Єрохов Валерій Юрійович
Спосіб одержання поверхневої функціональної нанотекстури
Номер патенту: 66137
Опубліковано: 26.12.2011
Автори: Островський Ігор Петрович, Дружинін Анатолій Олександрович, Єрохов Валерій Юрійович, Ховерко Юрій Миколайович, Нічкало Степан Ігорович
МПК: H01L 31/05
Мітки: нанотекстури, спосіб, одержання, функціонально, поверхневої
Формула / Реферат:
Спосіб одержання поверхневої функціональної нанотекстури, при якому пластину кремнію горизонтально поміщають у розчин ізотропного кислотного травника при кімнатній температурі, після промивки створену поверхневу текстуру заповнюють пористим органічним кремнієм, яку піддають ультразвуковій обробці, який відрізняється тим, що додатково на поверхневу текстуру газотранспортною реакцією наносять кремнієві ниткоподібні нанокристали.
Спосіб одержання поверхневої функціональної нанотекстури
Номер патенту: 92962
Опубліковано: 27.12.2010
Автори: Єрохов Валерій Юрійович, Дружинін Анатолій Олександрович
МПК: H01L 31/05
Мітки: нанотекстури, функціонально, поверхневої, спосіб, одержання
Формула / Реферат:
Спосіб одержання поверхневої функціональної нанотекстури, який полягає в тому, що пластину кремнію горизонтально поміщають у розчин ізотропного кислотного травника при кімнатній температурі, після промивки створену поверхневу текстуру заповнюють пористим органічним кремнієм, який відрізняється тим, що додатково поверхневу текстуру із пористим органічним кремнієм піддають ультразвуковій обробці.
Спосіб одержання поверхневої мультитекстури
Номер патенту: 36642
Опубліковано: 10.11.2008
Автори: Єрохов Валерій Юрійович, Селемонавічус Андрій Альвідасович
МПК: H01L 31/05
Мітки: поверхневої, спосіб, одержання, мультитекстури
Формула / Реферат:
Спосіб одержання поверхневої мультитекстури, який полягає в тому, що пластину кремнію горизонтально поміщають у розчин ізотропного кислотного травника при кімнатній температурі, який відрізняється тим, що після промивки створену кислотну текстуру заповнюють пористим органічним кремнієм.
Спосіб одержання поверхневої текстури
Номер патенту: 52946
Опубліковано: 15.01.2003
Автори: Єрохов Валерій Юрійович, Милянич Андрій Остапович
МПК: G03F 7/00, H01L 31/05
Мітки: спосіб, одержання, текстури, поверхневої
Формула / Реферат:
Спосіб одержання поверхневої текстури, який полягає в тому, що пластину кремнію горизонтально поміщають у розчин ізотропного кислотного травника при кімнатній температурі, який відрізняється тим, що розчин ізотропного кислотного травника додатково містить активатор поверхні та інгібітор поверхневих реакцій травлення - органічну сполуку з функціональною амідною групою.