Юнаков Микола Миколайович

Номер патенту: 5770

Опубліковано: 29.12.1994

Автори: Зиков Олександр Володимирович, Юнаков Микола Миколайович, Качанов Юрій Олександрович, Марущенко Микола Борисович, Фареник Володимир Іванович

МПК: C23C 14/00

Мітки: мішеней, діелектричних, спосіб, поверхонь, обробки, вакуумі

Формула / Реферат:

Способ обработки поверхностей диэлектри­ческих мишеней в вакууме, включающий бомбар­дировку мишеней ускоренным пучком положительных ионов и компенсацию заряда электронами катода - нейтрализатора, отличаю­щийся тем, что, с целью повышения качества обра­ботки за счет улучшения однородности обработки и снижения вносимой дефектности, на поверхность катода - нейтрализатора подают положительный по­тенциал j [В], выбираемый из...

Номер патенту: 4611

Опубліковано: 28.12.1994

Автори: Целуйко Олександр Федорович, Середа Микола Дмитрович, Бізюков Олександр Анатольович, Юнаков Микола Миколайович

МПК: C23C 14/56

Мітки: покриттів, іонно-променевого, нанесення, спосіб

Формула / Реферат:

Способ ионно-лучевого нанесения покрытий, включающий распыление мишени из наносимого материала ионным пучком в вакуумной камере и осаждение продуктов распыления на подложку, отличающийся тем, что перед распылением мишени, между мишенью и подложкой размещают заземленный электрод-токоприемник и создают стационарное магнитное поле, силовые линии которого параллельны поверхности мишени и пересекают поверхность электрода-токоприемника, а величину...