Кравченко Сергій Юрійович

Номер патенту: 79431

Опубліковано: 25.04.2013

Автори: Кравченко Сергій Юрійович, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ

МПК: H01L 21/306

Мітки: хлоровуглецевій, плазми, травлення, плазмового, спосіб

Формула / Реферат:

Спосіб плазмового травлення в хлоровуглецевій плазмі, при якому травлення проводять у плазмі, яку одержують високочастотним електромагнітним полем в реакційній камері при пониженому тиску газу та суміші основного газу-реагенту, за який використовують тетрахлорид вуглецю, та інертного газу-носія, наприклад, аргону, за рахунок взаємодії з поверхнею продуктів розкладання молекули основного газу-реагенту тетрахлориду вуглецю, а контроль початку...

Номер патенту: 73081

Опубліковано: 10.09.2012

Автори: Осадчук Володимир Степанович, Кравченко Сергій Юрійович, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Мандзюк Оксана Миколаївна

МПК: G01N 21/00

Мітки: травлення, плазмового, пристрій, процесу, закінчення, визначення

Формула / Реферат:

Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення, що містить лазер як джерело світла, конденсор, поворотне дзеркало, діафрагму та плазмовий реактор з пластинками (зразками), що підлягають обробці, і оптичним вікном для вводу і виводу оптичного випромінювання, який оптично пов'язаний з фотоперетворювачем, який містить фоторезистор, два біполярних транзистори, п'ять резисторів, дві ємності і одне джерело постійної...

Номер патенту: 72328

Опубліковано: 10.08.2012

Автори: Кравченко Сергій Юрійович, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Мандзюк Оксана Миколаївна, Осадчук Володимир Степанович

МПК: G01N 21/00

Мітки: визначення, пристрій, плазмового, процесу, закінчення, травлення

Формула / Реферат:

Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення, що містить лазер як джерело світла, конденсор, поворотне дзеркало, діафрагму та плазмовий реактор з пластинками (зразками), що підлягають обробці і оптичним вікном для вводу і виводу оптичного випромінювання, який оптично пов'язаний з фотоперетворювачем, який містить фоторезистор, три біполярних транзистора, п'ять резисторів, дві ємності і одне джерело постійної...

Номер патенту: 65017

Опубліковано: 25.11.2011

Автори: Осадчук Володимир Степанович, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Кравченко Сергій Юрійович

МПК: H01L 21/302

Мітки: визначення, моменту, процесу, пристрій, закінчення, травлення, плазмового

Формула / Реферат:

Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення, що містить вузькосмуговий інтерференційний фільтр, що оптично пов'язаний з фотоперетворювачем, який містить фототранзистор, біполярний транзистор, ємність, котушку індуктивності та два джерела постійної напруги, крім того частотний фотоперетворювач містить другий біполярний транзистори, перший та другий резистори, причому колектор фототранзистора з'єднаний з базою...

Номер патенту: 64926

Опубліковано: 25.11.2011

Автори: Кравченко Сергій Юрійович, Осадчук Володимир Степанович, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ

МПК: H01L 21/302

Мітки: закінчення, процесу, плазмового, пристрій, моменту, визначення, травлення

Формула / Реферат:

Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення, що містить вузькосмуговий інтерференційний фільтр, що оптично пов'язаний з фотоперетворювачем, який містить фоторезистор, біполярний транзистор, ємність, котушку індуктивності та два джерела постійної напруги, який відрізняється тим, що фотоперетворювач містить другий біполярний транзистор, перший та другий резистори, причому перший вивід фоторезистора з'єднаний із...

Номер патенту: 58789

Опубліковано: 26.04.2011

Автори: КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Мандзюк Оксана Миколаївна, Кравченко Сергій Юрійович, Осадчук Володимир Степанович

МПК: G01N 21/00

Мітки: процесу, визначення, закінчення, пристрій, плазмового, травлення

Формула / Реферат:

Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення, що містить лазер як джерело світла, конденсор, поворотне дзеркало, діафрагму та плазмовий реактор з пластинками (зразками), що підлягають обробці і оптичним вікном для вводу і виводу оптичного випромінювання, який оптично пов'язаний з фотоперетворювачем, який містить фоторезистор, біполярний транзистор, ємність і джерело постійної напруги, який відрізняється тим, що...

