Патенти з міткою «струмоувід»

Номер патенту: 21351

Опубліковано: 02.12.1997

Автор: Пастух Ігор Маркович

МПК: H01J 37/00, C23C 8/06, C23C 8/08 ...

Мітки: іонно-плазмового, установок, зміцнення, струмоувід

Формула / Реферат:

Токоввод установок ионно-плазменного уп­рочнения, состоящий из корпуса, злектрода, изо-лятора, уплотнителя й злементов затяжки вакуум­ного й злектрическогостнков, отличающийся тем, что корпус токоввода установлен в рубашку водя­ного охлаждения камери, а в непосредственной близости от него находится входной или внходной патрубок системи охлаждения.