Патенти з міткою «квазизамкнутого»
Дифузійна комірка квазизамкнутого об’єму
Номер патенту: 28852
Опубліковано: 16.10.2000
Автори: Кондрат Олександр Борисович, Бобонич Ерік Петрович, Фекешгазі Іштван Вінцейович, Бобонич Петро Петрович
МПК: H01L 21/326, C30B 31/00, C23C 14/28 ...
Мітки: об'єму, комірка, дифузійна, квазизамкнутого
Формула / Реферат:
Дифузійна комірка квазизамкнутого об'єму, яка складається з корпусу з отвором та засобу для закриття отвору, яка відрізняється тим, що корпус виконаний з електропровідного матеріалу у вигляді чотирьохгранника з вікном для вводу пластин та дифузанту, а засіб для закриття вікна є кришка у вигляді пластини, що виготовлена з того ж матеріалу.