Дифузійна комірка квазизамкнутого об’єму

Дифузійна комірка квазизамкнутого об'єму, яка складається з корпусу з отвором та засобу для закриття отвору, яка відрізняється тим, що корпус виконаний з електропровідного матеріалу у вигляді чотирьохгранника з вікном для вводу пластин та дифузанту, а засіб для закриття вікна є кришка у вигляді пластини, що виготовлена з того ж матеріалу. (19) (21) 97105030 (22) 14.10.1997 (24) 16.10.2000 (33) UA (46) 16.10.2000, Бюл. № 5, 2000 р. (72) Бобонич Ерік Петрович, Кондрат Олександр Борисович, Фекешгазі Іштван Вінцейович, Бобонич Петро Петрович (73) Бобонич Ерік Петрович, Кондрат Олександр Борисович, Фекешгазі Іштван Вінцейович, Бобонич Петро Петрович 28852 ±0,1)×104 еВ/К, що є більше, ніж значення (4,1± ±0,1)×104 еВ/К для нелегованих плівок. Приклад 2. Пластини товщиною 0,3 мм із кристалу SnS2 мали n-тип провідності з концентрацією носіїв заряду при 300 К порядку 1013 см -3. Пластини SnS2 та дифузант марганцю встановлювалися в дифузійну комірку квазізамкнутого об'єму. Електричним струмом провели нагрів корпусу комірки. Отримано леговані шари з вмістом марганцю більше 5×1019 см -3. При збільшенні вмісту марганцю від 4×1019 до 1020 см -3 концентрація електронів при 150 К збільшувалася більше, ніж на три порядки. Запропонована комірка квазізамкнутого об'єму проста в виготовленні. Таку комірку виготовляють, наприклад, із танталу товщиною порядка 0,10,2 мм. Для цього із куска NaCl солі або цукру виготовляють паралелепіпед та шляхом механічного обтискування танталового листа виготовляють комірку. Потім вирізають вікно та направляючі (як показано на фигурі), а також із танталового листа виготовляють пластину, якою можна закривати вікно. Після цього сіль або цукор розчиняють у воді, а комірку прогрівають електричним струмом. Джерела інформації 1. Козырь Н.Я., Горбунов Ю.И., Чернозубов Ю.С., Пономарев А.С. Общая технология. Кн. 1. - М.: Высш. шк., 1989. - С. 55. - Рис. 20а. 2. Никифорова-Денисова С.Н., Любушкин Е.Н. Термические процессы. - Кн. 5. - М.: Высш. шк., 1989. - С. 55. - Рис. 20. 3. Козырь Н.Я. и др. // Цитована література. С. 55. - Рис. 20в. 4. Никифорова-Денисова С.Н. и др. // Цитована література. - С. 55. - Рис. 21. провідного матеріалу. Корпус комірки має виступи 6 для прижиму їх до джерела струму. Робота комірки полягає в слідуючому. Через вікно 2 комірки розміщують пластини 3 та речовину-дифузант 4. Пластиною 5 закривають щільно вікно 2. Виступи 6 з'єднують з електричними вводами в вакуумній камері. З допомогою електричного струму проводять нагрівання корпусу 1 комірки до температури легування. Пари дифузанта 4 проникають на протязі деякого часу на певну глибину пластин 3. На прикладах 1 та 2 показані результати випробування дифузійної комірки квазізамкнутого об'єму. Приклад 1. Плівки Pb0,8Sn0,2 Те були одержані модифікованим методом "гарячої стінки" на сколоті в площині (III) підкладки BaF2. Концентрація носіїв та тип провідності одержаних шарів визначалися температурою джерела дифузанту. Наприклад, при значенні швидкості росту плівки 2¸5 мкм/год величина рухливості складала порядку 104 см 2/В×с при 77 К. Отримані плівки Pb0,8Sn0,2 Те р-типу провідності (вихідна концентрація носіїв струму N=5×1018 см -3) поміщалися в дифузійну комірку квазізамкнутого об'єму з наважкою Cd при Т=695 К (комірка нагрівалася електричним струмом). Для тонких плівок товщиною d>1,0 мкм концентрація носіїв для ртипу провідності змінювалася в межах (5×1018¸ ¸1017) см -3, і для n-типу провідності - в межах (1017¸1018) см -3 при 77 К. Значення ширини забороненої зони Eg при 300 К для нелегованих та легованих плівок рівні 0,205 та 0,235 еВ відповідно. Температурний коефіцієнт ширини забороненої зони для плівок, легованих Cd, рівний (4,8± Фіг. __________________________________________________________ ДП "Український інститут промислової власності" (Укрпатент) Україна, 01133, Київ-133, бульв. Лесі Українки, 26 (044) 295-81-42, 295-61-97 __________________________________________________________ Підписано до друку ________ 2002 р. Формат 60х84 1/8. Обсяг ______ обл.-вид. арк. Тираж 34 прим. Зам._______ ____________________________________________________________ УкрІНТЕІ, 03680, Київ-39 МСП, вул. Горького, 180. (044) 268-25-22 ___________________________________________________________ 2