Селемонавічус Андрій Альвідасович
Спосіб одержання поверхневої мультитекстури
Номер патенту: 36642
Опубліковано: 10.11.2008
Автори: Єрохов Валерій Юрійович, Селемонавічус Андрій Альвідасович
МПК: H01L 31/05
Мітки: спосіб, мультитекстури, одержання, поверхневої
Формула / Реферат:
Спосіб одержання поверхневої мультитекстури, який полягає в тому, що пластину кремнію горизонтально поміщають у розчин ізотропного кислотного травника при кімнатній температурі, який відрізняється тим, що після промивки створену кислотну текстуру заповнюють пористим органічним кремнієм.