H05K 3/14 — нанесення струмопровідного матеріалу шляхом розпилення

Номер патенту: 25437

Опубліковано: 30.10.1998

Автори: Бедюх Олександр Радійович, Кучеренко Євген Трофимович

МПК: H05K 3/14, C23C 14/35

Мітки: система, пристрою, магнетронного, розпилюючого, магнітна

Формула / Реферат:

1. Магнитная система для магнетронного распылительного устройства с чередующимися магнитными полюсами, ограничивающими замкнутый магнитный зазор, имеющая магнитопровод и закрепленный на нем по меньшей мере один постоянный магнит, отличающаяся тем, что магнитопровод снабжен замкнутым по периметру выступом и по меньшей мере еще одним дополнительным протяженным выступом от указанного замкнутого выступа внутрь контура, ограниченного этим...