Кабін Олександр Вікторович
Пристрій магнетронного розпилення матеріалів
Номер патенту: 77061
Опубліковано: 16.10.2006
Автори: Бєрдиєв Курбан Ходжа огли, Кудлай Володимир Олександрович, Казіміров Микола Миколайович, Кабін Олександр Вікторович
МПК: C23C 14/35, H01J 25/00
Мітки: магнетронного, розпилення, пристрій, матеріалів
Формула / Реферат:
1. Протяжний пристрій магнетронного розпилення матеріалів, що містить систему охолодження, Ш-подібну магнітну систему з периферійних і центральних магнітів, які замкнені протилежними полюсами з магнітопроводом і розташовані на внутрішній боковій поверхні периферійної і центральної стінок магнітопроводу, екрани над магнітною системою, замкнену в ланцюг мішень, розпилювана поверхня якої розміщена між оберненими до неї полюсами магнітів, який...
Пристрій магнетронного розпилення матеріалів
Номер патенту: 52326
Опубліковано: 16.12.2002
Автори: Казіміров Микола Миколайович, Чернолуцький Дмитро Леонідович, Гончарук Ігор Михайлович, Кабін Олександр Вікторович, Бєрдиєв Курбан Ходжаєвич
МПК: C23C 14/32
Мітки: магнетронного, матеріалів, розпилення, пристрій
Формула / Реферат:
1. Пристрій магнетронного розпилення матеріалів, що містить Ш-подібну магнітну систему з периферійних і центральних магнітів, які замкнені протилежними полюсами з магнітопроводом, кільцеподібну пласку мішень з катодом, розташовану паралельно площині верхніх країв магнітів в порожнині між стінками магнітної системи, який відрізняється тим, що магніти магнітної системи розташовані на внутрішній боковій поверхні периферійних стінок і боковій...