Бізюков Олександр Анатольович

Номер патенту: 4611

Опубліковано: 28.12.1994

Автори: Целуйко Олександр Федорович, Юнаков Микола Миколайович, Середа Микола Дмитрович, Бізюков Олександр Анатольович

МПК: C23C 14/56

Мітки: нанесення, іонно-променевого, спосіб, покриттів

Формула / Реферат:

Способ ионно-лучевого нанесения покрытий, включающий распыление мишени из наносимого материала ионным пучком в вакуумной камере и осаждение продуктов распыления на подложку, отличающийся тем, что перед распылением мишени, между мишенью и подложкой размещают заземленный электрод-токоприемник и создают стационарное магнитное поле, силовые линии которого параллельны поверхности мишени и пересекают поверхность электрода-токоприемника, а величину...