Бочвар Наталія Рубеновна
Сплав на основі алюмінію для тонкоплівочних провідників та контактних пластин мікросхем
Номер патенту: 12164
Опубліковано: 25.12.1996
Автори: Лисова Євгенія Васильовна, Бочвар Наталія Рубеновна, Бессонов Валерій Андрійович, Ленніков Леонід Олександрович
МПК: C22C 21/00
Мітки: тонкоплівочних, контактних, основі, пластин, провідників, алюмінію, мікросхем, сплав
Формула / Реферат:
Сплав на основе алюминия для тонкопленочных контактных площадок и проводников микросхем, содержащий никель и церий, отличающийся тем, что, с целью увеличения адгезии, уменьшения удельного электросопротивления, повышения термостабильности тонкопленочных контактных площадок и проводников микросхем, он дополнительно содержит магний при следующем соотношении компонентов, мас.%:никель 5,1 - 10,0магний...