Патенти з міткою «зрізом»

Номер патенту: 42223

Опубліковано: 15.10.2001

Автори: Сорочак Олег Зіновійович, Величко Лев Дмитрович

МПК: H01L 21/68

Мітки: пристрій, пластин, зрізом, орієнтації, напівпровідникових, базовим

Формула / Реферат:

Пристрій для орієнтації напівпровідникових пластин за базовим зрізом, що містить лоток, який відрізняється тим, що додатково містить анізотропну ворсову підкладку з нахилом ворсу в сторону транспортування, встановлену на робочій поверхні лотка, а лоток виконаний вібраційним з можливістю здійснення поздовжніх гармонійних коливань.