Номер патенту: 41790

Опубліковано: 10.06.2009

Автори: Кравченко Сергій Юрійович, Каракулова Аліна Іванівна, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ

МПК: H01L 21/02

Мітки: пластин, плазмохімічного, спосіб, напівпровідникових, травлення

Формула / Реферат:

Спосіб плазмохімічного травлення напівпровідникових пластин, який полягає у тому, що травлення проводять у плазмі, яку утворюють електричним розрядом у вакуумній камері при постійному напусканні і відкачуванні робочого газу, а контроль моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення проводять за допомогою двох електричних зондів, які вводять в зону розряду, перший з яких розташовують біля напівпровідникової пластини зі сторони...

Номер патенту: 27672

Опубліковано: 12.11.2007

Автори: Кравченко Сергій Юрійович, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Івчук Ганна Василівна

МПК: G01K 7/40

Мітки: нерівноважній, спосіб, газу, температури, плазми, вимірювання

Формула / Реферат:

Спосіб вимірювання температури газу в нерівноважній плазмі, що включає введення в плазму мідь-константанової термопари, яку попередньо розміщують в кварцовому капілярі, який запаюють на кінці, який відрізняється тим, що напругу на зовнішніх її виводах, за допомогою частотного перетворювача, перетворюють в електричний частотний сигнал, а температуру газу в нерівноважній плазмі вимірюють за зміною частоти електричного частотного сигналу.

Номер патенту: 27662

Опубліковано: 12.11.2007

Автори: Осадчук Олександр Володимирович, Кравченко Сергій Юрійович, Осадчук Володимир Степанович, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ

МПК: G01K 7/40

Мітки: пристрій, плазми, газу, температури, нерівноважній, вимірювання

Формула / Реферат:

Пристрій для вимірювання температури газу в нерівноважній плазмі, що містить розрядну трубку, вакуумний шліф, який з'єднано з розрядною трубкою, кварцовий капіляр з зовнішнім діаметром 0,5-1 мм, який закріплено на вакуумному шліфі і який запаяно на кінці, і мідь-константанову термопару, яку введено всередину капіляра, який відрізняється тим, що до нього введено джерело постійної напруги, перший, другий, третій, четвертий і п'ятий резистори,...

Номер патенту: 26976

Опубліковано: 10.10.2007

Автори: КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Кравченко Сергій Юрійович, Осадчук Олександр Володимирович, Осадчук Володимир Степанович

МПК: H01L 21/302

Мітки: травлення, спосіб, закінчення, процесу, моменту, плазмохімічного, визначення

Формула / Реферат:

Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення, в якому власне оптичне випромінювання плазми розділяють за допомогою оптичних вузькосмугових фільтрів на інформативне і фонове, який відрізняється тим, що інформативне і фонове оптичне випромінювання за допомогою оптичних частотних перетворювачів перетворюють в електричні частотні сигнали, частота яких залежить від інтенсивності випромінювання, а самі частотні сигнали...

Номер патенту: 26975

Опубліковано: 10.10.2007

Автори: Осадчук Володимир Степанович, Кравченко Сергій Юрійович, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Осадчук Олександр Володимирович

МПК: H01L 21/302

Мітки: моменту, травлення, пристрій, визначення, закінчення, плазмового, процесу

Формула / Реферат:

Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення, що містить вузькосмуговий інтерференційний фільтр, який оптично зв'язаний з частотним фотоперетворювачем, який містить фотодіод, джерело постійної напруги, резистор, біполярний транзистор і ємність, який відрізняється тим, що до складу частотного фотоперетворювача додатково введено другий і третій біполярні транзистори, другу ємність, другий, третій, четвертий і п'ятий...