанович
МПК: G01B 11/00, G01C 22/00
Мітки: визначення, пристрій, переміщення
Формула / Реферат:
Пристрій для визначення переміщення, який містить вимірювальний об'єкт, джерело світла, передавальний і приймальний волоконно-оптичний джгути, частотний фотоперетворювач, який містить джерело живлення, резистор, ємність, який відрізняється тим, що до складу частотного фотоперетворювача додатково введено фотоприймальний резистор, перший, другий та третій біполярні транзистори, другий, третій, четвертий та п'ятий резистори, причому перший...
Пристрій візуалізації заднього виду на транспорті
Номер патенту: 74230
Опубліковано: 25.10.2012
Автори: Бойцун Олександр Миколайович, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Ткачук Дмитро Олегович
МПК: H04N 7/18
Мітки: заднього, пристрій, візуалізації, виду, транспорті
Формула / Реферат:
Пристрій візуалізації заднього виду на транспорті, що містить пристрій реєстрації, електронний модуль, блок інфрачервоного освітлення та блок живлення, причому вихід блока об'єкта візуалізації з'єднаний з входом пристрою реєстрації, вихід блока пристрою реєстрації з'єднаний з входом електронного модуля, другий вихід електронного модуля з'єднаний з входом блока інфрачервоного освітлення вихід блока живлення з'єднаний з входом електронного...
Пристрій для визначення закінчення процесу плазмового травлення
Номер патенту: 73081
Опубліковано: 10.09.2012
Автори: КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Кравченко Сергій Юрійович, Осадчук Володимир Степанович, Мандзюк Оксана Миколаївна
МПК: G01N 21/00
Мітки: закінчення, визначення, плазмового, травлення, пристрій, процесу
Формула / Реферат:
Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення, що містить лазер як джерело світла, конденсор, поворотне дзеркало, діафрагму та плазмовий реактор з пластинками (зразками), що підлягають обробці, і оптичним вікном для вводу і виводу оптичного випромінювання, який оптично пов'язаний з фотоперетворювачем, який містить фоторезистор, два біполярних транзистори, п'ять резисторів, дві ємності і одне джерело постійної...
Пристрій для визначення закінчення процесу плазмового травлення
Номер патенту: 72328
Опубліковано: 10.08.2012
Автори: Осадчук Володимир Степанович, Кравченко Сергій Юрійович, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Мандзюк Оксана Миколаївна
МПК: G01N 21/00
Мітки: плазмового, процесу, пристрій, травлення, закінчення, визначення
Формула / Реферат:
Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення, що містить лазер як джерело світла, конденсор, поворотне дзеркало, діафрагму та плазмовий реактор з пластинками (зразками), що підлягають обробці і оптичним вікном для вводу і виводу оптичного випромінювання, який оптично пов'язаний з фотоперетворювачем, який містить фоторезистор, три біполярних транзистора, п'ять резисторів, дві ємності і одне джерело постійної...
Спосіб для визначення відстаней переміщення
Номер патенту: 71950
Опубліковано: 25.07.2012
Автори: Радчук Альона Сергіївна, Осадчук Олександр Володимирович, Осадчук Володимир Степанович, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ
МПК: G01B 11/00
Мітки: спосіб, переміщення, відстаней, визначення
Формула / Реферат:
Спосіб для визначення відстаней переміщення, в якому оптичне випромінювання з джерела світла реєструють за допомогою фотоприймачів, який відрізняється тим, що перетворюють переміщення у частотний сигнал за допомогою використання світлових променів від поверхні, яка переміщується, частота яких залежить від інтенсивності випромінювання темних та світлих смуг від рухомої поверхні, а самі частотні сигнали порівнюють між собою, і за величиною...
Спосіб вимірювання витрат рідини в трубопроводі
Номер патенту: 71949
Опубліковано: 25.07.2012
Автори: Яремішена Наталія Андріївна, Осадчук Володимир Степанович, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ
МПК: G01F 1/66
Мітки: витрат, вимірювання, рідини, трубопроводі, спосіб
Формула / Реферат:
Спосіб вимірювання витрат рідини в трубопроводі, який включає попереднє нагрівання цієї рідини спеціальним нагрівачем і вимірювання різниці температур рідини до і після нагрівача, яка є пропорційною величині витрат даної рідини в трубопроводі, який відрізняється тим, що виміряну різницю температур перетворюють в частотний інформаційний сигнал за допомогою частотного перетворювача, який реєструють на виході схеми, а величину витрат газу...
