Маллін Річард С.
Контроль температури підкладки при осадженні покриття
Номер патенту: 111705
Опубліковано: 10.06.2016
Автори: Кононенко Юрій Григорович, Кузьмичов Анатолій Іванович, Панков Олег Георгійович, Білоусов Ігор Володимирович, Рижиков Дмитро Дмитрович, Маллін Річард С.
МПК: C23C 14/54, G01K 1/02
Мітки: покриття, температури, контроль, підкладки, осадженні
Формула / Реферат:
1. Пристрій для осадження покриття на одну або більше деталей (21), що містить:камеру (22),джерело (34) покривного матеріалу,тримач (64) деталі для утримування деталі (деталей) (21),джерело (94) напруги зміщення, сполучене з деталлю (деталями) для прикладання напруги зміщення на деталь (деталі),систему контролю температури (150), яка включає процесор (300) температурних даних, тащонайменше одну...