Патенти з міткою «осадженні»

Контроль температури підкладки при осадженні покриття

Завантаження...

Номер патенту: 111705

Опубліковано: 10.06.2016

Автори: Панков Олег Георгійович, Білоусов Ігор Володимирович, Маллін Річард С., Кононенко Юрій Григорович, Рижиков Дмитро Дмитрович, Кузьмичов Анатолій Іванович

МПК: C23C 14/54, G01K 1/02

Мітки: підкладки, осадженні, покриття, температури, контроль

Формула / Реферат:

1. Пристрій для осадження покриття на одну або більше деталей (21), що містить:камеру (22),джерело (34) покривного матеріалу,тримач (64) деталі для утримування деталі (деталей) (21),джерело (94) напруги зміщення, сполучене з деталлю (деталями) для прикладання напруги зміщення на деталь (деталі),систему контролю температури (150), яка включає процесор (300) температурних даних, тащонайменше одну...