Вольтметр середньоквадратичної напруги
Номер патенту: 71933
Опубліковано: 25.07.2012
Автори: Сокотнюк Микола Ігорович, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Шумлянський Іван Леонідович
МПК: G01R 19/00
Мітки: напруги, вольтметр, середньоквадратичної
Формула / Реферат:
Вольтметр середньоквадратичної напруги, що містить послідовно з'єднані масштабний перетворювач, перетворювач амплітудної напруги, компаратор, до входу якого підключено джерело опорної напруги та індикатор перенавантаження, лінійний перетворювач, відліковий пристрій, причому вихід масштабного перетворювача з'єднаний з високочастотним підсилювачем, який в свою чергу з'єднаний з допоміжним лінійним перетворювачем, вихід якого з'єднаний з входом...
Мікроелектронний оптичний пристрій для реєстрації процесу переміщення
Номер патенту: 71738
Опубліковано: 25.07.2012
Автори: Осадчук Володимир Степанович, Радчук Альона Сергіївна, Осадчук Олександр Володимирович, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ
МПК: G01C 22/00, G01B 11/00
Мітки: реєстрації, переміщення, оптичний, мікроелектронний, пристрій, процесу
Формула / Реферат:
Мікроелектронний оптичний пристрій для реєстрації процесу переміщення, який містить рухому поверхню, джерело світла, оптично зв'язане з фокусуючою системою, яка складається з фокусуючої лінзи та оптичного фільтра, оптично з'єднаних з двома фотоперетворювачами, крім того, містить два частотних перетворювачі, кожен з яких містить перший, другий та третій резистори, індуктивність, ємність, джерело живлення, який відрізняється тим, що до складу...
Мікроелектронний оптичний пристрій для реєстрації процесу переміщення
Номер патенту: 68897
Опубліковано: 10.04.2012
Автори: КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Радчук Альона Сергіївна, Осадчук Володимир Степанович, Осадчук Олександр Володимирович
МПК: G01B 11/00, G01C 22/00
Мітки: процесу, оптичний, переміщення, мікроелектронний, реєстрації, пристрій
Формула / Реферат:
Мікроелектронний оптичний пристрій для реєстрації процесу переміщення, який містить рухому поверхню, джерело світла, оптично зв'язане з фокусуючою системою, яка складається з фокусуючої лінзи та оптичного фільтра, оптично з'єднаних з двома фотоперетворювачами, кожен з яких містить перший, другий та третій резистори, ємність, джерело живлення, який відрізняється тим, що до складу частотного фотоперетворювача додатково введено фоторезистор,...
Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення
Номер патенту: 65017
Опубліковано: 25.11.2011
Автори: Кравченко Сергій Юрійович, Осадчук Володимир Степанович, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ
МПК: H01L 21/302
Мітки: процесу, травлення, визначення, закінчення, плазмового, пристрій, моменту
Формула / Реферат:
Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення, що містить вузькосмуговий інтерференційний фільтр, що оптично пов'язаний з фотоперетворювачем, який містить фототранзистор, біполярний транзистор, ємність, котушку індуктивності та два джерела постійної напруги, крім того частотний фотоперетворювач містить другий біполярний транзистори, перший та другий резистори, причому колектор фототранзистора з'єднаний з базою...
Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення
Номер патенту: 64926
Опубліковано: 25.11.2011
Автори: Осадчук Володимир Степанович, Кравченко Сергій Юрійович, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ
МПК: H01L 21/302
Мітки: процесу, закінчення, визначення, плазмового, пристрій, моменту, травлення
Формула / Реферат:
Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення, що містить вузькосмуговий інтерференційний фільтр, що оптично пов'язаний з фотоперетворювачем, який містить фоторезистор, біполярний транзистор, ємність, котушку індуктивності та два джерела постійної напруги, який відрізняється тим, що фотоперетворювач містить другий біполярний транзистор, перший та другий резистори, причому перший вивід фоторезистора з'єднаний із...
