Патенти з міткою «тонкоплівочних»

Номер патенту: 12164

Опубліковано: 25.12.1996

Автори: Бессонов Валерій Андрійович, Ленніков Леонід Олександрович, Лисова Євгенія Васильовна, Бочвар Наталія Рубеновна

МПК: C22C 21/00

Мітки: тонкоплівочних, мікросхем, основі, пластин, сплав, провідників, алюмінію, контактних

Формула / Реферат:

Сплав на основе алюминия для тонкопленоч­ных контактных площадок и проводников микро­схем, содержащий никель и церий, отличающийся тем, что, с целью увеличения адгезии, уменьше­ния удельного электросопротивления, повышения термостабильности тонкопленочных контактных площадок и проводников микросхем, он дополни­тельно содержит магний при следующем соотно­шении компонентов, мас.%:никель                        5,1 - 10,0магний...