Патенти з міткою «мультитекстури»
Спосіб одержання поверхневої мультитекстури
Номер патенту: 36642
Опубліковано: 10.11.2008
Автори: Селемонавічус Андрій Альвідасович, Єрохов Валерій Юрійович
МПК: H01L 31/05
Мітки: поверхневої, мультитекстури, спосіб, одержання
Формула / Реферат:
Спосіб одержання поверхневої мультитекстури, який полягає в тому, що пластину кремнію горизонтально поміщають у розчин ізотропного кислотного травника при кімнатній температурі, який відрізняється тим, що після промивки створену кислотну текстуру заповнюють пористим органічним кремнієм.