Патенти з міткою «підложек»

Номер патенту: 16738

Опубліковано: 29.08.1997

Автори: Семенов Олександр Володимирович, Пузіков В'ячеслав Михайлович

МПК: H01J 27/02

Мітки: обробки, іонами, підложек, вуглецю, пристрій

Формула / Реферат:

Устройство для обработки подложек ионами углерода, содержащее электрод-подложкодержатель с обрабатываемой подложкой и источник ионов дугоплазматронного типа с термокатодом, анодом, промежуточным анодом с полостью, в которой расположен графитовый тигель, электродом-экспандером и извлекающим электродом, отличающееся тем, что, с целью повышения эффективности обработки за счет снижения энергозатрат на создание интенсивного пучка ионов углерода...