Патенти з міткою «перестрійним»

Номер патенту: 91107

Опубліковано: 25.06.2014

Автори: Веремійченко Георгій Микитович, Семенюк Валерій Федорович

МПК: H01L 21/00, C23C 14/34

Мітки: перестрійним, плазмовий, технологічний, пристрій, резонатором

Формула / Реферат:

1. Плазмовий технологічний пристрій з перестрійним резонатором, що містить вакуумну камеру з системою напуску та контролю газів, в верхній частині якої вісесиметрично розташоване діелектричне вікно з антеною, яка з'єднана з ВЧ генератором через пристрій узгодження, в нижній частині камери розташований тримач з підкладинкою, що може бути підключений до джерела живлення, ззовні камера охоплена магнітною системою з соленоїдальних елементів,...