H01J 27/02 — іонні джерела; іонні гармати

Номер патенту: 92525

Опубліковано: 10.11.2010

Автори: Мокренко Олександр Анатолійович, Космінська Юлія Олександрівна, Перекрестов В'ячеслав Іванович

МПК: C23C 14/24, H01J 27/02, C23C 14/35 ...

Мітки: нанесення, пристрій, металів, вакуумі, речовин, слабколетких, надпоруватих, покриттів, підкладки, розпилювальний, плоскі

Формула / Реферат:

1. Розпилювальний пристрій для нанесення у вакуумі надпоруватих покриттів з металів або слабколетких речовин на плоскі підкладки, що містить анод та катод у вигляді пустотілого зрізаного конуса з отвором, зверненим до анода, зрізаний конус катода закріплений на основі, що з'єднана з охолоджуваним тримачем, і всередині пустотілого зрізаного конуса, в нижній його частині, розташована підкладка, поблизу поверхні якої розміщена заслінка, для...

Номер патенту: 92057

Опубліковано: 27.09.2010

Автори: Птушинський Юрій Григорович, Панченко Олег Антонович, Лисенко Віталій Степанович, Борденюк Іван Васильович

МПК: H01J 27/02, H01J 37/08

Мітки: пучка, замкненим, іонів, джерело, електронів, дрейфом

Формула / Реферат:

Джерело пучка іонів із замкненим дрейфом електронів, що містить магнітопровідний корпус, що є катодом, у торці якого розташована емісійна щілина для випуску пучка іонів, і в порожнині якого розташований анод симетрично зазначеній щілині і ізольований від корпусу, джерело магніторушійної сили, джерело електроживлення, з'єднане з катодом і анодом, а також вакуумна система відкачки з камерою, яка містить катод, анод та джерело магніторушійної...

Номер патенту: 85999

Опубліковано: 25.03.2009

Автори: Гутич Юрій Іванович, Гомонай Ганна Миколаївна, Овчаренко Евген Вікторович, Імре Арпад Йосипович

МПК: H01J 27/02

Мітки: насичених, позитивних, низькою, пучка, пружністю, іонів, металів, пристрій, парів, отримання

Формула / Реферат:

Пристрій для отримання пучка позитивних іонів металів, що складається із  іонізаційної камери з вихідною діафрагмою на торці, резервуара з досліджуваною речовиною, з'єднаного з іонізаційною камерою, іонізатора та циліндра, які містяться всередині іонізаційної камери, та системи нагріву, розташованої зовні іонізаційної камери і резервуара, який відрізняється тим, що іонізатор виконано у вигляді сферичної поверхні, привареної краями на торець...

Номер патенту: 80619

Опубліковано: 10.10.2007

Автори: Батурин Володимир Андрійович, Карпенко Олександр Юрійович

МПК: H01J 27/00, H01J 27/02

Мітки: кластерного, джерело, пучка

Формула / Реферат:

Джерело кластерного пучка, що містить короткоімпульсний клапан, камеру підготовки, зв'язану з розширювальним конусом, підкладкотримач з мішенню і канал для введення лазерного пучка, яке відрізняється тим, що додатково має газову камеру, виконану в одному корпусі з камерою підготовки, що має вакуумні ущільнення, і при цьому камери з'єднані між собою отвором із встановленою в ньому співвісно запірною голкою, яка виконана з можливістю...

Номер патенту: 25891

Опубліковано: 27.08.2007

Автори: Перун Микола Васильович, Марченко Юрій Олександрович

МПК: H01J 27/02

Мітки: пеннінгівського, вузол, іонного, катодний, типу, джерела

Формула / Реферат:

Катодний вузол іонного джерела пеннінгівського типу, що включає катод, з'єднаний з позитивним виводом регульованого і стабілізованого джерела постійної напруги, негативний вивід якого з'єднаний з емісійним електронагрівачем у вигляді розжарюваного дроту, з'єднаним з джерелом його живлення і розташованим на відстані від катода, який відрізняється тим, що емісійний електронагрівач розміщено в герметичній камері, тиск в якій не більше ніж...