Мікроелектронний оптичний пристрій для реєстрації процесу переміщення
Номер патенту: 61145
Опубліковано: 11.07.2011
Автори: Радчук Альона Сергіївна, Осадчук Олександр Володимирович, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Осадчук Володимир Степанович
МПК: G01B 11/00
Мітки: реєстрації, процесу, оптичний, переміщення, мікроелектронний, пристрій
Формула / Реферат:
Мікроелектронний оптичний пристрій для реєстрації процесу переміщення, який містить рухому поверхню, джерело світла, оптично зв'язане з фокусуючою системою, яка складається з фокусуючої лінзи та оптичного фільтра, оптично з'єднаних з фотоперетворювачем, який відрізняється тим, що в пристрій введено два частотних перетворювачі, кожен з яких містить фотобіполярний транзистор, перший, другий та третій резистори, польовий транзистор,...
Пристрій для визначення закінчення процесу плазмового травлення
Номер патенту: 58789
Опубліковано: 26.04.2011
Автори: Мандзюк Оксана Миколаївна, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Кравченко Сергій Юрійович, Осадчук Володимир Степанович
МПК: G01N 21/00
Мітки: плазмового, пристрій, травлення, визначення, процесу, закінчення
Формула / Реферат:
Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення, що містить лазер як джерело світла, конденсор, поворотне дзеркало, діафрагму та плазмовий реактор з пластинками (зразками), що підлягають обробці і оптичним вікном для вводу і виводу оптичного випромінювання, який оптично пов'язаний з фотоперетворювачем, який містить фоторезистор, біполярний транзистор, ємність і джерело постійної напруги, який відрізняється тим, що...
Пристрій для вимірювання витрат газу
Номер патенту: 55925
Опубліковано: 27.12.2010
Автори: Осадчук Володимир Степанович, Стовбчата Ольга Петрівна, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ
МПК: G01F 1/66
Мітки: газу, вимірювання, витрат, пристрій
Формула / Реферат:
Пристрій для вимірювання витрати газу, шо містить вимірювальну трубу із прозорими вікнами, гелій-неоновий лазер, резонатор якого утворений першим, другим і третім дзеркалами, розміщеними у вершинах трикутника, та активним елементом, який розташований співвісно з вимірювальною трубою, четверте і п'яте дзеркала та фотоприймач, причому перше дзеркало оптично зв'язане з другим дзеркалом і через активний елемент з третім дзеркалом, друге дзеркало...
Мікроелектронний пристрій для визначення дифузійної довжини неосновних носіїв заряду в напівпровідниках
Номер патенту: 46501
Опубліковано: 25.12.2009
Автори: Осадчук Володимир Степанович, Осадчук Олександр Володимирович, Плахотнюк Максим Миколайович, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ
МПК: H01L 21/00
Мітки: носіїв, напівпровідниках, мікроелектронний, пристрій, дифузійної, визначення, неосновних, заряду, довжини
Формула / Реферат:
Мікроелектронний пристрій для визначення дифузійної довжини неосновних носіїв заряду в напівпровідниках, який містить лазерне джерело світла, розташоване над діафрагмою та оптично зв'язане з фокусуючою системою, яка складається з фокусуючих лінз, а також з джерела живлення і системи контактів, з'єднаних із зразком, та паралельно з'єднаних з опором навантаження, який відрізняється тим, що в нього введено блок обробки та індикації сигналу,...
Мікроелектронний пристрій для контролю параметрів оптично прозорих напівпровідників
Номер патенту: 43410
Опубліковано: 10.08.2009
Автори: Осадчук Володимир Степанович, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Плахотнюк Максим Миколайович, Осадчук Олександр Володимирович
МПК: H01L 21/70
Мітки: контролю, напівпровідників, параметрів, оптично, пристрій, прозорих, мікроелектронний
Формула / Реферат:
Мікроелектроний пристрій для контролю параметрів оптично прозорих напівпровідників, який містить джерело світла, оптично зв'язане з фокусуючою системою, джерело живлення і систему контактів, з'єднаних із зразком, який відрізняється тим, що в нього введено мікроелектронний частотний перетворювач, що містить дільник напруги з двох резисторів, польовий та біполярний транзистори, індуктивність, ємність, резистор і два джерела постійної напруги,...
