Струмоувід установок іонно-плазмового зміцнення

Изобретение относится к химико-термической обработке металлов, в частности к конструкции разрядных камер установок ионно-плазменного упрочнения. Известно устройство для ионного азотирования, в котором токоввод катода выполнен в варианте неохлаждаемой конструкции, имеет сплошной изолятор между электродом и корпусом камеры [1]. Так как токоввод должен обеспечивать не только вакуумную герметичность, электроизоляционную прочность, а при нижнем расположении в днище камеры достаточную несущую способность, но и обладать свойствами, обеспечивающими стойкость против проникновения плазмы, то недостатком известной конструкции является то, что изолятор может быть выполнен только из керамических материалов, которые весьма тяжело поддаются обработке с учетом высоких требований к ее точности. Кроме того, в качестве герметизирующих возможно применение только материалов с относительно высокой температурой текучести, что, в свою очередь, требует больших усилий затяжки для надежной герметизации стыка. В основу изобретения поставлена задача создания конструкции токоввода установок ионноплазменного упрочнения, в которой представлялось бы возможным применение легкообрабатываемых материалов с относительно низкой температурой текучести при сравнительно небольших усилиях, необходимых для герметизации ввода. Поставленная задача создания конструкции токоввода установок ионно-плазменного упрочнения, состоящего из корпуса, электрода, изолятора, уплотнителя и элементов затяжки вакуумного и электрического стыков, в которой представлялось бы возможным применение легкообрабатываемых материалов с относительно низкой температурой текучести при сравнительно небольших усилиях, необходимых для герметизации ввода, в предполагаемом изобретении осуществляется тем, что корпус токоввода установлен в рубашку водяного охлаждения камеры, а в непосредственной близости от него находится входной или выходной патрубок системы охлаждения. Сущность предлагаемого изобретения поясняется чертежом (фиг.). Токоввод установок ионно-плазменного упрочнения состоит из корпуса 1, установленного в рубашке водяного охлаждения камеры 2, электрода 3, изолятора 4, уплотнителей 5, внутренней клеммы 6, надежный контакт которой с электродом 3 и внутренним проводником в противоплазменной изоляции 7 обеспечивает штуцер 8, изолирующей шайбы 9, наружной клеммы с кабелем 10, гайки 11, заглушки 12, патрубка 13. Так как корпус 1 токоввода с помощью соединения, например сварного, установлен в рубашке водяного охлаждения 2 разрядной камеры, причем в непосредственной близости от корпуса имеется патрубок 13 отвода воды (для верхнего токоввода) или ее подвода (для нижнего токоввода), что гарантирует непрерывное охлаждение всего токоввода, то уплотнители 5 и изоляторы 4, 9 представляется возможным изготовить с лекообрабатываемых нетермостойких материалов, например изоляторы - из фторопласта, капролона и т.п., уплотнители из нетермостойкой вакуумной резины. В свою очередь возможность использования в качестве уплотнителя мягкой резины не требует больших усилий для обеспечения герметичности стыков, для чего служит гайка 11, одновременно выполняющая роль зажима наружной клеммы 10. Внутренний провод 7 изготовлен в противоплааменной изоляции (зазоры не должны превышать 0,1мм) штуцером 8 плотно поджимается к электроду 3. Заглушка 12 предназначена для предохранения от соприкосновения с токоведущими шинами, как правило ее отсутствие включает электрическую блокировку подачи напряжения разряда на токоввод. Токоввод установок ионно-плазменного упрочнения устанавливается в следующем порядке. С внутренней стороны разрядной камеры установки в корпус 1 вводится электрод 3, на котором установлены изолятор 4 и уплотнители 5, с наружной стороны камеры на электрод 3 надеваются изолирующая шайба 9, наружная клемма с кабелем 10 и навинчивается гайка 11, с помощью которой выполняется затяжка токоввода до достижения необходимой герметичности и надежности контакта. Посредством штуцера 8 внутренний проводник 7 присоединяется внутренней клеммой 6 к электроду 3. Отверстие в корпусе 1 для прохода электрода 3 выполняется с большим по сравнению с электродом диаметром, а электрод 3 центрируется в изоляторе 4 и изолирующей шайбе 9, чем гарантируется зазор между электродом 3 и корпусом 1. С наружной стороны токоввод закрывается заглушкой 12.