Бадєкін Максим Юрьєвич

Номер патенту: 68968

Опубліковано: 16.08.2004

Автори: Ігнатенко Петро Іванович, Бадєкін Максим Юрьєвич, Кляхіна Наталія Афанасієвна

МПК: C23C 16/34

Мітки: нітридної, плівки, двошарової, одержання, спосіб

Формула / Реферат:

Спосіб одержання двошарової нітридної плівки, що включає розпилення мішені, який відрізняється тим, що плівку W2N/TiN формують у результаті легування холодної полікристалічної підкладки вольфраму іонами азоту і титанової мішені при режимі: напруга і струм на газовому розряді 380 В і 0,5 А, напруга і струм на мішені 2 кВ і 60 мА, напруга і струм на підкладці 20 кВ і 10 мА при дозі опромінення в інтервалі 1,8-2,4.1016 іон/см2.