Номер патенту: 75798

Опубліковано: 15.05.2006

Автор: ШАРАН МИКОЛА МИКОЛАЙОВИЧ

Завантажити PDF файл.

Формула / Реферат

1. Кремнієва тензочутлива структура, що має концентратор великої площі, який виконаний з можливістю сприйняття тиску та передачі зусилля на чутливий елемент малої площі; при цьому чутливість до тиску визначається співвідношенням площ концентратора та чутливого елемента, виконаного у вигляді мезаструктури, яка відрізняється тим, що як чутливий тензоелемент використаний вертикальний транзистор з електростатичним керуванням та приповерхневим затвором з можливістю забезпечення польового чи біполярного режиму роботи.

2. Кремнієва тензочутлива структура за пп. 1, 2, яка відрізняється тим, що область мезаструктури (чутливих елементів) збільшена шляхом мультиплікації в пропорційну необхідному збільшенню вихідного струму кількість разів.

Текст

1. Кремнієва тензочутлива структура, що має концентратор великої площі, який виконаний з можливістю сприйняття тиску та передачі зусилля 3 75798 4 режимі (область 0 просторового заряду (ОПЗ) не вому - у прототипі). перекрита, зворотне зміщення затвора), або у біНарешті, при потребі збільшення навантажуполярному (ОПЗ перекривається, пряме змівальної здатності інтегрального перетворювача, щення). площу витоку вертикального транзистора можна Принцип дії запропонованого перетворювача збільшити мультиплікацією топології його припослідуючий. При дії на кремнієву пластину пневмаверхневих областей затвора і витоку та збільшентичного, гідравлічного чи звукового тисків (в заленям периметра діоксидної рамки. жності від її товщини) відбувається передача зуДжерела, що використані при виборі аналогів силля через меза структуру витоку в активну та прототипу: область транзистора з коефіцієнтом, рівним від1. US Patent №3 686 542, H01L11/00,15/00 (22 ношенню площі, обмеженої рамкою діоксиду 4 September 1972). (квадратні міліметри) та площі меза структури 2. N.P.Krivorotov, Yu.G.Svinolupov, T.I.Izaak, (квадратні мікрометри), що в результаті модулює V.V.Bychkov, Diaphragmiess pressure sensor, параметри роботи транзистора. Отримуємо вольSensor and Actuators, A 2004. товий вихідний сигнал (на противагу мілівольто Комп’ютерна верстка Т. Чепелева Підписне Тираж 26 прим. Міністерство освіти і науки України Державний департамент інтелектуальної власності, вул. Урицького, 45, м. Київ, МСП, 03680, Україна ДП “Український інститут промислової власності”, вул. Глазунова, 1, м. Київ – 42, 01601

Дивитися

Додаткова інформація

Назва патенту англійською

Silicon strain-sensing structure

Назва патенту російською

Кремниевая тензочувствительная структура

МПК / Мітки

МПК: H01L 29/732, G01L 9/04, G01L 9/00

Мітки: тензочутлива, структура, кремнієва

Код посилання

<a href="https://ua.patents.su/2-75798-kremniehva-tenzochutliva-struktura.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентів України">Кремнієва тензочутлива структура</a>

Подібні патенти