Патенти з міткою «оптико-рефрактометричного»
Спосіб визначення оптичних параметрів тонких плівок шляхом оптико-рефрактометричного синтезу спектрів пропускання
Номер патенту: 78560
Опубліковано: 10.04.2007
Автори: Студеняк Ігор Петрович, Нагусько Олександр Тадейович
МПК: G01N 21/59, G01J 3/28, G01N 21/41 ...
Мітки: оптико-рефрактометричного, оптичних, параметрів, синтезу, спосіб, плівок, тонких, спектрів, шляхом, визначення, пропускання
Формула / Реферат:
Спосіб визначення оптичних параметрів тонких плівок шляхом оптико-рефрактометричного синтезу спектрів пропускання, який включає еліпсометричні вимірювання товщини плівки, показників заломлення та коефіцієнтів екстинкції плівки та підкладки на певній довжині хвилі, інтерференційно-спектрометричні вимірювання спектрів пропускання і передбачає використання оптико-рефрактометричного співвідношення