Бабиченко Сергій Васильович
Спосіб вимірювання об’ємного часу життя та швидкості поверхневої рекомбінації носіїв заряду у напівпровідниках
Номер патенту: 57427
Опубліковано: 16.06.2003
Автори: Гордієнко Юрій Омелянович, Бабиченко Сергій Васильович, Бородін Борис Григорович
МПК: G01R 31/26, H01L 21/66
Мітки: швидкості, напівпровідниках, вимірювання, заряду, носіїв, часу, рекомбінації, об`ємного, поверхневої, спосіб, життя
Формула / Реферат:
Спосіб вимірювання об'ємного часу життя і швидкості поверхневої рекомбінації носіїв заряду у напівпровідниках, який заснований на розміщенні досліджуваного напівпровідникового зразка в НВЧ резонаторному вимірювальному перетворювачі, освітленні його гармонійно модульованим монохроматичним світлом, виділенні на виході вимірювального перетворювача сигналів фотопровідності, який відрізняється тим, що здійснюють вимірювання спектрального...