Пристрій керування параметрами газорозрядного джерела електронів
Номер патенту: 42216
Опубліковано: 25.06.2009
Автори: Мельничук Олена Михайлівна, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ
МПК: H01J 37/00
Мітки: газорозрядного, керування, джерела, електронів, параметрами, пристрій
Формула / Реферат:
Пристрій керування параметрами газорозрядного джерела електронів, що містить джерело електронів, яке складається із корпусу, першого і другого холодних катодів, розташованих співвісно з циліндричним анодом, експандером та електродом, який служить для витягування електронного пучка, причому катоди і анод розділені ізоляторами та забезпечені водяним охолодженням, джерело високовольтного живлення, магнітна фокусуюча і відхиляюча системи...
Газоаналізатор
Номер патенту: 42215
Опубліковано: 25.06.2009
Автори: КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Дудник Дмитро Петрович
МПК: G01N 21/61
Мітки: газоаналізатор
Формула / Реферат:
Газоаналізатор, що містить оптично зв'язані джерело випромінювання, кювету у вигляді інтегруючої сфери, світлофільтр та приймач випромінювання, при цьому внутрішнє покриття кювети виконано із матеріалу, що розсіює світло, а перед приймачем випромінювання встановлено світлорозсіюючий екран, який відрізняється тим, що в нього введено оптичний частотний перетворювач, що містить фоторезистор, біполярний та польовий транзистори, індуктивність,...
Пристрій для оптичної спектроскопії матеріалів
Номер патенту: 42209
Опубліковано: 25.06.2009
Автори: Дудник Дмитро Петрович, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ
МПК: G01N 21/00
Мітки: матеріалів, спектроскопії, пристрій, оптично
Формула / Реферат:
Пристрій для оптичної спектроскопії матеріалів, що містить джерело оптичного випромінювання, монохроматор у вигляді набору світлофільтрів, кювету з розміщеним в ній досліджуваним матеріалом, фотоперетворювач, який розміщений в центрі заглушеної основи кювети світлочутливим шаром перпендикулярно і безпосередньо до потоку оптичного випромінювання і відкритій основі кювети, та реєструючий прилад, який відрізняється тим, що як фотоперетворювач...
Спосіб плазмохімічного травлення напівпровідникових пластин
Номер патенту: 41790
Опубліковано: 10.06.2009
Автори: КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Кравченко Сергій Юрійович, Каракулова Аліна Іванівна
МПК: H01L 21/02
Мітки: пластин, плазмохімічного, напівпровідникових, спосіб, травлення
Формула / Реферат:
Спосіб плазмохімічного травлення напівпровідникових пластин, який полягає у тому, що травлення проводять у плазмі, яку утворюють електричним розрядом у вакуумній камері при постійному напусканні і відкачуванні робочого газу, а контроль моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення проводять за допомогою двох електричних зондів, які вводять в зону розряду, перший з яких розташовують біля напівпровідникової пластини зі сторони...
Конденсаційний гігрометр
Номер патенту: 39596
Опубліковано: 10.03.2009
Автори: КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Савицький Антон Юрійович, Крилик Людмила Вікторівна
МПК: G01N 21/53
Мітки: конденсаційний, гігрометр
Формула / Реферат:
Конденсаційний гігрометр, який складається з вимірювальної камери з конденсаційним дзеркалом, охолоджувача, зв'язаного з конденсаційним дзеркалом через холодовід, схеми фіксації точки роси, яка складається з джерела випромінювання, фотоприймача і термочутливого елемента, причому вимірювальна камера є холодоводом і виконана у вигляді циліндра, внутрішня поверхня якого є конденсаційним дзеркалом, який відрізняється тим, що вимірювальна камера...
Генератор широкосмугового нвч-сигналу на віртуальному катоді
Номер патенту: 35965
Опубліковано: 10.10.2008
Автори: Мельничук Олена Михайлівна, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ
МПК: H01J 25/00
Мітки: віртуальному, нвч-сигналу, широкосмугового, катоді, генератор
Формула / Реферат:
Генератор широкосмугового НВЧ-сигналу на віртуальному катоді, що містить катод, не менше одного сіткового анода, розміщеного перпендикулярно напрямку руху пучка електронів з можливістю формування віртуального катода, який відрізняється тим, що в нього введено хвилевід циліндричної форми, з'єднаний з сітковим анодом та розташований співвісно з катодом, сітковим анодом і віртуальним катодом, ізолятор, розміщений навколо катода, діелектричне...
