Бєрдиєв Курбан Ходжа огли
Пристрій магнетронного розпилення матеріалів
Номер патенту: 77061
Опубліковано: 16.10.2006
Автори: Кудлай Володимир Олександрович, Бєрдиєв Курбан Ходжа огли, Кабін Олександр Вікторович, Казіміров Микола Миколайович
МПК: H01J 25/00, C23C 14/35
Мітки: пристрій, матеріалів, розпилення, магнетронного
Формула / Реферат:
1. Протяжний пристрій магнетронного розпилення матеріалів, що містить систему охолодження, Ш-подібну магнітну систему з периферійних і центральних магнітів, які замкнені протилежними полюсами з магнітопроводом і розташовані на внутрішній боковій поверхні периферійної і центральної стінок магнітопроводу, екрани над магнітною системою, замкнену в ланцюг мішень, розпилювана поверхня якої розміщена між оберненими до неї полюсами магнітів, який...