Патенти з міткою «оброблювану»
Пристрій для нанесення покриття осадженням з парової фази на оброблювану деталь (варіанти) та спосіб нанесення покриття осадженням з парової фази на оброблювану деталь
Номер патенту: 109250
Опубліковано: 10.08.2015
Автор: Ніл Джеймс В.
МПК: C23C 14/30, C23C 14/56, H01J 37/16 ...
Мітки: варіанти, пристрій, нанесення, оброблювану, спосіб, фазі, парової, осадженням, покриття, деталь
Формула / Реферат:
1. Пристрій для нанесення покриття осадженням з парової фази на оброблювану деталь, який містить першу та другу камери, перший тигель для спрямованого осадження з парової фази (DVD), що знаходиться принаймні частково у межах першої камери, для розташування першого первинного матеріалу, осаджуваного на оброблювану деталь, та другий тигель для DVD, що знаходиться принаймні частково у межах другої камери, для розташування другого первинного...