Газоаналізатор
Номер патенту: 34559
Опубліковано: 11.08.2008
Автори: Гладковська Олена Леонідівна, Савицький Антон Юрійович, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ
МПК: G01N 21/53
Мітки: газоаналізатор
Формула / Реферат:
Газоаналізатор, який складається з оптично пов'язаних джерела випромінювання, приймача випромінювання, вимірювальної кювети і світлофільтра, який відрізняється тим, що як джерело випромінювання використано джерело когерентного випромінювання, вимірювальна кювета виконана у формі паралелепіпеда, з трикутною основою, в яку додатково введено фокусуючу лінзу, направляюче дзеркало розташоване таким чином, щоб випромінювання від джерела...
Оптичний газоаналізатор
Номер патенту: 34556
Опубліковано: 11.08.2008
Автори: Савицький Антон Юрійович, Крилик Людмила Вікторівна, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ
МПК: G01N 21/01
Мітки: оптичний, газоаналізатор
Формула / Реферат:
Оптичний газоаналізатор, що складається з оптично зв'язаних джерела випромінювання, світлофільтра, кювети, яка виконана у вигляді напівеліпсоїда з внутрішнім дзеркальним покриттям, у одному фокусі якого розташовано джерело випромінювання, а в другому - приймач випромінювання, який відрізняється тим, що в нього введено у вимірювальне коло, що містить джерело постійної напруги, перший, другий, третій, четвертий і п'ятий резистори, перший,...
Пристрій для вимірювання вологості
Номер патенту: 34555
Опубліковано: 11.08.2008
Автори: Мельничук Олена Михайлівна, Крилик Людмила Вікторівна, Звягін Олександр Сергійович, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ
МПК: G01N 22/00
Мітки: вологості, вимірювання, пристрій
Формула / Реферат:
Пристрій для вимірювання вологості, що містить трубопровід, передавальну та приймальну антени, які встановлені діаметрально на зовнішній поверхні трубопроводу, частотомір, з'єднаний з приймальною антеною, який відрізняється тим, що в нього введено надвисокочастотний генератор віркаторного типу, причому передавальна та приймальна антени виконані параболічними, а надвисокочастотний генератор віркаторного типу розташований напроти передавальної...
Пристрій для вимірювання градієнтів деформації і температури
Номер патенту: 31975
Опубліковано: 25.04.2008
Автори: Романова Ірина Анатоліївна, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ
МПК: G01B 7/00
Мітки: температури, вимірювання, градієнтів, пристрій, деформації
Формула / Реферат:
Пристрій для вимірювання градієнтів деформації і температури, що містить основний тензочутливий елемент, який виконано у вигляді стержня з монокристала напівпровідника з кристалографічною орієнтацією [111] і з шаром ізоляції, якою є окислена його поверхня, додатковий тензочутливий елемент, який виконано у вигляді стержня з монокристала напівпровідника з кристалографічною орієнтацією [100], провідністю, що є протилежною до типу провідності...
Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення
Номер патенту: 31519
Опубліковано: 10.04.2008
Автори: КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Дудник Дмитро Петрович
МПК: H01L 21/302
Мітки: плазмохімічного, процесу, закінчення, спосіб, визначення, моменту, травлення
Формула / Реферат:
Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення, який включає розміщення підкладок у вакуумній камері, напуск робочого газу в процесі травлення, запалювання розряду, введення в зону розряду електричного зонда, відкачку продуктів реакції в процесі травлення, реєстрацію аналогового зондового сигналу, який відрізняється тим, що зареєстрований сигнал перетворюють в частотний, за зміною якого визначають момент закінчення...
