Патенти з міткою «тензочутлива»
Кремнієва тензочутлива структура
Номер патенту: 75798
Опубліковано: 15.05.2006
Автор: ШАРАН МИКОЛА МИКОЛАЙОВИЧ
МПК: G01L 9/04, G01L 9/00, H01L 29/732 ...
Мітки: кремнієва, тензочутлива, структура
Формула / Реферат:
1. Кремнієва тензочутлива структура, що має концентратор великої площі, який виконаний з можливістю сприйняття тиску та передачі зусилля на чутливий елемент малої площі; при цьому чутливість до тиску визначається співвідношенням площ концентратора та чутливого елемента, виконаного у вигляді мезаструктури, яка відрізняється тим, що як чутливий тензоелемент використаний вертикальний транзистор з електростатичним керуванням та приповерхневим...