Патенти з міткою «розпилюючого»

Номер патенту: 25437

Опубліковано: 30.10.1998

Автори: Кучеренко Євген Трофимович, Бедюх Олександр Радійович

МПК: C23C 14/35, H05K 3/14

Мітки: пристрою, магнітна, розпилюючого, система, магнетронного

Формула / Реферат:

1. Магнитная система для магнетронного распылительного устройства с чередующимися магнитными полюсами, ограничивающими замкнутый магнитный зазор, имеющая магнитопровод и закрепленный на нем по меньшей мере один постоянный магнит, отличающаяся тем, что магнитопровод снабжен замкнутым по периметру выступом и по меньшей мере еще одним дополнительным протяженным выступом от указанного замкнутого выступа внутрь контура, ограниченного этим...