Патенти з міткою «плівок»
Сторінка 5
Пристрій для нанесення плівок іонно-плазменним розпиленням сегнетоелектричних матеріалів у вакуумі
Номер патенту: 1172
Опубліковано: 30.12.1993
Автор: Левченко Георгій Тимофійович
МПК: B05B 5/08, C23C 14/36, C23C 4/00 ...
Мітки: розпиленням, пристрій, матеріалів, нанесення, іонно-плазменним, плівок, вакуумі, сегнетоелектричних
Формула / Реферат:
Устройство для нанесення пленок ионно-плазменным распылением сегнетоэлектрических материалов в вакууме, содержащее диэлектрический держатель с дисковой мишенью, размещенную между ними дисковую электропроводную прокладку, токоподвод и узел разогрева мишени, отличающееся тем, что, с целью повышения качества пленок за счет повышения равномерности распыления мишени, токоподвод выполнен в виде кольца, примыкающего к боковой поверхности мишени,...