Патенти з міткою «структурному»
Спосіб одержання діелектричних плівок кремнезему на поверхні пластини кремнію в структурному стані аерогелю
Номер патенту: 84467
Опубліковано: 27.10.2008
Автори: Третяк Олег Васильович, Лисоченко Сергій Васильович, Жарких Юрій Серафимович
МПК: C01B 33/00, C01B 33/158, H01L 25/00 ...
Мітки: поверхні, структурному, плівок, одержання, кремнію, кремнезему, спосіб, діелектричних, аерогелю, пластини, стані
Формула / Реферат:
Спосіб одержання діелектричних плівок кремнезему на поверхні пластини кремнію в структурному стані аерогелю, що включає гідратацію, гідролітичну полімеризацію сполуки кремнію з утворенням силоксанових зв'язків і наступну дегідратацію, який відрізняється тим, що синтез сполуки кремнію, її подальші гідратацію, гідролітичну полімеризацію з утворенням силоксанових зв'язків і дегідратацію проводять в одному технологічному циклі при нанесенні на...