Баран Микола Юрійович

Номер патенту: 8142

Опубліковано: 26.12.1995

Автори: Іваницький Валентин Петрович, Колінько Сергій Олексійович, Баран Микола Юрійович, Фірцак Юрій Юрійович

МПК: C23C 14/26

Мітки: пристрій, матеріалів, дискретного, випаровування, вакуумі

Формула / Реферат:

Устройство для дискретного испарения ма­териалов в вакууме, содержащее испаритель, до­затор испаряемого материала и закрытый виброжелоб, расположенный между испарителем и дозатором, отличающееся тем, что, с целью расширения функциональных возможно­стей и повышения эффективности использования испаряемого материала при сохранении высокого качества наносимого покрытия, испаритель вы­полнен в виде тигля, верхняя поверхность которого в направлении...