Нагусько Олександр Тадейович
Спосіб визначення оптичних параметрів тонких плівок шляхом оптико-рефрактометричного синтезу спектрів пропускання
Номер патенту: 78560
Опубліковано: 10.04.2007
Автори: Нагусько Олександр Тадейович, Студеняк Ігор Петрович
МПК: G01J 3/28, G01N 21/59, G01N 21/41 ...
Мітки: спектрів, оптичних, шляхом, плівок, параметрів, тонких, визначення, синтезу, оптико-рефрактометричного, пропускання, спосіб
Формула / Реферат:
Спосіб визначення оптичних параметрів тонких плівок шляхом оптико-рефрактометричного синтезу спектрів пропускання, який включає еліпсометричні вимірювання товщини плівки, показників заломлення та коефіцієнтів екстинкції плівки та підкладки на певній довжині хвилі, інтерференційно-спектрометричні вимірювання спектрів пропускання і передбачає використання оптико-рефрактометричного співвідношення