H01J 37/16 — балони; колби
Пристрій для нанесення покриття осадженням з парової фази на оброблювану деталь (варіанти) та спосіб нанесення покриття осадженням з парової фази на оброблювану деталь
Номер патенту: 109250
Опубліковано: 10.08.2015
Автор: Ніл Джеймс В.
МПК: H01J 37/305, C23C 14/56, H01J 37/16, C23C 14/30 ...
Мітки: покриття, осадженням, спосіб, парової, фазі, пристрій, оброблювану, деталь, нанесення, варіанти
Формула / Реферат:
1. Пристрій для нанесення покриття осадженням з парової фази на оброблювану деталь, який містить першу та другу камери, перший тигель для спрямованого осадження з парової фази (DVD), що знаходиться принаймні частково у межах першої камери, для розташування першого первинного матеріалу, осаджуваного на оброблювану деталь, та другий тигель для DVD, що знаходиться принаймні частково у межах другої камери, для розташування другого первинного...