Патенти з міткою «телуридного»

Номер патенту: 6698

Опубліковано: 16.05.2005

Автор: Клето Геннадій Іванович

МПК: H01L 21/316

Мітки: скла, телуридного, процес, плівок, нанесення, тонких

Формула / Реферат:

Процес нанесення тонких плівок телуридного скла ВЧ-катодним розпиленням, що передбачає виготовлення мішені шляхом подрібнення та змішування компонентів, формування і відпал, який відрізняється тим, що порошок телуру змішують з порошком іншого (-их) компонента (-ів) в пропорції не менше 70 ат.% Те і розміщують на поверхні пластини з монокристалічного кремнію шаром завтовшки 1-2 мм, а ВЧ-катодне розпилення проводять в окисному середовищі в...