Номер патенту: 8336

Опубліковано: 15.07.2005

Автори: Ксенофонтов В'ячеслав Олексійович, Саданов Євген Вікторович, Великодна Ольга Олександрівна, Михайловський Ігор Михайлович

МПК: H01J 27/02

Мітки: спосіб, виготовлення, вістряних, об'єктів

Формула / Реферат:

Спосіб виготовлення вістряних об'єктів, який включає створення вістря шляхом електрохімічного травлення металевої заготівки, формування вершини вістря шляхом подачі на вістря позитивного електричного потенціалу в присутності газового середовища, що стимулює польовий випар, який відрізняється тим, що як активний газ використовують пари води під тиском не менше 10-2 Па, а формування вершини вістря ведуть під напругою, яка визначається з...

Номер патенту: 6607

Опубліковано: 16.05.2005

Автори: Михайловський Ігор Михайлович, Саданов Євген Вікторович, Ксенофонтов В'ячеслав Олексійович, Великодна Ольга Олександрівна

МПК: H01J 27/02

Мітки: виготовлення, спосіб, об'єктів, вістряних

Формула / Реферат:

1. Спосіб виготовлення вістряних об'єктів, який включає утворення вістря шляхом електрохімічного травлення металевої заготівки, формування вершини вістря шляхом подачі на вістря позитивного електричного потенціалу в присутності газового середовища, що стимулює польовий випар, який відрізняється тим, що як активний газ використовують пари води при тиску не менше 102 Па, а формування вершини вістря ведуть при напрузі, яка визначається з...

Номер патенту: 71164

Опубліковано: 15.11.2004

Автори: Батурин Володимир Андрійович, Литвинов Петро Олексійович

МПК: H01J 27/02

Мітки: об`ємною, іонів, генерацією, джерело, негативних

Формула / Реферат:

1. Джерело з об'ємною генерацією негативних іонів, що має анод, катод і магніти, яке відрізняється тим, що анод, який утворює з катодом, що має нерівний переріз, дві газорозрядні камери нерівного об'єму,  зв'язані між собою контрагуючим кільцевим каналом, а другим контрагуючим кільцевим каналом більша газорозрядна камера зв'язана з емісійною, крім того, магніти встановлені за межами всіх камер коаксіально аноду.2. Джерело з об'ємною...

Номер патенту: 2047

Опубліковано: 15.09.2003

Автори: Ковальчук Анатолій Васильович, Петров В'ячеслав Васильович, Косско Ігор Олександрович, Косско Тетяна Гаврилівна, Майстренко Павло Володимирович

МПК: H01J 27/02, G11B 3/00, G11B 23/50 ...

Мітки: іонізатор

Формула / Реферат:

Іонізатор, що має високовольтне джерело електричної напруги та іоностворюючий електрод, який відрізняється тим, що додатково містить підвищувальний трансформатор, газопровідний шланг з клапаном подачі газу, який з'єднує джерело стисненого газу з іонізаційною камерою, яка виконана у вигляді циліндра з діелектричного матеріалу і має сопло, причому на поверхні іонізаційної камери розташована кнопка-вмикач, у її порожнині знаходяться...

Номер патенту: 16738

Опубліковано: 29.08.1997

Автори: Пузіков В'ячеслав Михайлович, Семенов Олександр Володимирович

МПК: H01J 27/02

Мітки: іонами, пристрій, обробки, вуглецю, підложек

Формула / Реферат:

Устройство для обработки подложек ионами углерода, содержащее электрод-подложкодержатель с обрабатываемой подложкой и источник ионов дугоплазматронного типа с термокатодом, анодом, промежуточным анодом с полостью, в которой расположен графитовый тигель, электродом-экспандером и извлекающим электродом, отличающееся тем, что, с целью повышения эффективности обработки за счет снижения энергозатрат на создание интенсивного пучка ионов углерода...

Номер патенту: 5774

Опубліковано: 29.12.1994

Автори: Качанов Юрій Олександрович, Зиков Олександр Володимирович, Юнаков Микола Миколаєвич, Фареник Володимир Іванович

МПК: H01J 27/02

Мітки: джерело, іонів

Формула / Реферат:

Источник ионов с холодным катодом, содер­жащий газоразрядную камеру с расположенными в ней цилиндрическим анодом, торцевым катодом и перфорированным катодом, магнитную систему и систему формирования ионного пучка, отличаю­щийся тем, что, с целью регулирования распределения плотности ионного тока пучка по его сече­нию, в газоразрядной камере со стороны торцевого катода соосно аноду установлен цилиндрический электрод с возможностью его...