Колінько Сергій Олексійович
Пристрій для дискретного випаровування матеріалів в вакуумі
Номер патенту: 8142
Опубліковано: 26.12.1995
Автори: Фірцак Юрій Юрійович, Колінько Сергій Олексійович, Баран Микола Юрійович, Іваницький Валентин Петрович
МПК: C23C 14/26
Мітки: пристрій, випаровування, дискретного, матеріалів, вакуумі
Формула / Реферат:
Устройство для дискретного испарения материалов в вакууме, содержащее испаритель, дозатор испаряемого материала и закрытый виброжелоб, расположенный между испарителем и дозатором, отличающееся тем, что, с целью расширения функциональных возможностей и повышения эффективности использования испаряемого материала при сохранении высокого качества наносимого покрытия, испаритель выполнен в виде тигля, верхняя поверхность которого в направлении...