Спосіб плазмохімічної обробки матеріалів
Номер патенту: 31602
Опубліковано: 10.04.2008
Автори: Савицький Антон Юрійович, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ
МПК: H01L 21/302
Мітки: матеріалів, плазмохімічної, обробки, спосіб
Формула / Реферат:
Спосіб плазмохімічної обробки матеріалів, який полягає у травленні напівпровідникових пластин, що проводять в циліндричному реакторі, в якому плазму ВЧ-розряду збуджують при пониженому тиску плазмоутворюючого газу шляхом створення в реакторі високочастотного електричного поля напруженістю Е, яке зумовлює появу хімічно активних частинок плазми концентрацією N, пластини розташовують у спеціальних касетах на відстані h одна від одної, який...
Спосіб вимірювання температури газу в нерівноважній плазмі
Номер патенту: 27672
Опубліковано: 12.11.2007
Автори: КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Кравченко Сергій Юрійович, Івчук Ганна Василівна
МПК: G01K 7/40
Мітки: нерівноважній, плазми, спосіб, температури, вимірювання, газу
Формула / Реферат:
Спосіб вимірювання температури газу в нерівноважній плазмі, що включає введення в плазму мідь-константанової термопари, яку попередньо розміщують в кварцовому капілярі, який запаюють на кінці, який відрізняється тим, що напругу на зовнішніх її виводах, за допомогою частотного перетворювача, перетворюють в електричний частотний сигнал, а температуру газу в нерівноважній плазмі вимірюють за зміною частоти електричного частотного сигналу.
Пристрій для вимірювання різниці температур
Номер патенту: 27665
Опубліковано: 12.11.2007
Автори: Івчук Ганна Василівна, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ
МПК: G01K 3/00
Мітки: вимірювання, різниці, температур, пристрій
Формула / Реферат:
Пристрій для вимірювання різниці температур, що складається з двох термометрів опору, двох біполярних транзисторів з струмозадавальними резисторами в колі їх емітерів, джерела живлення, стабілізатора стуму, виконаного на польовому транзисторі з струмозадавальним резистором в колі його витоку, який відрізняється тим, що в коло колекторів біполярних транзисторів увімкнено резистор, біполярний та польовий транзистори, індуктивність, ємність і...
Пристрій для вимірювання температури газу в нерівноважній плазмі
Номер патенту: 27662
Опубліковано: 12.11.2007
Автори: КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Осадчук Олександр Володимирович, Осадчук Володимир Степанович, Кравченко Сергій Юрійович
МПК: G01K 7/40
Мітки: вимірювання, нерівноважній, газу, температури, плазми, пристрій
Формула / Реферат:
Пристрій для вимірювання температури газу в нерівноважній плазмі, що містить розрядну трубку, вакуумний шліф, який з'єднано з розрядною трубкою, кварцовий капіляр з зовнішнім діаметром 0,5-1 мм, який закріплено на вакуумному шліфі і який запаяно на кінці, і мідь-константанову термопару, яку введено всередину капіляра, який відрізняється тим, що до нього введено джерело постійної напруги, перший, другий, третій, четвертий і п'ятий резистори,...
Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення
Номер патенту: 26976
Опубліковано: 10.10.2007
Автори: Осадчук Володимир Степанович, Осадчук Олександр Володимирович, Кравченко Сергій Юрійович, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ
МПК: H01L 21/302
Мітки: плазмохімічного, спосіб, травлення, процесу, закінчення, визначення, моменту
Формула / Реферат:
Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення, в якому власне оптичне випромінювання плазми розділяють за допомогою оптичних вузькосмугових фільтрів на інформативне і фонове, який відрізняється тим, що інформативне і фонове оптичне випромінювання за допомогою оптичних частотних перетворювачів перетворюють в електричні частотні сигнали, частота яких залежить від інтенсивності випромінювання, а самі частотні сигнали...
Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення
Номер патенту: 26975
Опубліковано: 10.10.2007
Автори: Кравченко Сергій Юрійович, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Осадчук Олександр Володимирович, Осадчук Володимир Степанович
МПК: H01L 21/302
Мітки: визначення, пристрій, плазмового, травлення, процесу, закінчення, моменту
Формула / Реферат:
Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення, що містить вузькосмуговий інтерференційний фільтр, який оптично зв'язаний з частотним фотоперетворювачем, який містить фотодіод, джерело постійної напруги, резистор, біполярний транзистор і ємність, який відрізняється тим, що до складу частотного фотоперетворювача додатково введено другий і третій біполярні транзистори, другу ємність, другий, третій, четвертий і п'ятий...